近日，由沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）生產(chǎn)的前道涂膠顯影機到位中芯北方進行驗證。據(jù)沈陽日報報道，這意味著國產(chǎn)涂膠顯影設備開始大批量走向市場。

資料顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，目前主要從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），產(chǎn)品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環(huán)節(jié)）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環(huán)節(jié)）。

2019年12月16日，芯源微在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，成為了遼寧省科創(chuàng)板“第一股”和中科院第一家科創(chuàng)板上市企業(yè)。根據(jù)此前的招股書披露，芯源微擬向社會公開發(fā)行不超過2,100萬股，計劃募集資金3.78億元投入高端晶圓處理設備產(chǎn)業(yè)化項目、高端晶圓處理設備研發(fā)中心項目兩大項目。

2019年度報告顯示，芯源微生產(chǎn)的前道涂膠顯影設備于2018年下半年分別發(fā)往上海華力、長江存儲進行工藝驗證，其中上海華力機臺為前道Barc（抗反射層）涂覆設備，已于2019年9月通過工藝驗證并確認收入；長江存儲機臺為前道涂膠顯影設備，目前仍在驗證中。通過在上海華力、長江存儲的驗證與改進，公司光刻工序前道涂膠顯影設備在多個關鍵技術方面取得突破，技術成果已應用到新產(chǎn)品、新客戶，截至目前，已陸續(xù)獲得了株洲中車、青島芯恩、上海積塔、寧波中芯、昆明京東方、廈門士蘭等多個前道大客戶的訂單。

而集成電路前道晶圓加工領域用清洗機Spin Scrubber設備的各項指標均得到明顯改善或提升，已經(jīng)達到國際先進水平。該類設備已在中芯國際、上海華力等多個客戶處通過工藝驗證，截至目前已獲得國內(nèi)多家晶圓廠商的重復訂單。

此外，芯源微生產(chǎn)的光刻工序涂膠顯影設備與單片式濕法設備，已經(jīng)從傳統(tǒng)的先進封裝領域、LED領域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領域，截至目前已累計銷售800余臺套，已作為主流機型應用于臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等國內(nèi)一線大廠。