沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“芯源微”）生產(chǎn)的前道涂膠顯影機(jī)，通過(guò)了北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司的驗(yàn)證。據(jù)人民網(wǎng)報(bào)道，這意味著，打破國(guó)外壟斷、填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白的國(guó)產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備開(kāi)始大批量走向市場(chǎng)。

資料顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，目前主要從事半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），產(chǎn)品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環(huán)節(jié)）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）。

2019年12月16日，芯源微在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，成為了遼寧省科創(chuàng)板“第一股”和中科院第一家科創(chuàng)板上市企業(yè)。根據(jù)此前的招股書(shū)披露，芯源微擬向社會(huì)公開(kāi)發(fā)行不超過(guò)2,100萬(wàn)股，計(jì)劃募集資金3.78億元投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、高端晶圓處理設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目?jī)纱箜?xiàng)目。

2019年度報(bào)告顯示，芯源微生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備于2018年下半年分別發(fā)往上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，其中上海華力機(jī)臺(tái)為前道Barc（抗反射層）涂覆設(shè)備，已于2019年9月通過(guò)工藝驗(yàn)證并確認(rèn)收入；長(zhǎng)江存儲(chǔ)機(jī)臺(tái)為前道涂膠顯影設(shè)備，目前仍在驗(yàn)證中。通過(guò)在上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)的驗(yàn)證與改進(jìn)，公司光刻工序前道涂膠顯影設(shè)備在多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破，技術(shù)成果已應(yīng)用到新產(chǎn)品、新客戶(hù)，截至目前，已陸續(xù)獲得了株洲中車(chē)、青島芯恩、上海積塔、寧波中芯、昆明京東方、廈門(mén)士蘭等多個(gè)前道大客戶(hù)的訂單。

而集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用清洗機(jī)Spin Scrubber設(shè)備的各項(xiàng)指標(biāo)均得到明顯改善或提升，已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該類(lèi)設(shè)備已在中芯國(guó)際、上海華力等多個(gè)客戶(hù)處通過(guò)工藝驗(yàn)證，截至目前已獲得國(guó)內(nèi)多家晶圓廠(chǎng)商的重復(fù)訂單。

此外，芯源微生產(chǎn)的光刻工序涂膠顯影設(shè)備與單片式濕法設(shè)備，已經(jīng)從傳統(tǒng)的先進(jìn)封裝領(lǐng)域、LED領(lǐng)域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領(lǐng)域，截至目前已累計(jì)銷(xiāo)售800余臺(tái)套，已作為主流機(jī)型應(yīng)用于臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等國(guó)內(nèi)一線(xiàn)大廠(chǎng)。