5月20日，深圳中科飛測科技有限公司（以下簡稱“中科飛測”）橢偏膜厚量測儀作為首批設(shè)備正式搬入廈門士蘭集科微電子有限公司（以下簡稱“士蘭集科”）。

資料顯示，士蘭集科由廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)和士蘭微共同出資成立，注冊資本為20億元，其中廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)出資17億元，占股85%；士蘭微出資3億元，占股15%，主要負(fù)責(zé)實(shí)施運(yùn)營士蘭微在廈門建設(shè)的12英寸特色工藝半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)線項(xiàng)目。

該項(xiàng)目總投資170億元，建設(shè)兩條以MEMS、功率器件為主要產(chǎn)品的12英寸集成電路制造生產(chǎn)線。其中第一條12英寸特色工藝半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)線項(xiàng)目總建筑面積約25萬平方米，總投資70億元，分兩期建成，規(guī)劃產(chǎn)能8萬片/月。項(xiàng)目一期總投資50億元，實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能4萬片；二期項(xiàng)目總投資40億元，新增月產(chǎn)能4萬片。5月10日，該項(xiàng)目在海滄正式通電

第二條芯片制造生產(chǎn)線預(yù)計總投資100億元，定位為功率半導(dǎo)體芯片及MEMS傳感器。項(xiàng)目一期預(yù)計2020年完成廠房建設(shè)及設(shè)備安裝調(diào)試，2021年實(shí)現(xiàn)通線生產(chǎn)，2022年達(dá)產(chǎn)。項(xiàng)目二期2022年前后啟動，2024年達(dá)產(chǎn)。

廈門網(wǎng)此前指出，該項(xiàng)目是國內(nèi)首條12英寸特色工藝半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)線，它的落地將填補(bǔ)國內(nèi)特色工藝半導(dǎo)體芯片方面的空白，助力我國在特色工藝半導(dǎo)體芯片方面實(shí)現(xiàn)彎道超車，對提升廈門乃至福建集成電路產(chǎn)業(yè)在國家戰(zhàn)略布局中的格局和地位，具有里程碑意義。