前段時(shí)間，“光刻膠”概念在市場(chǎng)上受到關(guān)注，作為關(guān)鍵性電子化學(xué)品之一，光刻膠是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)替代的重點(diǎn)領(lǐng)域，那么目前中國(guó)本土光刻膠發(fā)展現(xiàn)狀如何？本土企業(yè)的光刻膠產(chǎn)品或項(xiàng)目有何新動(dòng)態(tài)？

據(jù)了解，光刻膠是國(guó)際上技術(shù)門(mén)檻最高的微電子化學(xué)品之一，其技術(shù)原理是利用光化學(xué)反應(yīng)經(jīng)光刻工藝將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上的圖形轉(zhuǎn)移介質(zhì)。在光刻工藝中，光刻膠被均勻涂布在硅片、玻璃和金屬等不同的襯底上，經(jīng)曝光、顯影和蝕刻等工序?qū)⒀谀ぐ嫔系膱D形轉(zhuǎn)移到薄膜上，形成與掩膜版完全對(duì)應(yīng)的幾何圖形。

按顯示的效果，光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠；按應(yīng)用的領(lǐng)域，光刻膠可分為半導(dǎo)體用光刻膠、平板顯示用光刻膠、PCB光刻膠。其中，為適應(yīng)集成電路線(xiàn)寬不斷縮小的要求，半導(dǎo)體用光刻膠波長(zhǎng)由紫外寬譜向g線(xiàn)（436nm）→i線(xiàn)（365nm）→KrF（248nm）→ArF（193nm）→F2（157nm）的方向轉(zhuǎn)移，通過(guò)分辨率增強(qiáng)技術(shù)不斷提升光刻膠的分辨率水平。

目前，全球主要光刻膠企業(yè)有日本合成橡膠（JSR）、東京應(yīng)化（TOK）、住友化學(xué)、信越化學(xué)、美國(guó)羅門(mén)哈斯等，市場(chǎng)高度集中。我國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展緩慢，光刻膠生產(chǎn)及研發(fā)水平與國(guó)際差距較大，主要集中在PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等產(chǎn)品，技術(shù)壁壘較高的半導(dǎo)體用光刻膠仍需依賴(lài)進(jìn)口，尤其在高端光刻膠方面仍處空白。

不過(guò)，隨著近年來(lái)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，國(guó)產(chǎn)光刻膠企業(yè)也正在發(fā)力追趕，國(guó)內(nèi)研發(fā)生產(chǎn)光刻膠的企業(yè)主要有晶瑞股份、北京科華、南大光電、上海新陽(yáng)、容大感光、飛凱材料等，目前晶瑞股份旗下子公司蘇州瑞紅和北京科華可規(guī)模量產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠，但總體來(lái)說(shuō)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠發(fā)展之路任重道遠(yuǎn)。

近期，光刻膠受到了市場(chǎng)重點(diǎn)關(guān)注，多家企業(yè)亦披露了各自光刻膠產(chǎn)品的發(fā)展情況，下面來(lái)看看國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體用光刻膠的最新動(dòng)態(tài)。

晶瑞股份

晶瑞股份是一家微電子材料企業(yè)，主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純?cè)噭?、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等，其中光刻膠產(chǎn)品主要由其子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。據(jù)介紹，蘇州瑞紅1993年開(kāi)始光刻膠生產(chǎn)，是國(guó)內(nèi)最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一。

根據(jù)晶瑞股份2019年年報(bào)，蘇州瑞紅紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分g線(xiàn)等高端產(chǎn)品已規(guī)模供應(yīng)市場(chǎng)數(shù)十年，承擔(dān)并完成了國(guó)家重大科技項(xiàng)目02重大專(zhuān)項(xiàng)“i線(xiàn)光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，其i線(xiàn)光刻膠已向合肥長(zhǎng)鑫、士蘭微、揚(yáng)杰科技、福順微電子等行業(yè)頭部公司供貨。

晶瑞股份表示，蘇州瑞紅KrF（248nm深紫外）光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0.25～0.13μm的技術(shù)要求，建成了中試示范線(xiàn)。

南大光電

南大光電專(zhuān)業(yè)從事高純電子材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，現(xiàn)已形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料和光刻膠四大業(yè)務(wù)板塊。其中，在光刻膠方面，南大光電正在自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的193nm光刻膠項(xiàng)目，已獲得國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)“193nm光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”和“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的正式立項(xiàng)。

根據(jù)2019年年報(bào)顯示，南大光電“193nm光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”的研發(fā)工作已經(jīng)完成，正在驗(yàn)收中。此外，公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部，并由子公司寧波南大光電全力推進(jìn)“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的落地實(shí)施。

5月27日，南大光電公告表示，“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行；2019年底完成一條生產(chǎn)線(xiàn)的安裝，正在調(diào)試階段。2020年4月，公司采購(gòu)的用于檢測(cè)ArF（193nm）光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠(chǎng)，5月開(kāi)始進(jìn)行安裝調(diào)試，預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司同時(shí)自主研發(fā)制備ArF（193nm）光刻膠用的高純?cè)牧希兄瞥龅腁rF（193nm）光刻膠樣品正在供客戶(hù)測(cè)試。

6月3日，南大光電表示，目前“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”尚處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段，驗(yàn)證過(guò)程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月，甚至更長(zhǎng)的時(shí)間。

上海新陽(yáng)

2016年底，上海新陽(yáng)立項(xiàng)開(kāi)發(fā)集成電路制造用高端光刻膠。根據(jù)上海新陽(yáng)2019年年報(bào)，其已研發(fā)獲得多個(gè)KrF厚膜、ArF干法光刻膠產(chǎn)品配方、工藝數(shù)據(jù)和技術(shù)參數(shù)，得到了多次可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)室曝光結(jié)果，關(guān)鍵曝光參數(shù)已經(jīng)達(dá)到了光刻生產(chǎn)工藝對(duì)商用光刻膠可以進(jìn)行中試產(chǎn)品驗(yàn)證的基本要求。

5月8日，上海新陽(yáng)在2019年度網(wǎng)上業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上表示，公司KrF厚膜光刻膠配套的光刻機(jī)一季度已完成安裝調(diào)試，目前進(jìn)入試運(yùn)行階段，KrF厚膜中試產(chǎn)線(xiàn)在安裝調(diào)試建設(shè)當(dāng)中，光刻膠產(chǎn)品還處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和中試開(kāi)發(fā)階段。

5月26日，上海新陽(yáng)在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司光刻膠已完成實(shí)驗(yàn)室研發(fā)，準(zhǔn)備開(kāi)始進(jìn)行200L反應(yīng)釜的中試，在建項(xiàng)目規(guī)劃產(chǎn)能為500噸/年。

容大感光

容大感光致力于PCB感光油墨、光刻膠及配套化學(xué)品、特種油墨等電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，光刻膠產(chǎn)品主要包括紫外線(xiàn)正膠、紫外線(xiàn)負(fù)膠兩大類(lèi)產(chǎn)品以及稀釋劑、顯影液、剝離液等配套化學(xué)品，主要應(yīng)用于平板顯示、發(fā)光二極管及集成電路等領(lǐng)域。

據(jù)了解，容大感光的光刻膠業(yè)務(wù)營(yíng)收占比較小，其產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域更多集中在平板顯示合LED芯片。5月27日，容大感光在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司目前可生產(chǎn)的半導(dǎo)體光刻膠主要為g/i線(xiàn)正性光刻膠、i線(xiàn)負(fù)性光刻膠、i線(xiàn)厚膜膠等，主要包括RD-2000、RD-4000、RD-6000、RD-NL系列等。

此外，容大感光大亞灣光刻膠及其配套化學(xué)品募投項(xiàng)目設(shè)計(jì)的生產(chǎn)能力為年產(chǎn)1000噸，投產(chǎn)后的主要產(chǎn)品是用于平板顯示、發(fā)光二極管、集成電路芯片等領(lǐng)域的光刻膠，類(lèi)別為g/i線(xiàn)正性光刻膠、負(fù)性光刻膠，i線(xiàn)正性光刻膠的分辨率為0.35微米。今年5月中旬，容大感光回復(fù)深交所關(guān)注涵表示，該項(xiàng)目所有設(shè)備已安裝調(diào)試完畢。

飛凱材料

飛凱材料的主營(yíng)業(yè)務(wù)產(chǎn)品主要包括紫外固化材料和電子化學(xué)材料，電子化學(xué)材料主要包括應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及先進(jìn)封裝領(lǐng)域的濕制程電子化學(xué)品如顯影液、蝕刻液、剝離液、電鍍液等，用于集成電路傳統(tǒng)封裝領(lǐng)域的錫球、環(huán)氧塑封料，用于TFT-LCD液晶顯示面板制造領(lǐng)域的正性光刻膠、TN/STN型混合液晶、TFT型混合液晶、液晶單體及液晶中間體、用于OLED屏幕制造領(lǐng)域的配套材料等新材料。

在光刻膠方面，2019年飛凱材料的5000t/aTFT-LCD光刻膠項(xiàng)目順利試生產(chǎn)，今年6月1日飛凱材料在投資者平臺(tái)上表示，公司TFT-LCD正性光刻膠目前處于試生產(chǎn)過(guò)程中，且近期出貨量也在穩(wěn)步提升。

至于半導(dǎo)體用光刻膠，飛凱材料表示，公司i-line半導(dǎo)體光刻膠實(shí)驗(yàn)室階段產(chǎn)品正在做客戶(hù)送樣驗(yàn)證前的準(zhǔn)備工作。

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠發(fā)展新動(dòng)態(tài)最先出現(xiàn)在北京中代科技有限公司。

近日，江蘇南大光電材料股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“南大光電”）在股票交易異常波動(dòng)的公告中披露了其光刻膠項(xiàng)目最新進(jìn)展。

公告顯示，南大光電承接的國(guó)家“02專(zhuān)項(xiàng)”之“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行；2019年底完成一條生產(chǎn)線(xiàn)的安裝，正在調(diào)試階段。2020年4月，公司采購(gòu)的用于檢測(cè)ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠(chǎng)，5月開(kāi)始進(jìn)行安裝調(diào)試，預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司制備ArF(193nm)光刻膠用的高純?cè)牧蟻?lái)源于自主研發(fā)，研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶(hù)測(cè)試。

目前“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”正處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段，驗(yàn)證過(guò)程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月，甚至更長(zhǎng)的時(shí)間。南大光電還指出，ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)技術(shù)突破難度大、工藝要求高，且實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)周期較長(zhǎng)，后續(xù)是否能取得下游客戶(hù)的訂單，能否大規(guī)模進(jìn)入市場(chǎng)仍存在較多的不確定性。

據(jù)了解，南大光電ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目總投資額為6.56億元，其中，國(guó)撥資金1.93億元，地方配套資金1.97億元，項(xiàng)目實(shí)施主體為南大光電全資子公司寧波南大光電。

2019年12月14日，南大光電再次發(fā)布公告稱(chēng)，通過(guò)增資擴(kuò)股的方式寧波南大光電進(jìn)行增資2.6億元，增資事項(xiàng)完成后，寧波南大光電的注冊(cè)資本由4000萬(wàn)元增加到3億元。對(duì)于寧波南大光電增資擴(kuò)股并引入外部投資者，南大光電稱(chēng)，有利于加快公司ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的建設(shè)進(jìn)度，推動(dòng)光刻膠板塊的戰(zhàn)略布局。

根據(jù)最初規(guī)劃，ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目擬通過(guò)3年的建設(shè)、投產(chǎn)及實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售，達(dá)到年產(chǎn)25噸193nm（ArF干式和浸沒(méi)式）光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模，產(chǎn)品滿(mǎn)足集成電路行業(yè)需求標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)建成先進(jìn)光刻膠分析測(cè)試中心和高分辨率光刻膠研發(fā)中心。

南大光電披露光刻膠項(xiàng)目最新進(jìn)展最先出現(xiàn)在北京中代科技有限公司。

4月21日，南大光電發(fā)布公告，擬變更公司轉(zhuǎn)讓參股公司北京科華微電子材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“北京科華”）股權(quán)受讓方。

去年6月，南大光電宣布擬將北京科華31.39%股權(quán)轉(zhuǎn)讓給深投控、疌盛投資、高盟新材、四川潤(rùn)資、弘坤創(chuàng)投、西藏漢普森、沃燕創(chuàng)投共7家公司。上述交易同時(shí)，北京科華的其他股東美國(guó)Meng Tech公司和杭州誠(chéng)和創(chuàng)業(yè)投資有限公司自愿支付公司股權(quán)轉(zhuǎn)讓差價(jià)款1619萬(wàn)元。該交易完成后，南大光電不再持有北京科華的股權(quán)。

截至公告日，南大光電已收到疌盛投資、高盟新材、弘坤創(chuàng)投和沃燕創(chuàng)投支付的全部股權(quán)轉(zhuǎn)讓對(duì)價(jià)款；收到四川潤(rùn)資支付的第一期股權(quán)轉(zhuǎn)讓款400萬(wàn)元；收到西藏漢普森支付的第一期股權(quán)轉(zhuǎn)讓款601.02萬(wàn)元。截至目前，南大光電累計(jì)收到6家交易對(duì)手方支付的股權(quán)轉(zhuǎn)讓款共計(jì)9999.02萬(wàn)元。

北京科華就上述6家已履行付款義務(wù)的交易方對(duì)應(yīng)的股權(quán)，完成了股權(quán)轉(zhuǎn)讓的工商變更登記手續(xù)。截至目前，南大光電與深投控的股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議（對(duì)應(yīng)股權(quán)對(duì)價(jià)款5000萬(wàn)元）尚未履行，公司仍持有北京科華9.18%的股權(quán)。

鑒于深投控未按股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議履行付款義務(wù)，南大光電采納變更受讓方的方案，現(xiàn)在擬將董事會(huì)、股東大會(huì)審議通過(guò)的原股權(quán)轉(zhuǎn)讓方案中，“以5000萬(wàn)元人民幣將持有的北京科華9.1836%的股權(quán)轉(zhuǎn)讓給深投控”，變更為“以5000萬(wàn)元人民幣將持有的北京科華9.1836%的股權(quán)轉(zhuǎn)讓給浙江自貿(mào)區(qū)靜遠(yuǎn)投資合伙企業(yè)（有限合伙）”。

南大光電表示，本次交易若順利實(shí)施，將有效解決公司對(duì)于北京科華剩余股權(quán)的處置，增加公司的營(yíng)運(yùn)資金，有利于優(yōu)化公司資產(chǎn)結(jié)構(gòu)，不存在損害公司及全體股東利益的情形。本次交易受讓方變更后，若公司持有北京科華剩余的9.18%股權(quán)順利轉(zhuǎn)讓?zhuān)A(yù)計(jì)獲得股權(quán)轉(zhuǎn)讓款 5000萬(wàn)元，公司預(yù)計(jì)增加投資收益約1600萬(wàn)元，將對(duì)公司2020年度經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)產(chǎn)生積極影響。

資料顯示，北京科華成立于2004年，是一家產(chǎn)品覆蓋KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑供應(yīng)商與服務(wù)商。2015年，南大光電通過(guò)受讓以及增資方式獲取北京科華31.39%的股份，并表示雙方將共同開(kāi)展193nm光刻膠的研究與產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，后來(lái)雙方合作并沒(méi)有按計(jì)劃進(jìn)行。

受讓方變更 南大光電轉(zhuǎn)讓北京科華剩余股權(quán)最先出現(xiàn)在北京中代科技有限公司。

近日，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)透露，寧波南大光電目前已安裝完成第一條ArF（193nm）光刻膠生產(chǎn)線(xiàn)，該產(chǎn)線(xiàn)仍處于調(diào)試階段。目前，研發(fā)的產(chǎn)品正在測(cè)試、認(rèn)證過(guò)程中，尚未形成量產(chǎn)和銷(xiāo)售。

2019年7月，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)透露，公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進(jìn)“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”落地實(shí)施。

2019年10月，南大光電公告稱(chēng)，公司與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽署了《投資協(xié)議書(shū)》，擬在寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)投資開(kāi)發(fā)高端集成電路制造用各種先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規(guī)?；a(chǎn)能力，建立配套完整的國(guó)產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈。該項(xiàng)目計(jì)劃總投資6億元，預(yù)計(jì)總用地50畝。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)約10億元的年銷(xiāo)售額，年利稅預(yù)計(jì)約2億元。

資資料顯示，南大光電主要從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，通過(guò)承擔(dān)國(guó)家重大技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。目前，公司形成MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料等業(yè)務(wù)板塊。值得注意的是，2017年，南大光電還承擔(dān)了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”（以下簡(jiǎn)稱(chēng)193nm光刻膠項(xiàng)目）。

對(duì)于兩個(gè)光刻膠項(xiàng)目之間的聯(lián)系，南大光電此前在公告中強(qiáng)調(diào)，“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”與“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”系兩個(gè)獨(dú)立的項(xiàng)目。公司稱(chēng)，投建新項(xiàng)目是為加大對(duì)先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料的建設(shè)。

寧波南大光電第一條ArF光刻膠生產(chǎn)線(xiàn)已安裝最先出現(xiàn)在北京中代科技有限公司。

12月14日，江蘇南大光電材料股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“南大光電”）發(fā)布公告稱(chēng)，公司分別于2018年12月21日、2019年1月9日召開(kāi)第七屆董事會(huì)第十二次會(huì)議、2019年第一次臨時(shí)股東大會(huì)，審議通過(guò)了《關(guān)于投資實(shí)施國(guó)家“02專(zhuān)項(xiàng)”ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的議案》和《關(guān)于使用部分超募資金投資“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目的議案》。

據(jù)悉，“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”(“光刻膠項(xiàng)目”)投資總額約6.56億元人民幣，其中國(guó)撥資金約1.93億元，地方配套資金約1.97億元，使用公司上市時(shí)的超募資金1.5億元及其他自籌資金。項(xiàng)目實(shí)施主體為公司全資子公司寧波南大光電材料有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“寧波南大光電”)。

截至公告日，南大光電已使用上述超募資金4,000萬(wàn)元作為資本金投入寧波南大光電，用于實(shí)施光刻膠項(xiàng)目。

公告指出，為進(jìn)一步推動(dòng)光刻膠項(xiàng)目的順利實(shí)施，滿(mǎn)足項(xiàng)目資金需求，寧波南大光電擬以增資擴(kuò)股的方式融資2.6億元（含上述已經(jīng)公司董事會(huì)、股東大會(huì)審議通過(guò)的超募資金使用計(jì)劃中剩余的1.1億元）。

公告披露，上述增資擴(kuò)股方式分為三部分。

第一部分為南大光電擬以貨幣資金方式對(duì)寧波南大光電增資1.5億元,其中使用上述超募資金使用計(jì)劃中的剩余資金1.1億元，自有或自籌資金4000萬(wàn)元。

第二部分為南大光電擬以自有的“光刻膠技術(shù)資產(chǎn)組”作為無(wú)形資產(chǎn)對(duì)寧波南大光電增資，增資金額為3000萬(wàn)元。

第三部分為寧波南大光電引入新的投資方：寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)金帆投資有限公司、天津南晟貳號(hào)企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）以及許從應(yīng)個(gè)人。經(jīng)各方友好協(xié)商，寧波金帆以3000萬(wàn)元的價(jià)格認(rèn)購(gòu)寧波南大光電新增注冊(cè)資本3000萬(wàn)元；天津南晟以4000萬(wàn)元的價(jià)格認(rèn)購(gòu)寧波南大光電新增注冊(cè)資本4000萬(wàn)元；許從應(yīng)先生以1000萬(wàn)元的價(jià)格認(rèn)購(gòu)寧波南大光電新增注冊(cè)資本1000萬(wàn)元。

本次增資擴(kuò)股前，寧波南大光股權(quán)結(jié)構(gòu)如下：

本次增資擴(kuò)股后，寧波南大光股權(quán)結(jié)構(gòu)如下：

南大光電稱(chēng)，本次投資，寧波南大光電的注冊(cè)資本由人民幣4,000萬(wàn)元增加到30,000萬(wàn)元，其中新增注冊(cè)資本人民幣26,000萬(wàn)元。寧波南大光電本次增資擴(kuò)股并引入外部投資者，有利于增強(qiáng)寧波南大光的資金實(shí)力，有利于加快公司“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的建設(shè)進(jìn)度，推動(dòng)公司在光刻膠板塊的戰(zhàn)略布局。

推動(dòng)光刻膠項(xiàng)目順利實(shí)施 寧波南大光電擬增資擴(kuò)股融資2.6億元最先出現(xiàn)在北京中代科技有限公司。

液晶顯示器之所以能顯現(xiàn)出色彩斑斕的畫(huà)面，奧秘就在于液晶面板中的一層2微米厚的彩色薄膜，彩色薄膜顏色的產(chǎn)生就由光刻膠來(lái)完成，由于配方難調(diào)，“光刻膠”成為業(yè)界亟待突破的關(guān)鍵技術(shù)之一。10月22日，記者從經(jīng)開(kāi)區(qū)企業(yè)北京欣奕華科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“欣奕華”）了解到，經(jīng)過(guò)多年的行業(yè)累積和技術(shù)迭代，欣奕華在平板顯示用負(fù)性光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了量產(chǎn)，預(yù)計(jì)今年將有1000噸的光刻膠交付用戶(hù)，約占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的8%。

彩色光刻膠是利用光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等工藝在基底上形成微細(xì)圖形的電子材料，在手機(jī)、電腦、液晶電視、智能手表等產(chǎn)品中實(shí)現(xiàn)彩色顯示，是顯示工藝的重要原材料。光刻膠的研發(fā)關(guān)鍵在于其成分復(fù)雜、工藝技術(shù)難以掌握。光刻膠主要成分有色漿、單體、感光引發(fā)劑、溶劑以及添加劑等，開(kāi)發(fā)所涉及的技術(shù)難題眾多，要自主研發(fā)生產(chǎn)，技術(shù)難度非常之高。

走進(jìn)欣奕華辦公區(qū)光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，實(shí)驗(yàn)室被布置成黃光區(qū)，研發(fā)人員正在對(duì)光刻膠樣品進(jìn)行配比試驗(yàn)。“光刻膠的制備與使用需要在黃光區(qū)的環(huán)境下，如果是在普通的環(huán)境下，膠會(huì)因?yàn)楣夤袒磻?yīng)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢?！毙擂热A企劃室負(fù)責(zé)人陸金波介紹說(shuō)。為了讓記者更直觀(guān)地感受光刻膠的用量，他打了個(gè)比方：生產(chǎn)50臺(tái)55英寸的電視，需要紅、綠、藍(lán)光刻膠各約1千克，需要黑色光刻膠約0.67千克。

搶跑光刻膠賽道，欣奕華備戰(zhàn)已久。陸金波說(shuō)，在平板顯示產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展、市場(chǎng)對(duì)光刻膠等相關(guān)上游材料需求量與日俱增的背景下，研發(fā)團(tuán)隊(duì)自2006年起就開(kāi)始了在該領(lǐng)域的探索。隨后，欣奕華成立，把以彩色光刻膠為代表的顯示材料領(lǐng)域作為企業(yè)聚焦和產(chǎn)品研發(fā)的重點(diǎn)領(lǐng)域之一。在2014年，實(shí)現(xiàn)光刻膠首批次出貨。

通過(guò)長(zhǎng)期的摸索和自主創(chuàng)新，欣奕華具備年產(chǎn)3000噸以上光刻膠的能力，掌握了產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、工廠(chǎng)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)管理、品質(zhì)管控、構(gòu)建穩(wěn)定供應(yīng)鏈和物流體系等方面的能力與技術(shù)，成為國(guó)內(nèi)首家可實(shí)現(xiàn)光刻膠大規(guī)模量產(chǎn)出貨的企業(yè)。欣奕華在該領(lǐng)域的突破有助于我國(guó)逐步打破彩色光刻膠主要依賴(lài)進(jìn)口的被動(dòng)局面，還能通過(guò)科研協(xié)同及其成果的高效轉(zhuǎn)化，為本土液晶面板企業(yè)的長(zhǎng)足發(fā)展降本增效、保駕護(hù)航。

經(jīng)開(kāi)區(qū)年度工作報(bào)告中提出，要做“尖”新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群，在關(guān)鍵環(huán)節(jié)、核心技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)制定上超前布局。欣奕華在光刻膠這條科創(chuàng)之路上搶跑固然能為企業(yè)自身不斷創(chuàng)造新的增長(zhǎng)極，但企業(yè)的可持續(xù)發(fā)展依然有賴(lài)于國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)生態(tài)的協(xié)同發(fā)展，大家一起跑起來(lái)，才能不斷提升技術(shù)、工藝與產(chǎn)品水平，實(shí)現(xiàn)我國(guó)關(guān)鍵電子化學(xué)品材料的國(guó)產(chǎn)化，完善我國(guó)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，滿(mǎn)足國(guó)家和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的需求。

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