12月25日，北京耐威科技股份有限與國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金共同投資的賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司“8英寸MEMS國際代工線建設(shè)項(xiàng)目首臺(tái)設(shè)備搬入儀式”在北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)舉行。

據(jù)了解，該項(xiàng)目建成后將成為北京首條商業(yè)量產(chǎn)、全球業(yè)界最先進(jìn)的8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線，最終達(dá)產(chǎn)后將形成年投片3萬片/月的生產(chǎn)能力

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是指用微機(jī)械加工技術(shù)制作的包括微傳感器、微致動(dòng)器、微能源等微機(jī)械基本部分，以及高性能的電子集成線路組成的微機(jī)電器件與裝置。MEMS傳感器作為國際競爭戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)難度高、特色工藝性強(qiáng)，市場前景廣闊等特點(diǎn)備受世界各國的關(guān)注。

耐威科技 董事長楊云春表示，“大家熟悉的生產(chǎn)線側(cè)重二維空間，不斷讓芯片變得更小，而MEMS屬于集成電路特色工藝，聚焦的是三維空間，芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)也縮小至納米量級(jí)，格外考驗(yàn)芯片制造實(shí)力。”

賽萊克斯MEMS項(xiàng)目是經(jīng)開區(qū)的重要項(xiàng)目之一?；趯κ袌鲂枨笄熬凹皣鴥?nèi)產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)狀的判斷，耐威科技在經(jīng)開區(qū)等多方支持下，全資收購瑞典Silex，月產(chǎn)3萬片的傳感器生產(chǎn)線落地北京亦莊，項(xiàng)目量產(chǎn)后年產(chǎn)值不低于20億元。瑞典賽萊克斯董事聶鐵輪表示，北京8英寸MEMS國際代工線對標(biāo)瑞典Silex的設(shè)置，配置、原材料和工藝等一一對應(yīng)，確保工藝流程及產(chǎn)品生產(chǎn)的一致性。

據(jù)了解，瑞典Silex掌握了硅通孔、晶圓鍵合、深反應(yīng)離子刻蝕等多項(xiàng)在業(yè)內(nèi)具備國際領(lǐng)先競爭力的工藝技術(shù)和工藝模塊，擁有目前業(yè)界最先進(jìn)的硅通孔絕緣層工藝平臺(tái)（TSI），已有超過10年的量產(chǎn)歷史、生產(chǎn)過超過數(shù)十萬片晶圓、100多種不同的產(chǎn)品，技術(shù)可以推廣移植到2.5D和3D圓片級(jí)先進(jìn)封裝平臺(tái)，為全球知名或某些領(lǐng)域領(lǐng)先廠商提供過400余項(xiàng)MEMS芯片的工藝開發(fā)服務(wù)。

賽萊克斯設(shè)備搬入標(biāo)志著經(jīng)開區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展迎來新生力量，一直以來，經(jīng)開區(qū)為項(xiàng)目建設(shè)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供全方位的政策、環(huán)境和服務(wù)保障，經(jīng)開區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)多點(diǎn)發(fā)力的喜人景象，區(qū)內(nèi)聚集相關(guān)企業(yè)約50家，已形成集設(shè)計(jì)、制造、封測、裝備、零部件及材料企業(yè)在內(nèi)的完備產(chǎn)業(yè)鏈。1-11月，經(jīng)開區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值765.8億元。