據(jù)新華社報道，由中國電子科技集團旗下電科裝備自主研制的高能離子注入機成功實現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速，性能達國際主流先進水平。

據(jù)悉，離子注入機是芯片制造中至關重要的核心關鍵裝備。集成電路領域離子注入機包括三種機型，大束流離子注入機、中束流離子注入機和高能離子注入機。

目前世界范圍內(nèi)以集成電路領域離子注入機為主要業(yè)務的公司共有6家，分別為美國AMAT/Varian和Axcelis、日本SMIT和Nissin、中國臺灣地區(qū)AIBT、以及國內(nèi)電科裝備。

其中，Axcelis的前身為Eaton，在高能離子注入機領域占據(jù)了近乎壟斷地位。

電科裝備離子注入機總監(jiān)張叢表示，電科裝備將在年底前推出首臺高能離子注入機，實現(xiàn)我國芯片制造領域全系列離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，并將為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機成套解決方案。

官網(wǎng)信息顯示，中國電子科技集團有限公司成立于2002年3月，主要從事國家重要軍民用大型電子信息系統(tǒng)的工程建設，重大電子裝備、軟件、基礎元器件和功能材料的研制、生產(chǎn)及保障服務。

據(jù)悉，電科裝備在離子注入機領域具有較好的技術(shù)積淀，此前已連續(xù)突破中束流、大束流、特種應用及第三代半導體等離子注入機產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化難題，產(chǎn)品廣泛服務于全球知名芯片制造企業(yè)。