在當(dāng)前包含物聯(lián)網(wǎng)、工業(yè)自動(dòng)化、人工智能、自動(dòng)駕駛、5G通訊等新科技逐漸普及的情況下,帶動(dòng)了半導(dǎo)體的成長(zhǎng),并使得芯片需求大幅提升。而為了迎接這些挑戰(zhàn),導(dǎo)入新的材料增加效能,在延續(xù)摩爾定律過程中,材料技術(shù)不斷演進(jìn),且應(yīng)用的材料本質(zhì)也開始改變。而特用化學(xué)原料暨先進(jìn)科技材料龍頭供應(yīng)商英特格(Entegris Inc.)即透過運(yùn)用科學(xué)為基礎(chǔ),以提供解決方案,并協(xié)助半導(dǎo)體客戶在先進(jìn)制程上應(yīng)對(duì)各種挑戰(zhàn)。

英特格技術(shù)長(zhǎng)James O’Neill指出,英特格成立迄今已經(jīng)有50年歷史,去年整體營收達(dá)16億美元。而在當(dāng)前新的材料、芯片、形狀都與過去不同,對(duì)于半導(dǎo)體制程來說都是很復(fù)雜的挑戰(zhàn)。

舉例來說,從28納米轉(zhuǎn)換到7納米,復(fù)雜程度是過去的兩倍。技術(shù)要驗(yàn)證得要更快,所以整個(gè)生產(chǎn)周期時(shí)間都是更短的。這也表示我們?cè)诓捎孟冗M(jìn)制程時(shí),要達(dá)成較佳的良率更為困難,產(chǎn)業(yè)的重點(diǎn)就在于如何快速達(dá)到好的良率。這也就是英特格的優(yōu)勢(shì)所在。

James O’Neill表示,要提高良率重點(diǎn)之一是污染控制,從28納米到7納米,對(duì)于金屬雜質(zhì)容忍程度已經(jīng)減少1,000倍,而晶圓致命微粒則縮小將近4倍,這點(diǎn)非常重要,因?yàn)橹灰s質(zhì)或微粒等污染的容忍程度有了細(xì)微變動(dòng),對(duì)晶圓廠獲利都會(huì)造成很大的影響。整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)系中,每個(gè)步驟都要顧慮污染控制,包括工廠中怎么制作和包裝化學(xué)品、如何運(yùn)送與在工廠中使用與儲(chǔ)存,每個(gè)步驟都相當(dāng)重要。英特格有各項(xiàng)產(chǎn)品和解決方案,確保整個(gè)制程、輸送時(shí)不受污染。

James O’Neill進(jìn)一步強(qiáng)調(diào),因?yàn)槲g刻技術(shù)的大幅進(jìn)步,現(xiàn)在半導(dǎo)體廠開始導(dǎo)入的是極紫外光EUV設(shè)備及技術(shù)。而英特格在EUV制程的污染控制與光罩盒是市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者,旗下的過濾技術(shù)能確保材料放在pattern上維持潔凈度。此外,

半導(dǎo)體制程中,運(yùn)用EUV的光蝕刻技術(shù)可再進(jìn)一步細(xì)分成好幾個(gè)步驟,這使得英特格不僅提供光罩盒,還有特殊化學(xué)品、過濾器、過濾技術(shù),以及制程中各方面需要的材料和污染控制,惟有英特格能夠提供最廣泛的解決方案。

James O’Neill也證實(shí),因?yàn)槟壳叭虬雽?dǎo)體廠僅有3家晶圓代工廠,包括臺(tái)積電、三星及英特爾有能力持續(xù)推進(jìn)先前制程,尤其龍頭臺(tái)積電預(yù)計(jì)2020年將開始量產(chǎn)6納米,以及更加先進(jìn)的5納米制成,帶動(dòng)臺(tái)灣未來的導(dǎo)體業(yè)樂觀前景。而因此,英特格確定與這3家廠商進(jìn)行合作,持續(xù)提供相關(guān)解決方案給客戶,以滿足在先進(jìn)制程上的需求。