日前，一根長1.5米、重達270公斤的12英寸半導(dǎo)體級硅單晶棒經(jīng)過超高溫作業(yè)后在這里出爐，成為浙江省首根擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的量產(chǎn)型集成電路用12英寸單晶硅棒。

單晶硅棒是支撐集成電路產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)功能材料，對工藝、材料和設(shè)備都有極高要求。單晶硅棒經(jīng)切割、研磨、清洗、拋光以及外延等20多道工序制備而成的硅拋光片或硅外延片，就是芯片的“地基”?！肮杵睆皆酱螅瑢Σ牧虾图夹g(shù)的要求就越高，制造難度也越大?！苯鹑疸㈦娮樱ㄡ橹荩┯邢薰径麻L王敏文介紹，長期以來，全球5家硅片企業(yè)占據(jù)了整個12英寸半導(dǎo)體級硅片市場97%以上的份額。到目前為止，我國集成電路用12英寸硅片正片幾乎全部依賴進口。

“金瑞泓微電子（衢州）有限公司在硅片產(chǎn)業(yè)化的拉晶環(huán)節(jié)取得重大技術(shù)突破，補上了我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈缺失的重要一環(huán)，也能有效推動衢州市加快成為國內(nèi)領(lǐng)先的集成電路材料產(chǎn)業(yè)基地?！贬橹菔薪?jīng)信局相關(guān)負責(zé)人認為，12英寸單晶硅棒的成功出爐，為下一步12英寸硅片的產(chǎn)業(yè)化奠定了堅實的基礎(chǔ)，對完善我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈具有積極意義。

去年，投資34.6億元、年產(chǎn)180萬片集成電路用12英寸硅片項目落戶衢州綠色產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，項目達產(chǎn)后，預(yù)計可實現(xiàn)年銷售收入逾15億元。

目前，金瑞泓微電子（衢州）有限公司正在進一步拓寬半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，開發(fā)高技術(shù)、高附加值的新一代半導(dǎo)體材料，重點發(fā)展汽車電子用芯片、電源管理IC芯片、集成電路用大硅片，努力實現(xiàn)12英寸集成電路用單晶硅片正片國產(chǎn)化“零突破”，填補該領(lǐng)域的國內(nèi)空白。