6月17日，韓國SK Materials表示，該公司已于近期開始了高純度(99.999%)氟化氫(蝕刻氣體)量產(chǎn)。由于純度已達(dá)到一定程度，三星電子及SK海力士也都導(dǎo)入使用。

根據(jù)《日本經(jīng)濟(jì)新聞》17日報導(dǎo)，SK Materials的99.999%(5N)高純度氟化氫，雖然在純度上遜于日本產(chǎn)的99.999999999%(11N)超高純度氟化氫，但是已被用于晶圓清洗等部分制程。

隨著高純度氟化氫被用于半導(dǎo)體的清洗用途，也由于半導(dǎo)體制程的微細(xì)化，需求量也跟著快速增加。

2019年11月。SK Materials成立了相關(guān)材料的研發(fā)中心。在研發(fā)過程中成功的試作出高純度氟化氫，也在韓國慶尚北道的榮州工廠，設(shè)置了年產(chǎn)量15公噸規(guī)模的生產(chǎn)設(shè)備，逐步的朝著國產(chǎn)化目標(biāo)邁進(jìn)。計劃在2023年前，國產(chǎn)化的比率要拉高到70%。

此前，韓國半導(dǎo)體業(yè)，100%依賴日本等國所生產(chǎn)的高純度氟化氫。不過2019年7月開始，日本針對出口到韓國的高純度氟化氫、氟化聚醯亞胺，以及光阻劑等3種先進(jìn)化學(xué)品，實施了嚴(yán)格的出口管制。這也使得日本在出口這些化學(xué)原料時，必須一一接受當(dāng)局審核才得以放行。

也由于這幾種化學(xué)原料，是OLED面板及半導(dǎo)體生產(chǎn)所不可或缺的，嚴(yán)重關(guān)系到韓國電子業(yè)的未來發(fā)展。韓國也立即展開動作，一方面尋找日本之外的供貨來源，另一方面也在政府支援下積極的推動國產(chǎn)化。

此外，韓國的Soulbrain，也展開了純度99.999%以上的液態(tài)氟化氫生產(chǎn)。