5月，全世界著名光刻機(jī)生產(chǎn)研發(fā)公司荷蘭阿斯麥（ASML）公司與無錫高新區(qū)管委會(huì)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，未來阿斯麥公司將在原有基礎(chǔ)上對(duì)資源進(jìn)行整合提升，加速擴(kuò)建光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)（無錫）基地。

光刻機(jī)，又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備。作為“芯片之母”，其對(duì)某個(gè)國(guó)家或地區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)具備重要的發(fā)展支撐作用。阿斯麥公司與無錫“握手”，將為江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)帶來哪些新變化？

“這是阿斯麥與無錫第二次‘握手’?！卑⑺果溔蚋笨偛?、中國(guó)區(qū)總裁沈波說，2006年，阿斯麥公司在無錫布局建立光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)基地，經(jīng)過多年的“深耕細(xì)作”，如今，阿斯麥無錫基地是中國(guó)規(guī)模最大的光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)基地，成為華虹、SK海力士等一批重點(diǎn)集成電路企業(yè)光刻機(jī)的供應(yīng)商。

此次阿斯麥實(shí)施（無錫）基地升級(jí)擴(kuò)建，將擁有近200人規(guī)模專業(yè)團(tuán)隊(duì)的技術(shù)中心，從事光刻設(shè)備的維護(hù)、升級(jí)等技術(shù)服務(wù)，為設(shè)備安裝，升級(jí)及生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)等所需的物料提供更高水準(zhǔn)的物流支持。項(xiàng)目建成后，將更好地滿足無錫乃至江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求。

目前，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)正處于一個(gè)非常時(shí)期。“阿斯麥光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)的引入與此時(shí)擴(kuò)建，有著非同一般的重要意義?！庇袑＜冶硎?，無錫是最早布局的集成電路產(chǎn)業(yè)基地之一，近年來，在國(guó)家和地方政策的重點(diǎn)支持下，無錫先后引入華虹基地、海力士二工廠等一批重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。去年，無錫集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值達(dá)到1178億元，增長(zhǎng)8.3%，位居全省第一、全國(guó)第二。專家坦言，江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)在國(guó)內(nèi)起步早，并形成了一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，但在集成電路產(chǎn)業(yè)的上游，無論是光刻設(shè)備，還是集成電路設(shè)計(jì)和高端電子化學(xué)品方面，仍是一條“短腿”，亟待補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈，提升產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新力和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

“阿斯麥公司與無錫再度‘牽手’，標(biāo)志著我省集成電路產(chǎn)業(yè)有深厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)?！苯K省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)相關(guān)人士透露，目前，我省集成電路產(chǎn)業(yè)已邁入加速階段，正“奮勇向前”；去年8月，鎮(zhèn)江首臺(tái)光刻機(jī)開始服役制造芯片；今年5月20日，鹽城總投872.7億元項(xiàng)目簽約，涵蓋臺(tái)灣半導(dǎo)體光刻機(jī)、集成電路；6月1日，江陰集成電路設(shè)計(jì)創(chuàng)新中心揭幕。

據(jù)介紹，阿斯麥公司無錫技術(shù)服務(wù)基地還將服務(wù)江蘇乃至整個(gè)長(zhǎng)三角地區(qū)。目前江蘇先進(jìn)制程（28nm及以下）半導(dǎo)體工廠有南京臺(tái)積電工廠、無錫SK海力士DRAM工廠等。其中，華虹半導(dǎo)體無錫基地12英寸生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)了高性能90nm FSI工藝平臺(tái)產(chǎn)品投片。