近日,安徽省經(jīng)信廳引發(fā)《重點領域補短板產(chǎn)品和關鍵技術攻關任務揭榜工作方案》(以下簡稱“方案”)。
根據(jù)《方案》,安徽省將聚焦新一代電子信息、智能裝備、新材料等重點領域,組織具備較強創(chuàng)新能力的企業(yè)揭榜攻關,通過2-3年時間,重點突破一批制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關鍵技術,培育一批優(yōu)勢產(chǎn)品,做強一批優(yōu)勢企業(yè),不斷提高制造業(yè)自主可控水平,促進制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
目前,安徽省已經(jīng)以制造業(yè)重大發(fā)展需求為目標,以突破產(chǎn)業(yè)關鍵技術短板為導向,著眼有基礎可產(chǎn)業(yè)化、突出產(chǎn)業(yè)帶動性,在10個重點領域、50個重點方向中確定了104項揭榜任務,其中包括多項集成電路產(chǎn)業(yè)的揭榜任務。
以下為部分集成電路產(chǎn)業(yè)揭榜任務:
射頻氮化鎵單晶襯底的主要任務為面向高端射頻領域,如軍用相控雷達、5G通信基站、衛(wèi)星通訊等,開展基于自支撐技術的高質(zhì)量、大尺寸、半絕緣型的氮化鎵襯底生長及物性調(diào)控的研發(fā)與量產(chǎn)。
低功耗高速率LPDDR5 DRAM產(chǎn)品開發(fā)的主要任務為面向中高端移動、平板及消費類產(chǎn)品DRAM存儲芯片自主可控需求,研發(fā)先進低功耗高速率LPDDR5 產(chǎn)品并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,依托DRAM 17nm及以下工藝,攻關高速接口技術、Bank Group架構(gòu)設計技術、低功耗電源(電壓)技術、片內(nèi)糾錯編碼(On-Die ECC)技術,完成低功耗高速率LPDDR5 DRAM產(chǎn)品開發(fā)。
15/14nm DRAM存儲芯片先進工藝開發(fā)及產(chǎn)品研發(fā)的主要任務為圍繞未來云計算、人工智能等對DRAM存儲芯片小尺寸、大容量、高速度的需求,進行15/14nm DRAM存儲芯片制造工藝開發(fā),并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。
DRAM存儲芯片專用封裝工藝鋁重新布線層(Al RDL)工藝開發(fā)的主要任務為圍繞先進DRAM產(chǎn)品工藝開發(fā)需求,開展鋁重新布線層工藝開發(fā)并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應用,采用氣相沉積氧化硅厚膜作為保護層降低材料應力,攻關濺鍍厚鋁技術替代電鍍銅(鎳鈀金)技術,通過鋁替代銅作為重新布線層,解決先進DRAM產(chǎn)品封裝良率低、成本高、周期長等問題。
5nm計算光刻國產(chǎn)化,該任務的研究內(nèi)容包括:計算光刻EDA軟件,提供高度智能化、自動化的EDA仿真軟件,含OPC和SMO兩大核心技術,同時將版圖到掩膜版數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的全流程囊括其中,增加工藝探索、建模、圖形驗證、圖形校正、數(shù)據(jù)準備5大模塊,各個模塊可以獨立操作又能有效串連,對光刻工藝步驟構(gòu)建適合的軟件模型,以純軟件模型取代工程實驗,達到降低研發(fā)成本的效果。通過內(nèi)建人工智能算法引擎,從而提高收斂準確性,支持5nm光刻工藝和多重圖形化(Multiple-Patterning)技術,實現(xiàn)Patterning圖形全流程自動化,最大程度減少對人的依賴,還起到了提高開發(fā)效率、減少人力成本、縮短開發(fā)時間的作用。
定位下一代EDA的5nm工藝研發(fā)DTCO平臺,主要內(nèi)容包括:將光刻工藝研發(fā)和器件工藝研發(fā)流程整合的工藝研發(fā)流程。包括七大模塊:1.性能評價模塊 2.功耗評價模塊 3.面積評估模塊 4.制程成本評估模塊 5.制程可行性評估模塊 6.智能設計規(guī)則管理系統(tǒng) 7.DTCO協(xié)作請求與控制系統(tǒng)。通過此DTCO平臺, 工藝研發(fā)人員將從研發(fā)早期確定技術路線,對性能功耗面積的持續(xù)優(yōu)化,評估工藝條件的可行性與成本,決定設計規(guī)則窗口,引入研發(fā)組織協(xié)作流程,將龐大的工藝研發(fā)信息納入統(tǒng)一管理,降低工藝研發(fā)成本,提高效率。?
5G高抑制n77頻帶帶通濾波器的主要內(nèi)容為實現(xiàn)高抑制Hybrid 5G n77濾波器產(chǎn)品研發(fā)并產(chǎn)業(yè)化,解決射頻前端芯片“卡脖子”難題。
基于5G通訊的LTCC射頻器件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的主要內(nèi)容為突破LTCC三維布局、傳輸零點的引入方法、LTCC濾波器的計算機輔助診斷與調(diào)試等關鍵技術。
國產(chǎn)化智能語音芯片研發(fā)的主要任務為:1.完全自研、自定義的DSP和AI加速器的指令和IP的研究設計;2.專用IP設計以及驗證:完成AI加速器微架構(gòu)設計,指令集設計,用RTL實現(xiàn)并驗證,主要包括:1)AI加速器微架構(gòu)設計,它可以較好的平衡各種算力需求和設計復雜度;2)針對人工智能算子,設計出AI加速指令。
存儲器芯片生產(chǎn)自動測試設備研發(fā)的主要任務包括1.ATE行業(yè)最高集成度的核心儀表板;2.行業(yè)最高的系統(tǒng)配置能力;3.行業(yè)內(nèi)最高生產(chǎn)并行測試能力。