6月22日，上交所正式受理了江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司（以下簡稱為“微導(dǎo)納米”）科創(chuàng)板上市申請。
據(jù)招股書顯示，微導(dǎo)納米以原子層沉積（以下簡稱“ALD”）技術(shù)為核心，致力于先進(jìn)微、納米級薄膜沉積技術(shù)和設(shè)備的研究與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，為光伏、集成電路、柔性電子等半導(dǎo)體與泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高端裝備與技術(shù)解決方案。
目前，微導(dǎo)納米集成電路領(lǐng)域設(shè)備樣機已開發(fā)完成，并實現(xiàn)了Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、ZnO、Ta2O5、SiO2、TiN等多種關(guān)鍵工藝材料的薄膜沉積驗證，薄膜厚度均勻性等技術(shù)參數(shù)已經(jīng)達(dá)到集成電路領(lǐng)域使用標(biāo)準(zhǔn)，但受限于生產(chǎn)環(huán)境與檢測手段等因素，該產(chǎn)品在集成電路標(biāo)準(zhǔn)要求下的顆粒度等關(guān)鍵指標(biāo)尚有待驗證。
微導(dǎo)納米表示，隨著公司集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心的落成，公司產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境與檢測手段將大幅提升，有望突破技術(shù)壁壘，實現(xiàn)集成電路制造核心裝備的國產(chǎn)化，打破國外廠商的市場壟斷。
近年來，微導(dǎo)納米經(jīng)營業(yè)績實現(xiàn)大幅增長。招股書顯示，2017-2019年，微導(dǎo)納米實現(xiàn)營業(yè)收入分別為0元、4,191.06萬元、21,581.56萬元；實現(xiàn)凈利潤分別為-891.18萬元、-2,919.29萬元、4,141.41萬元。報告期內(nèi)，微導(dǎo)納米主營業(yè)務(wù)收入主要來自ALD設(shè)備。2018年和2019年，微導(dǎo)納米來自于ALD設(shè)備的收入金額分別為3,898.03萬元和20,194.69萬元，占主營業(yè)務(wù)收入的比例分別為93.02%和93.59%。
據(jù)披露，微導(dǎo)納米此次擬募集資金5億元，在扣除發(fā)行費用后擬用于投建年產(chǎn)120臺基于原子層沉積技術(shù)的光伏、柔性電子及半導(dǎo)體設(shè)備擴建項目、集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心項目、以及補充流動資金。
其中，年產(chǎn)120臺基于原子層沉積技術(shù)的光伏、柔性電子及半導(dǎo)體設(shè)備擴建項目是基于該公司現(xiàn)有ALD設(shè)備產(chǎn)線進(jìn)行升級擴產(chǎn)，開發(fā)適用于光伏、集成電路、柔性電子的ALD設(shè)備，實現(xiàn)年產(chǎn)120臺ALD設(shè)備的項目擴產(chǎn)。
項目建成后，微導(dǎo)納米可進(jìn)一步推動給我國薄膜沉積設(shè)備的發(fā)展，實現(xiàn)高端裝備國產(chǎn)化的戰(zhàn)略目標(biāo)。微導(dǎo)納米稱，該項目有利于公司在半導(dǎo)體與泛半導(dǎo)體不同領(lǐng)域內(nèi)實現(xiàn)橫向發(fā)展。從而提升薄膜沉積設(shè)備市場占有率，促進(jìn)國內(nèi)薄膜沉積設(shè)備與技術(shù)的發(fā)展，從而進(jìn)一步實現(xiàn)半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體行業(yè)高端裝備的國產(chǎn)化替代，打破半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)進(jìn)口設(shè)備的壟斷地位，彰顯國內(nèi)企業(yè)研發(fā)、技術(shù)及生產(chǎn)實力。
而集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心項目擬于無錫市新吳區(qū)梅路租賃廠房建設(shè)集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心，致力于研發(fā)設(shè)計幾乎ALD技術(shù)的集成電路高端制造裝備。建設(shè)將重點開發(fā)集成電路配套高端裝備，深入研究ALD技術(shù)在集成電路領(lǐng)域的運用，并進(jìn)行單片及批量機型ALD設(shè)備開發(fā)、晶圓傳輸系統(tǒng)開發(fā)。
微導(dǎo)納米表示，項目建成后，可進(jìn)一步推動我國薄膜沉積設(shè)備的發(fā)展，實現(xiàn)高端裝備國產(chǎn)化的戰(zhàn)略目標(biāo)，提高公司核心競爭力。
關(guān)于未來發(fā)展戰(zhàn)略，微導(dǎo)納米表示，公司以ALD技術(shù)為核心，在繼續(xù)保持光伏領(lǐng)域的技術(shù)和市場優(yōu)勢的前提下，擴大在集成電路、柔性電子和其他新能源等領(lǐng)域關(guān)鍵裝備產(chǎn)品，通過打造先進(jìn)的ALD 技術(shù)產(chǎn)業(yè)化研發(fā)中心，針對市場發(fā)展和需求開發(fā)專用于產(chǎn)業(yè)化的鍍膜解決方案和產(chǎn)品，引領(lǐng)創(chuàng)新性應(yīng)用，不斷向產(chǎn)品橫向以及縱深發(fā)展；同時，擇機通過收購等方式，對核心技術(shù)上下游關(guān)鍵工藝進(jìn)行技術(shù)整合，針對新興產(chǎn)業(yè)形成一整套技術(shù)解決方案，力爭成為全球微納制造裝備領(lǐng)導(dǎo)者。