繼1月2日，中微中標(biāo)長江存儲(chǔ)9臺(tái)刻蝕設(shè)備訂單后，武漢精測電子集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“精測電子”）也迎中標(biāo)訂單。

據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)消息，1月17日，精測電子控股子公司上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（簡稱“上海精測”）中標(biāo)長江存儲(chǔ)的3臺(tái)集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測儀。

資料顯示，上海精測成立于2018年7月，主要從事以半導(dǎo)體測試設(shè)備為主的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，同時(shí)也開發(fā)一部分顯示和新能源領(lǐng)域的檢測設(shè)備。公司以橢圓偏振技術(shù)為核心，在1年多時(shí)間內(nèi)開發(fā)了膜厚測量以及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)，包括集成式膜厚測量機(jī)EFILM 300IM、集成單/雙模塊膜厚測量機(jī)EFILM 300DS、高性能膜厚及OCD測量機(jī)EPROFILE 300FD等產(chǎn)品型號(hào)。

當(dāng)前，上海精測已獲國家大基金入股。天眼查公開信息顯示，2019年12月，上海精測已完成股權(quán)變更，新增了國家大基金、上海半導(dǎo)體等7個(gè)股東，注冊(cè)資本也有此前的1億元增加至6.5億元，其中國家大基金一期注資1億，對(duì)上海精測半導(dǎo)體持股4%，為并列第二大股東。

近日，上海精測實(shí)現(xiàn)3臺(tái)來自長江存儲(chǔ)的集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測儀訂單，表明上海精測已具備晶圓制造環(huán)節(jié)的膜厚量測設(shè)備重復(fù)、批量供應(yīng)能力。

事實(shí)上，近年來，國產(chǎn)量測設(shè)備廠商已經(jīng)陸續(xù)獲得長江存儲(chǔ)訂單，例如上海睿勵(lì)2017年底拿到長江存儲(chǔ)2臺(tái)膜厚設(shè)備訂單；中科飛測也拿到了長江存儲(chǔ)等大廠的訂單；上海精測中標(biāo)3臺(tái)膜厚量測設(shè)備。