近日,江蘇南大光電材料股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“南大光電”)在股票交易異常波動(dòng)的公告中披露了其光刻膠項(xiàng)目最新進(jìn)展。
公告顯示,南大光電承接的國(guó)家“02專項(xiàng)”之“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行;2019年底完成一條生產(chǎn)線的安裝,正在調(diào)試階段。2020年4月,公司采購(gòu)的用于檢測(cè)ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠,5月開始進(jìn)行安裝調(diào)試,預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司制備ArF(193nm)光刻膠用的高純?cè)牧蟻?lái)源于自主研發(fā),研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測(cè)試。
目前“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”正處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段,驗(yàn)證過(guò)程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月,甚至更長(zhǎng)的時(shí)間。南大光電還指出,ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品開發(fā)技術(shù)突破難度大、工藝要求高,且實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)周期較長(zhǎng),后續(xù)是否能取得下游客戶的訂單,能否大規(guī)模進(jìn)入市場(chǎng)仍存在較多的不確定性。
據(jù)了解,南大光電ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目總投資額為6.56億元,其中,國(guó)撥資金1.93億元,地方配套資金1.97億元,項(xiàng)目實(shí)施主體為南大光電全資子公司寧波南大光電。
2019年12月14日,南大光電再次發(fā)布公告稱,通過(guò)增資擴(kuò)股的方式寧波南大光電進(jìn)行增資2.6億元,增資事項(xiàng)完成后,寧波南大光電的注冊(cè)資本由4000萬(wàn)元增加到3億元。對(duì)于寧波南大光電增資擴(kuò)股并引入外部投資者,南大光電稱,有利于加快公司ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的建設(shè)進(jìn)度,推動(dòng)光刻膠板塊的戰(zhàn)略布局。
根據(jù)最初規(guī)劃,ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目擬通過(guò)3年的建設(shè)、投產(chǎn)及實(shí)現(xiàn)銷售,達(dá)到年產(chǎn)25噸193nm(ArF干式和浸沒式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模,產(chǎn)品滿足集成電路行業(yè)需求標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)建成先進(jìn)光刻膠分析測(cè)試中心和高分辨率光刻膠研發(fā)中心。