疫情之下，上海集成電路企業(yè)韌性十足，加速復(fù)工復(fù)產(chǎn)。近日，位于臨港新片區(qū)的積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線一期建成投片。

臨港新片區(qū)積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線總投資359億元，占地面積23萬平方米。在特色工藝生產(chǎn)線的無塵生產(chǎn)車間，半導(dǎo)體芯片的整個制作流程被展示在墻上，原始晶圓要經(jīng)過光刻、離子注入，刻蝕等步驟方能成為成品。

Source：浦東電視臺

積塔半導(dǎo)體五廠廠長 戴學春：這個光刻工藝實際上反映了我們制造工藝的水平，現(xiàn)在目前的配置是有兩臺光刻機，我們可以做到月產(chǎn)5000片，當我們這個線全部填滿的時候，能做到月產(chǎn)6萬片。

作為上海市重大產(chǎn)業(yè)項目，積塔特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)項目專注于模擬電路及功率器件的制造，支撐工控、汽車電子、智能電網(wǎng)、能源等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，全面達產(chǎn)后將成為國內(nèi)領(lǐng)先的車規(guī)級特色工藝生產(chǎn)線，可進一步完善上海集成電路產(chǎn)業(yè)高地布局。

積塔半導(dǎo)體公司首席運營官 郭強：我們積塔半導(dǎo)體這個項目首先在設(shè)備采購方面就選擇了國際上比較先進的一些生產(chǎn)設(shè)備，為我們制造出高端產(chǎn)品提供最基本的保障。公司在國家的支持下引進了一些核心的研發(fā)團隊和生產(chǎn)運營管理團隊，由此，我們就能開發(fā)出和國際上主要供應(yīng)商相匹配相對應(yīng)的高端功率器件和模擬電路，保障我們的質(zhì)量符合國際上汽車電子的規(guī)格要求。

據(jù)悉，今年初疫情突發(fā)，正處于設(shè)備密集搬入和組裝期的積塔半導(dǎo)體新線項目面臨嚴峻挑戰(zhàn)。公司一手抓疫情防控、一手抓建廠，堅定按照預(yù)定節(jié)點成功通線投片，為積塔半導(dǎo)體新線實現(xiàn)年內(nèi)量產(chǎn)奠定了堅實基礎(chǔ)。