國產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠發(fā)展新動(dòng)態(tài)

國產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠發(fā)展新動(dòng)態(tài)

前段時(shí)間,“光刻膠”概念在市場上受到關(guān)注,作為關(guān)鍵性電子化學(xué)品之一,光刻膠是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料國產(chǎn)替代的重點(diǎn)領(lǐng)域,那么目前中國本土光刻膠發(fā)展現(xiàn)狀如何?本土企業(yè)的光刻膠產(chǎn)品或項(xiàng)目有何新動(dòng)態(tài)?

據(jù)了解,光刻膠是國際上技術(shù)門檻最高的微電子化學(xué)品之一,其技術(shù)原理是利用光化學(xué)反應(yīng)經(jīng)光刻工藝將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上的圖形轉(zhuǎn)移介質(zhì)。在光刻工藝中,光刻膠被均勻涂布在硅片、玻璃和金屬等不同的襯底上,經(jīng)曝光、顯影和蝕刻等工序?qū)⒀谀ぐ嫔系膱D形轉(zhuǎn)移到薄膜上,形成與掩膜版完全對(duì)應(yīng)的幾何圖形。

按顯示的效果,光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠;按應(yīng)用的領(lǐng)域,光刻膠可分為半導(dǎo)體用光刻膠、平板顯示用光刻膠、PCB光刻膠。其中,為適應(yīng)集成電路線寬不斷縮小的要求,半導(dǎo)體用光刻膠波長由紫外寬譜向g線(436nm)→i線(365nm)→KrF(248nm)→ArF(193nm)→F2(157nm)的方向轉(zhuǎn)移,通過分辨率增強(qiáng)技術(shù)不斷提升光刻膠的分辨率水平。

目前,全球主要光刻膠企業(yè)有日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、信越化學(xué)、美國羅門哈斯等,市場高度集中。我國光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展緩慢,光刻膠生產(chǎn)及研發(fā)水平與國際差距較大,主要集中在PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等產(chǎn)品,技術(shù)壁壘較高的半導(dǎo)體用光刻膠仍需依賴進(jìn)口,尤其在高端光刻膠方面仍處空白。

不過,隨著近年來國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,國產(chǎn)光刻膠企業(yè)也正在發(fā)力追趕,國內(nèi)研發(fā)生產(chǎn)光刻膠的企業(yè)主要有晶瑞股份、北京科華、南大光電、上海新陽、容大感光、飛凱材料等,目前晶瑞股份旗下子公司蘇州瑞紅和北京科華可規(guī)模量產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠,但總體來說國產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠發(fā)展之路任重道遠(yuǎn)。

近期,光刻膠受到了市場重點(diǎn)關(guān)注,多家企業(yè)亦披露了各自光刻膠產(chǎn)品的發(fā)展情況,下面來看看國內(nèi)半導(dǎo)體用光刻膠的最新動(dòng)態(tài)。

晶瑞股份

晶瑞股份是一家微電子材料企業(yè),主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等,其中光刻膠產(chǎn)品主要由其子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。據(jù)介紹,蘇州瑞紅1993年開始光刻膠生產(chǎn),是國內(nèi)最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一。

根據(jù)晶瑞股份2019年年報(bào),蘇州瑞紅紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分g線等高端產(chǎn)品已規(guī)模供應(yīng)市場數(shù)十年,承擔(dān)并完成了國家重大科技項(xiàng)目02重大專項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,其i線光刻膠已向合肥長鑫、士蘭微、揚(yáng)杰科技、福順微電子等行業(yè)頭部公司供貨。

晶瑞股份表示,蘇州瑞紅KrF(248nm深紫外)光刻膠完成中試,產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0.25~0.13μm的技術(shù)要求,建成了中試示范線。

南大光電

南大光電專業(yè)從事高純電子材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,現(xiàn)已形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料和光刻膠四大業(yè)務(wù)板塊。其中,在光刻膠方面,南大光電正在自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的193nm光刻膠項(xiàng)目,已獲得國家02專項(xiàng)“193nm光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)項(xiàng)目”和“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的正式立項(xiàng)。

根據(jù)2019年年報(bào)顯示,南大光電“193nm光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)項(xiàng)目”的研發(fā)工作已經(jīng)完成,正在驗(yàn)收中。此外,公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部,并由子公司寧波南大光電全力推進(jìn)“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的落地實(shí)施。

5月27日,南大光電公告表示,“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行;2019年底完成一條生產(chǎn)線的安裝,正在調(diào)試階段。2020年4月,公司采購的用于檢測ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠,5月開始進(jìn)行安裝調(diào)試,預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司同時(shí)自主研發(fā)制備ArF(193nm)光刻膠用的高純原材料,研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測試。

6月3日,南大光電表示,目前“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”尚處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段,驗(yàn)證過程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月,甚至更長的時(shí)間。

上海新陽

2016年底,上海新陽立項(xiàng)開發(fā)集成電路制造用高端光刻膠。根據(jù)上海新陽2019年年報(bào),其已研發(fā)獲得多個(gè)KrF厚膜、ArF干法光刻膠產(chǎn)品配方、工藝數(shù)據(jù)和技術(shù)參數(shù),得到了多次可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)室曝光結(jié)果,關(guān)鍵曝光參數(shù)已經(jīng)達(dá)到了光刻生產(chǎn)工藝對(duì)商用光刻膠可以進(jìn)行中試產(chǎn)品驗(yàn)證的基本要求。

5月8日,上海新陽在2019年度網(wǎng)上業(yè)績說明會(huì)上表示,公司KrF厚膜光刻膠配套的光刻機(jī)一季度已完成安裝調(diào)試,目前進(jìn)入試運(yùn)行階段,KrF厚膜中試產(chǎn)線在安裝調(diào)試建設(shè)當(dāng)中,光刻膠產(chǎn)品還處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和中試開發(fā)階段。

5月26日,上海新陽在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示,公司光刻膠已完成實(shí)驗(yàn)室研發(fā),準(zhǔn)備開始進(jìn)行200L反應(yīng)釜的中試,在建項(xiàng)目規(guī)劃產(chǎn)能為500噸/年。

容大感光

容大感光致力于PCB感光油墨、光刻膠及配套化學(xué)品、特種油墨等電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,光刻膠產(chǎn)品主要包括紫外線正膠、紫外線負(fù)膠兩大類產(chǎn)品以及稀釋劑、顯影液、剝離液等配套化學(xué)品,主要應(yīng)用于平板顯示、發(fā)光二極管及集成電路等領(lǐng)域。

據(jù)了解,容大感光的光刻膠業(yè)務(wù)營收占比較小,其產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域更多集中在平板顯示合LED芯片。5月27日,容大感光在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示,公司目前可生產(chǎn)的半導(dǎo)體光刻膠主要為g/i線正性光刻膠、i線負(fù)性光刻膠、i線厚膜膠等,主要包括RD-2000、RD-4000、RD-6000、RD-NL系列等。

此外,容大感光大亞灣光刻膠及其配套化學(xué)品募投項(xiàng)目設(shè)計(jì)的生產(chǎn)能力為年產(chǎn)1000噸,投產(chǎn)后的主要產(chǎn)品是用于平板顯示、發(fā)光二極管、集成電路芯片等領(lǐng)域的光刻膠,類別為g/i線正性光刻膠、負(fù)性光刻膠,i線正性光刻膠的分辨率為0.35微米。今年5月中旬,容大感光回復(fù)深交所關(guān)注涵表示,該項(xiàng)目所有設(shè)備已安裝調(diào)試完畢。

飛凱材料

飛凱材料的主營業(yè)務(wù)產(chǎn)品主要包括紫外固化材料和電子化學(xué)材料,電子化學(xué)材料主要包括應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及先進(jìn)封裝領(lǐng)域的濕制程電子化學(xué)品如顯影液、蝕刻液、剝離液、電鍍液等,用于集成電路傳統(tǒng)封裝領(lǐng)域的錫球、環(huán)氧塑封料,用于TFT-LCD液晶顯示面板制造領(lǐng)域的正性光刻膠、TN/STN型混合液晶、TFT型混合液晶、液晶單體及液晶中間體、用于OLED屏幕制造領(lǐng)域的配套材料等新材料。

在光刻膠方面,2019年飛凱材料的5000t/aTFT-LCD光刻膠項(xiàng)目順利試生產(chǎn),今年6月1日飛凱材料在投資者平臺(tái)上表示,公司TFT-LCD正性光刻膠目前處于試生產(chǎn)過程中,且近期出貨量也在穩(wěn)步提升。

至于半導(dǎo)體用光刻膠,飛凱材料表示,公司i-line半導(dǎo)體光刻膠實(shí)驗(yàn)室階段產(chǎn)品正在做客戶送樣驗(yàn)證前的準(zhǔn)備工作。

南大光電披露光刻膠項(xiàng)目最新進(jìn)展

南大光電披露光刻膠項(xiàng)目最新進(jìn)展

近日,江蘇南大光電材料股份有限公司(以下簡稱“南大光電”)在股票交易異常波動(dòng)的公告中披露了其光刻膠項(xiàng)目最新進(jìn)展。

公告顯示,南大光電承接的國家“02專項(xiàng)”之“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行;2019年底完成一條生產(chǎn)線的安裝,正在調(diào)試階段。2020年4月,公司采購的用于檢測ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠,5月開始進(jìn)行安裝調(diào)試,預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司制備ArF(193nm)光刻膠用的高純原材料來源于自主研發(fā),研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測試。

目前“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”正處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段,驗(yàn)證過程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月,甚至更長的時(shí)間。南大光電還指出,ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品開發(fā)技術(shù)突破難度大、工藝要求高,且實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)周期較長,后續(xù)是否能取得下游客戶的訂單,能否大規(guī)模進(jìn)入市場仍存在較多的不確定性。

據(jù)了解,南大光電ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目總投資額為6.56億元,其中,國撥資金1.93億元,地方配套資金1.97億元,項(xiàng)目實(shí)施主體為南大光電全資子公司寧波南大光電。

2019年12月14日,南大光電再次發(fā)布公告稱,通過增資擴(kuò)股的方式寧波南大光電進(jìn)行增資2.6億元,增資事項(xiàng)完成后,寧波南大光電的注冊資本由4000萬元增加到3億元。對(duì)于寧波南大光電增資擴(kuò)股并引入外部投資者,南大光電稱,有利于加快公司ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的建設(shè)進(jìn)度,推動(dòng)光刻膠板塊的戰(zhàn)略布局。

根據(jù)最初規(guī)劃,ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目擬通過3年的建設(shè)、投產(chǎn)及實(shí)現(xiàn)銷售,達(dá)到年產(chǎn)25噸193nm(ArF干式和浸沒式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模,產(chǎn)品滿足集成電路行業(yè)需求標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)建成先進(jìn)光刻膠分析測試中心和高分辨率光刻膠研發(fā)中心。

受讓方變更 南大光電轉(zhuǎn)讓北京科華剩余股權(quán)

受讓方變更 南大光電轉(zhuǎn)讓北京科華剩余股權(quán)

4月21日,南大光電發(fā)布公告,擬變更公司轉(zhuǎn)讓參股公司北京科華微電子材料有限公司(以下簡稱“北京科華”)股權(quán)受讓方。

去年6月,南大光電宣布擬將北京科華31.39%股權(quán)轉(zhuǎn)讓給深投控、疌盛投資、高盟新材、四川潤資、弘坤創(chuàng)投、西藏漢普森、沃燕創(chuàng)投共7家公司。上述交易同時(shí),北京科華的其他股東美國Meng Tech公司和杭州誠和創(chuàng)業(yè)投資有限公司自愿支付公司股權(quán)轉(zhuǎn)讓差價(jià)款1619萬元。該交易完成后,南大光電不再持有北京科華的股權(quán)。

截至公告日,南大光電已收到疌盛投資、高盟新材、弘坤創(chuàng)投和沃燕創(chuàng)投支付的全部股權(quán)轉(zhuǎn)讓對(duì)價(jià)款;收到四川潤資支付的第一期股權(quán)轉(zhuǎn)讓款400萬元;收到西藏漢普森支付的第一期股權(quán)轉(zhuǎn)讓款601.02萬元。截至目前,南大光電累計(jì)收到6家交易對(duì)手方支付的股權(quán)轉(zhuǎn)讓款共計(jì)9999.02萬元。

北京科華就上述6家已履行付款義務(wù)的交易方對(duì)應(yīng)的股權(quán),完成了股權(quán)轉(zhuǎn)讓的工商變更登記手續(xù)。截至目前,南大光電與深投控的股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議(對(duì)應(yīng)股權(quán)對(duì)價(jià)款5000萬元)尚未履行,公司仍持有北京科華9.18%的股權(quán)。

鑒于深投控未按股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議履行付款義務(wù),南大光電采納變更受讓方的方案,現(xiàn)在擬將董事會(huì)、股東大會(huì)審議通過的原股權(quán)轉(zhuǎn)讓方案中,“以5000萬元人民幣將持有的北京科華9.1836%的股權(quán)轉(zhuǎn)讓給深投控”,變更為“以5000萬元人民幣將持有的北京科華9.1836%的股權(quán)轉(zhuǎn)讓給浙江自貿(mào)區(qū)靜遠(yuǎn)投資合伙企業(yè)(有限合伙)”。

南大光電表示,本次交易若順利實(shí)施,將有效解決公司對(duì)于北京科華剩余股權(quán)的處置,增加公司的營運(yùn)資金,有利于優(yōu)化公司資產(chǎn)結(jié)構(gòu),不存在損害公司及全體股東利益的情形。本次交易受讓方變更后,若公司持有北京科華剩余的9.18%股權(quán)順利轉(zhuǎn)讓,預(yù)計(jì)獲得股權(quán)轉(zhuǎn)讓款 5000萬元,公司預(yù)計(jì)增加投資收益約1600萬元,將對(duì)公司2020年度經(jīng)營業(yè)績產(chǎn)生積極影響。

資料顯示,北京科華成立于2004年,是一家產(chǎn)品覆蓋KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑供應(yīng)商與服務(wù)商。2015年,南大光電通過受讓以及增資方式獲取北京科華31.39%的股份,并表示雙方將共同開展193nm光刻膠的研究與產(chǎn)品開發(fā),后來雙方合作并沒有按計(jì)劃進(jìn)行。

寧波南大光電第一條ArF光刻膠生產(chǎn)線已安裝

寧波南大光電第一條ArF光刻膠生產(chǎn)線已安裝

近日,南大光電在互動(dòng)平臺(tái)透露,寧波南大光電目前已安裝完成第一條ArF(193nm)光刻膠生產(chǎn)線,該產(chǎn)線仍處于調(diào)試階段。目前,研發(fā)的產(chǎn)品正在測試、認(rèn)證過程中,尚未形成量產(chǎn)和銷售。

2019年7月,南大光電在互動(dòng)平臺(tái)透露,公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部,并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”,全力推進(jìn)“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”落地實(shí)施。

2019年10月,南大光電公告稱,公司與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽署了《投資協(xié)議書》,擬在寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資開發(fā)高端集成電路制造用各種先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料,形成規(guī)模化生產(chǎn)能力,建立配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈。該項(xiàng)目計(jì)劃總投資6億元,預(yù)計(jì)總用地50畝。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后,預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)約10億元的年銷售額,年利稅預(yù)計(jì)約2億元。

資資料顯示,南大光電主要從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,通過承擔(dān)國家重大技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。目前,公司形成MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料等業(yè)務(wù)板塊。值得注意的是,2017年,南大光電還承擔(dān)了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”(以下簡稱193nm光刻膠項(xiàng)目)。

對(duì)于兩個(gè)光刻膠項(xiàng)目之間的聯(lián)系,南大光電此前在公告中強(qiáng)調(diào),“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”與“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”系兩個(gè)獨(dú)立的項(xiàng)目。公司稱,投建新項(xiàng)目是為加大對(duì)先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料的建設(shè)。

推動(dòng)光刻膠項(xiàng)目順利實(shí)施 寧波南大光電擬增資擴(kuò)股融資2.6億元

推動(dòng)光刻膠項(xiàng)目順利實(shí)施 寧波南大光電擬增資擴(kuò)股融資2.6億元

12月14日,江蘇南大光電材料股份有限公司(以下簡稱“南大光電”)發(fā)布公告稱,公司分別于2018年12月21日、2019年1月9日召開第七屆董事會(huì)第十二次會(huì)議、2019年第一次臨時(shí)股東大會(huì),審議通過了《關(guān)于投資實(shí)施國家“02專項(xiàng)”ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的議案》和《關(guān)于使用部分超募資金投資“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目的議案》。

據(jù)悉,“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”(“光刻膠項(xiàng)目”)投資總額約6.56億元人民幣,其中國撥資金約1.93億元,地方配套資金約1.97億元,使用公司上市時(shí)的超募資金1.5億元及其他自籌資金。項(xiàng)目實(shí)施主體為公司全資子公司寧波南大光電材料有限公司(以下簡稱“寧波南大光電”)。

截至公告日,南大光電已使用上述超募資金4,000萬元作為資本金投入寧波南大光電,用于實(shí)施光刻膠項(xiàng)目。

公告指出,為進(jìn)一步推動(dòng)光刻膠項(xiàng)目的順利實(shí)施,滿足項(xiàng)目資金需求,寧波南大光電擬以增資擴(kuò)股的方式融資2.6億元(含上述已經(jīng)公司董事會(huì)、股東大會(huì)審議通過的超募資金使用計(jì)劃中剩余的1.1億元)。

公告披露,上述增資擴(kuò)股方式分為三部分。

第一部分為南大光電擬以貨幣資金方式對(duì)寧波南大光電增資1.5億元,其中使用上述超募資金使用計(jì)劃中的剩余資金1.1億元,自有或自籌資金4000萬元。

第二部分為南大光電擬以自有的“光刻膠技術(shù)資產(chǎn)組”作為無形資產(chǎn)對(duì)寧波南大光電增資,增資金額為3000萬元。

第三部分為寧波南大光電引入新的投資方:寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金帆投資有限公司、天津南晟貳號(hào)企業(yè)管理合伙企業(yè)(有限合伙)以及許從應(yīng)個(gè)人。經(jīng)各方友好協(xié)商,寧波金帆以3000萬元的價(jià)格認(rèn)購寧波南大光電新增注冊資本3000萬元;天津南晟以4000萬元的價(jià)格認(rèn)購寧波南大光電新增注冊資本4000萬元;許從應(yīng)先生以1000萬元的價(jià)格認(rèn)購寧波南大光電新增注冊資本1000萬元。

本次增資擴(kuò)股前,寧波南大光股權(quán)結(jié)構(gòu)如下:

本次增資擴(kuò)股后,寧波南大光股權(quán)結(jié)構(gòu)如下:

南大光電稱,本次投資,寧波南大光電的注冊資本由人民幣4,000萬元增加到30,000萬元,其中新增注冊資本人民幣26,000萬元。寧波南大光電本次增資擴(kuò)股并引入外部投資者,有利于增強(qiáng)寧波南大光的資金實(shí)力,有利于加快公司“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的建設(shè)進(jìn)度,推動(dòng)公司在光刻膠板塊的戰(zhàn)略布局。

突破國產(chǎn)光刻膠量產(chǎn)難題 欣奕華實(shí)現(xiàn)負(fù)性光刻膠量產(chǎn)

突破國產(chǎn)光刻膠量產(chǎn)難題 欣奕華實(shí)現(xiàn)負(fù)性光刻膠量產(chǎn)

液晶顯示器之所以能顯現(xiàn)出色彩斑斕的畫面,奧秘就在于液晶面板中的一層2微米厚的彩色薄膜,彩色薄膜顏色的產(chǎn)生就由光刻膠來完成,由于配方難調(diào),“光刻膠”成為業(yè)界亟待突破的關(guān)鍵技術(shù)之一。10月22日,記者從經(jīng)開區(qū)企業(yè)北京欣奕華科技有限公司(以下簡稱“欣奕華”)了解到,經(jīng)過多年的行業(yè)累積和技術(shù)迭代,欣奕華在平板顯示用負(fù)性光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了量產(chǎn),預(yù)計(jì)今年將有1000噸的光刻膠交付用戶,約占國內(nèi)市場的8%。

彩色光刻膠是利用光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等工藝在基底上形成微細(xì)圖形的電子材料,在手機(jī)、電腦、液晶電視、智能手表等產(chǎn)品中實(shí)現(xiàn)彩色顯示,是顯示工藝的重要原材料。光刻膠的研發(fā)關(guān)鍵在于其成分復(fù)雜、工藝技術(shù)難以掌握。光刻膠主要成分有色漿、單體、感光引發(fā)劑、溶劑以及添加劑等,開發(fā)所涉及的技術(shù)難題眾多,要自主研發(fā)生產(chǎn),技術(shù)難度非常之高。

走進(jìn)欣奕華辦公區(qū)光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室,實(shí)驗(yàn)室被布置成黃光區(qū),研發(fā)人員正在對(duì)光刻膠樣品進(jìn)行配比試驗(yàn)。“光刻膠的制備與使用需要在黃光區(qū)的環(huán)境下,如果是在普通的環(huán)境下,膠會(huì)因?yàn)楣夤袒磻?yīng)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢?!毙擂热A企劃室負(fù)責(zé)人陸金波介紹說。為了讓記者更直觀地感受光刻膠的用量,他打了個(gè)比方:生產(chǎn)50臺(tái)55英寸的電視,需要紅、綠、藍(lán)光刻膠各約1千克,需要黑色光刻膠約0.67千克。

搶跑光刻膠賽道,欣奕華備戰(zhàn)已久。陸金波說,在平板顯示產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展、市場對(duì)光刻膠等相關(guān)上游材料需求量與日俱增的背景下,研發(fā)團(tuán)隊(duì)自2006年起就開始了在該領(lǐng)域的探索。隨后,欣奕華成立,把以彩色光刻膠為代表的顯示材料領(lǐng)域作為企業(yè)聚焦和產(chǎn)品研發(fā)的重點(diǎn)領(lǐng)域之一。在2014年,實(shí)現(xiàn)光刻膠首批次出貨。

通過長期的摸索和自主創(chuàng)新,欣奕華具備年產(chǎn)3000噸以上光刻膠的能力,掌握了產(chǎn)品開發(fā)、工廠設(shè)計(jì)、生產(chǎn)管理、品質(zhì)管控、構(gòu)建穩(wěn)定供應(yīng)鏈和物流體系等方面的能力與技術(shù),成為國內(nèi)首家可實(shí)現(xiàn)光刻膠大規(guī)模量產(chǎn)出貨的企業(yè)。欣奕華在該領(lǐng)域的突破有助于我國逐步打破彩色光刻膠主要依賴進(jìn)口的被動(dòng)局面,還能通過科研協(xié)同及其成果的高效轉(zhuǎn)化,為本土液晶面板企業(yè)的長足發(fā)展降本增效、保駕護(hù)航。

經(jīng)開區(qū)年度工作報(bào)告中提出,要做“尖”新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群,在關(guān)鍵環(huán)節(jié)、核心技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)制定上超前布局。欣奕華在光刻膠這條科創(chuàng)之路上搶跑固然能為企業(yè)自身不斷創(chuàng)造新的增長極,但企業(yè)的可持續(xù)發(fā)展依然有賴于國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)生態(tài)的協(xié)同發(fā)展,大家一起跑起來,才能不斷提升技術(shù)、工藝與產(chǎn)品水平,實(shí)現(xiàn)我國關(guān)鍵電子化學(xué)品材料的國產(chǎn)化,完善我國泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,滿足國家和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的需求。