6月3日，中國長城科技集團股份有限公司（以下簡稱“中國長城”）在投資者互動平臺上表示，公司近日研制成功國內首臺半導體激光隱形晶圓切割機消息屬實。

今年5月，中國長城官方消息顯示，旗下鄭州軌交院與河南通用成功研制出我國首臺半導體激光隱形晶圓切割機，填補國內空白，在關鍵性能參數(shù)上處于國際領先水平。我國半導體激光隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破，相關裝備依賴進口的局面即將打破。

據(jù)報道，該裝備通過采用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺，可以實現(xiàn)加工平臺在高速運動時保持高穩(wěn)定性、高精度，運動速度可達500mm/S，效率遠高于國外設備。 在光學方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，結合工業(yè)激光的應用水平，采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器，最終實現(xiàn)了隱形切割。

在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機，配以不同功效的鏡頭，實現(xiàn)了產品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調整。該裝備還搭載了同軸影像系統(tǒng)，可以確保切割中效果的實時確認和優(yōu)化，實現(xiàn)最佳切割效果。

高端智能裝備是國之重器，是制造業(yè)的基石，尤其是半導體領域內高端智能裝備，在國民經(jīng)濟發(fā)展中更是具有舉足輕重的作用。專家評價首臺半導體激光隱形晶圓切割機研制成功，對進一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。