6月2日，上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技”）在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司目前在建的晶圓再生項(xiàng)目，建設(shè)期為2019年-2020年，運(yùn)營期為2021年-2027年，項(xiàng)目預(yù)計(jì)在2023年達(dá)到計(jì)劃產(chǎn)量。

根據(jù)至純科技2019年12月18日發(fā)布的《至純科技公開發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集說明書》顯示，至純科技擬發(fā)行可轉(zhuǎn)債規(guī)模不超過35,600萬元（含35,600萬元），在扣除發(fā)行費(fèi)用后的凈額用于投資半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項(xiàng)目和晶圓再生項(xiàng)目。

其中晶圓再生項(xiàng)目投資總額為21,000.00萬元，建設(shè)內(nèi)容主要包括生產(chǎn)車間建設(shè)及設(shè)備購置。項(xiàng)目建成后，主要開展再生晶圓的加工服務(wù)，本項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)12英寸硅再生晶圓84萬片的產(chǎn)出能力。公告顯示，本次項(xiàng)目的實(shí)施主體為合肥至微半導(dǎo)體有限公司（以下簡稱“合肥至微半導(dǎo)體”），合肥至微半導(dǎo)體系至微半導(dǎo)體（上海）有限公司的全資子公司，至微半導(dǎo)體（上海）有限公司系公司持股90%的控股子公司。

此外，至純科技還披露，截至2019年末，公司已累計(jì)獲得40臺(tái)設(shè)備訂單，完成近20臺(tái)設(shè)備裝機(jī)。據(jù)至純科技此前發(fā)布的019年度報(bào)告顯示，2018年度取得訂單的中芯、萬國、德州儀器、燕東、華潤等用戶的第一批裝備基本完成交付，中芯已有6臺(tái)裝備投入使用，包括清洗、刻蝕、金屬剝離、晶圓回收等多個(gè)工藝。

2019年，以上客戶中除萬國以外均有重復(fù)訂單購買公司濕法裝備，這是對于首批交付產(chǎn)品在實(shí)際生產(chǎn)中使用結(jié)果的最佳反饋。同時(shí)，公司濕法裝備的新訂單中增加了華虹集團(tuán)ICRD、中車、臺(tái)灣力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、華為等用戶，新增訂單中包括12英寸單片設(shè)備，新增訂單中有中車IGBT、瀚天天成碳化硅外延等產(chǎn)線。

至純科技表示，2020年，公司將以啟東廠區(qū)第一期產(chǎn)能48臺(tái)為目標(biāo)。?