日前,外媒曾經(jīng)報導(dǎo),因為受限于中美貿(mào)易摩擦的情勢,全球最大半導(dǎo)體光刻設(shè)備供應(yīng)商ASML停止了對中芯國際的極紫外光刻設(shè)備(EUV)的出貨。此事不但造成業(yè)界震撼,還導(dǎo)致中芯國際的股價重挫。
但ASML隨即發(fā)出聲明表示,公司并非停止出口設(shè)備給中芯國際,而是在等出口許可中。ASML還在聲明中指出,我們對客戶一視同仁,并在出口許可證到期前向荷蘭政府提出了申請。雖然EUV設(shè)備的最大買家是臺積電和三星,但ASML卻也不會忽視未來會發(fā)展的中國市場。
中芯國際董事長周子學(xué)也在日前指出,目前ASML的EUV出口許可問題已經(jīng)解決,但仍將嚴(yán)密觀察ASML是否將很快實際供應(yīng)EUV設(shè)備。
根據(jù)韓國媒體《ETnews》的報導(dǎo)指出,中芯國際董事長周子學(xué)在訪問韓國的過程中表示,中芯國際目前正在進(jìn)行EUV設(shè)備進(jìn)口的文書作業(yè),對于進(jìn)口EUV設(shè)備的許可問題現(xiàn)在已經(jīng)解決,這也使得先進(jìn)制程的研發(fā)也依照計劃進(jìn)行中。
周子學(xué)強調(diào),該情況顯示在目前的情況下,中芯國際發(fā)展先進(jìn)制程的計劃并沒有受到任何的影響。此外,中芯國際稱,其進(jìn)口ASML的EUV設(shè)備就是用在7納米制程的研發(fā)上,已縮小與領(lǐng)先廠商間的差距。