6月3日，中國長城科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“中國長城”）在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司近日研制成功國內(nèi)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)消息屬實(shí)。

今年5月，中國長城官方消息顯示，旗下鄭州軌交院與河南通用成功研制出我國首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)，填補(bǔ)國內(nèi)空白，在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先水平。我國半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實(shí)質(zhì)性重大突破，相關(guān)裝備依賴進(jìn)口的局面即將打破。

據(jù)報(bào)道，該裝備通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)加工平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持高穩(wěn)定性、高精度，運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)500mm/S，效率遠(yuǎn)高于國外設(shè)備。 在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平，采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器，最終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。

在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機(jī)，配以不同功效的鏡頭，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識(shí)別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。該裝備還搭載了同軸影像系統(tǒng)，可以確保切割中效果的實(shí)時(shí)確認(rèn)和優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)最佳切割效果。

高端智能裝備是國之重器，是制造業(yè)的基石，尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)高端智能裝備，在國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展中更是具有舉足輕重的作用。專家評(píng)價(jià)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)研制成功，對(duì)進(jìn)一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。