日前，國家大基金再次出手投資集成電路設(shè)備企業(yè)。

國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)顯示，1月7日睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵(lì)科學(xué)儀器”）發(fā)生股權(quán)變更，新增國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司（以下簡稱“國家大基金”）、上海同祺投資管理有限公司、海風(fēng)投資有限公司（HAI FENG INVESTMENT HOLDING LIMITED）3家股東；與此同時(shí)，注冊資本由1.18億元變更為3.10億元。

根據(jù)天眼查信息，此次國家大基金等入股后，目前睿勵(lì)科學(xué)儀器的第一大股東為上海浦東新區(qū)國資委旗下的上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司，持股比例20.75%；第二大股東為睿勵(lì)科學(xué)儀器董事長及法定代表人呂彤欣所持有的上海盈贏微電子技術(shù)有限公司，持股比例13.99%；這次新增的3家股東上海同祺投資管理有限公司、國家大基金、海風(fēng)投資有限公司依次位列第三、第四、第五大股東，其中國家大基金持股比例12.12%。

近半年來，國家大基金不止一次投資集成電路設(shè)備企業(yè)。2019年9月，國家大基金投資入股精測電子旗下專注于半導(dǎo)體測試設(shè)備的子公司上海精測；同年10月，國家大基金與中科儀簽署協(xié)議，戰(zhàn)略投資中科儀真空干泵產(chǎn)業(yè)化升級(jí)。如今，國家大基金再次將目光聚焦于設(shè)備領(lǐng)域，正式將睿勵(lì)科學(xué)儀器納入“國家隊(duì)”。

值得一提的是，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）亦曾于2019年8月發(fā)布公告，擬向睿勵(lì)科學(xué)儀器投資1375萬元，投資完成后將取得睿勵(lì)科學(xué)儀器約10.41%股權(quán)。中微公司表示這次投資將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設(shè)備領(lǐng)域，是其聚焦并落實(shí)高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟。不過，目前工商資料上尚未顯示交易完成。

資料顯示，睿勵(lì)科學(xué)儀器成立于2005年，致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測設(shè)備。根據(jù)中微公司披露，2018年、2019年1-6月睿勵(lì)科學(xué)儀器分別實(shí)現(xiàn)營收2733.02萬元、80.45萬元，分別實(shí)現(xiàn)凈利潤-4037.23萬元、-1889.97萬元；投前估值約為1.18億元。

中微公司當(dāng)時(shí)指出，睿勵(lì)科學(xué)儀器自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行14納米工藝驗(yàn)證，在3D存儲(chǔ)芯片上達(dá)到64層的檢測能力。產(chǎn)品目前已成功進(jìn)入世界領(lǐng)先芯片客戶3D閃存芯片生產(chǎn)線，并取得7臺(tái)次重復(fù)訂單，是目前進(jìn)入該國際領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)唯一的國產(chǎn)集成電路設(shè)備產(chǎn)品。