據(jù)上觀新聞指出，中科院上海微系統(tǒng)所創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室正在加緊建設(shè)，計(jì)劃今年9月完成實(shí)驗(yàn)室建設(shè)，中試生產(chǎn)8英寸石墨烯單晶晶圓等多種產(chǎn)品。

2019年9月，中科院上海微系統(tǒng)所與上海市石墨烯功能型平臺簽約合作，由后者的創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)中試工作，擴(kuò)大石墨烯晶圓等產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模。通過建設(shè)創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室，實(shí)現(xiàn)8英寸石墨烯單晶晶圓、4英寸鍺基石墨烯晶圓、大面積六方氮化硼介質(zhì)薄膜的中試生產(chǎn)。

據(jù)中科院上海微系統(tǒng)所研究員吳天如表示，該研究所已經(jīng)掌握了石墨烯單晶晶圓可控制備技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了4—8英寸單晶的小批量生產(chǎn)。

據(jù)悉，中科院上海微系統(tǒng)所在國際上首次實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體鍺基石墨烯CVD（化學(xué)氣相沉積）制備，研制出4英寸鍺基石墨烯晶圓。迄今為止，中科院上海微系統(tǒng)所在石墨烯材料制備與器件應(yīng)用領(lǐng)域已申請100余項(xiàng)專利，授權(quán)70余項(xiàng)，其中國際專利9項(xiàng)。