6月2日，上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技”）在投資者互動平臺上表示，公司目前在建的晶圓再生項目，建設(shè)期為2019年-2020年，運營期為2021年-2027年，項目預(yù)計在2023年達(dá)到計劃產(chǎn)量。

根據(jù)至純科技2019年12月18日發(fā)布的《至純科技公開發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集說明書》顯示，至純科技擬發(fā)行可轉(zhuǎn)債規(guī)模不超過35,600萬元（含35,600萬元），在扣除發(fā)行費用后的凈額用于投資半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目和晶圓再生項目。

其中晶圓再生項目投資總額為21,000.00萬元，建設(shè)內(nèi)容主要包括生產(chǎn)車間建設(shè)及設(shè)備購置。項目建成后，主要開展再生晶圓的加工服務(wù)，本項目達(dá)產(chǎn)后，將實現(xiàn)年產(chǎn)12英寸硅再生晶圓84萬片的產(chǎn)出能力。公告顯示，本次項目的實施主體為合肥至微半導(dǎo)體有限公司（以下簡稱“合肥至微半導(dǎo)體”），合肥至微半導(dǎo)體系至微半導(dǎo)體（上海）有限公司的全資子公司，至微半導(dǎo)體（上海）有限公司系公司持股90%的控股子公司。

此外，至純科技還披露，截至2019年末，公司已累計獲得40臺設(shè)備訂單，完成近20臺設(shè)備裝機。據(jù)至純科技此前發(fā)布的019年度報告顯示，2018年度取得訂單的中芯、萬國、德州儀器、燕東、華潤等用戶的第一批裝備基本完成交付，中芯已有6臺裝備投入使用，包括清洗、刻蝕、金屬剝離、晶圓回收等多個工藝。

2019年，以上客戶中除萬國以外均有重復(fù)訂單購買公司濕法裝備，這是對于首批交付產(chǎn)品在實際生產(chǎn)中使用結(jié)果的最佳反饋。同時，公司濕法裝備的新訂單中增加了華虹集團(tuán)ICRD、中車、臺灣力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、華為等用戶，新增訂單中包括12英寸單片設(shè)備，新增訂單中有中車IGBT、瀚天天成碳化硅外延等產(chǎn)線。

至純科技表示，2020年，公司將以啟東廠區(qū)第一期產(chǎn)能48臺為目標(biāo)。?