據(jù)上交所發(fā)布，2020年6月16日，蘇州金宏氣體股份有限公司（證券代碼：688106）成功登陸上交所科創(chuàng)板掛牌交易。

資料顯示，金宏氣體是一家專(zhuān)業(yè)從事氣體研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù)的環(huán)保集約型綜合氣體供應(yīng)商。經(jīng)過(guò)20余年的探索和發(fā)展，公司目前已初步建立品類(lèi)完備、布局合理、配送可靠的氣體供應(yīng)和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，能夠?yàn)榭蛻?hù)提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類(lèi)100多個(gè)氣體品種。

金宏氣體公司的產(chǎn)品線較廣，既生產(chǎn)超純氨、高純氫、高純氧化亞氮、干冰、硅烷、其他超高純氣體、混合氣等特種氣體，又生產(chǎn)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的電子大宗氣體和應(yīng)用于其他工業(yè)領(lǐng)域的大宗氣體及天然氣。公司主要產(chǎn)品應(yīng)用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機(jī)械制造等眾多領(lǐng)域，其中的超純氨、高純氫、高純氧化亞氮、硅烷混合氣、八氟環(huán)丁烷等特種氣體以及電子級(jí)氧、氮是電子半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的關(guān)鍵原材料。

2019年12月，金宏氣體提交的科創(chuàng)板上市申請(qǐng)獲上交所受理。

據(jù)悉，金宏氣體曾掛牌新三板，于2014年12月15日正式在股轉(zhuǎn)系統(tǒng)掛牌并公開(kāi)轉(zhuǎn)讓?zhuān)C券簡(jiǎn)稱(chēng)“金宏氣體”，證券代碼“831450”。2019年12月12日起，金宏氣體股票在股轉(zhuǎn)系統(tǒng)暫停轉(zhuǎn)讓。同日，金宏氣體向上海證券交易所提交科創(chuàng)板申請(qǐng)材料。

據(jù)上觀新聞指出，中科院上海微系統(tǒng)所創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室正在加緊建設(shè)，計(jì)劃今年9月完成實(shí)驗(yàn)室建設(shè)，中試生產(chǎn)8英寸石墨烯單晶晶圓等多種產(chǎn)品。

2019年9月，中科院上海微系統(tǒng)所與上海市石墨烯功能型平臺(tái)簽約合作，由后者的創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)中試工作，擴(kuò)大石墨烯晶圓等產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模。通過(guò)建設(shè)創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室，實(shí)現(xiàn)8英寸石墨烯單晶晶圓、4英寸鍺基石墨烯晶圓、大面積六方氮化硼介質(zhì)薄膜的中試生產(chǎn)。

據(jù)中科院上海微系統(tǒng)所研究員吳天如表示，該研究所已經(jīng)掌握了石墨烯單晶晶圓可控制備技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了4—8英寸單晶的小批量生產(chǎn)。

據(jù)悉，中科院上海微系統(tǒng)所在國(guó)際上首次實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體鍺基石墨烯CVD（化學(xué)氣相沉積）制備，研制出4英寸鍺基石墨烯晶圓。迄今為止，中科院上海微系統(tǒng)所在石墨烯材料制備與器件應(yīng)用領(lǐng)域已申請(qǐng)100余項(xiàng)專(zhuān)利，授權(quán)70余項(xiàng)，其中國(guó)際專(zhuān)利9項(xiàng)。

近日，鄭州航空港實(shí)驗(yàn)區(qū)管委會(huì)、中國(guó)航天科技集團(tuán)第九研究院第七七一研究所、達(dá)維多企業(yè)管理有限公司簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議。

根據(jù)協(xié)議，三方擬合作建設(shè)半導(dǎo)體生產(chǎn)制造及封裝基地項(xiàng)目。鄭州航空港區(qū)發(fā)布微信號(hào)指出，該項(xiàng)目將在航空港實(shí)驗(yàn)區(qū)建設(shè)第三代化合物半導(dǎo)體SiC生產(chǎn)線、高可靠集成電路封裝生產(chǎn)線、工業(yè)模塊電源生產(chǎn)線，打造集IC設(shè)計(jì)、芯片制造、先進(jìn)封裝為一體的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。

這是航空港實(shí)驗(yàn)區(qū)在集成電路領(lǐng)域繼單晶硅片、先進(jìn)靶材、晶圓先進(jìn)切割設(shè)備等項(xiàng)目的基礎(chǔ)上的又一重大突破，標(biāo)志著實(shí)驗(yàn)區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈布局，產(chǎn)業(yè)生態(tài)逐步形成。

中國(guó)航天科技集團(tuán)公司第九研究院第七七一研究所，始建于1965年10月，主要從事計(jì)算機(jī)、半導(dǎo)體集成電路、混合集成三大專(zhuān)業(yè)的研制開(kāi)發(fā)、批產(chǎn)配套、檢測(cè)經(jīng)營(yíng)，是國(guó)家唯一集計(jì)算機(jī)、半導(dǎo)體集成電路和混合集成科研生產(chǎn)為一體的大型專(zhuān)業(yè)研究所，全球IT百?gòu)?qiáng)“中興通訊”的創(chuàng)辦單位，是我國(guó)航天微電子和計(jì)算機(jī)的先驅(qū)和主力軍。

6月13日，北京奕斯偉科技集團(tuán)董事長(zhǎng)王東升與合肥市政府商談產(chǎn)業(yè)合作事項(xiàng)。據(jù)合肥消息官微指出，此次，奕斯偉有意繼續(xù)布局合肥，投資新建半導(dǎo)體項(xiàng)目。

資料顯示，奕斯偉創(chuàng)辦于2016年3月，是一家半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)品和服務(wù)提供商，核心事業(yè)涵蓋芯片與方案、硅材料、先進(jìn)封測(cè)三大領(lǐng)域，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于顯示器件、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域。

其中芯片與方案事業(yè)圍繞移動(dòng)終端、智慧家居、智慧交通、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)等應(yīng)用場(chǎng)景，為客戶(hù)提供顯示與視頻、智慧連接、智慧物聯(lián)和智能計(jì)算加速等四類(lèi)芯片及解決方案； 硅材料事業(yè)主要包括12英寸全球先進(jìn)制程硅單晶拋光片和外延片；先進(jìn)封測(cè)事業(yè)主要包括芯片后端封測(cè)、COF卷帶、面板級(jí)集成封測(cè)三類(lèi)業(yè)務(wù)。

據(jù)悉，奕斯偉總部位于北京，在北京、海寧、合肥、成都、西安、英國(guó)南安普頓、韓國(guó)首爾等地設(shè)有研發(fā)中心，在西安、成都、合肥、蘇州等地?fù)碛兄圃旎?，在香港、廣州、深圳、南京、上海、中國(guó)臺(tái)灣、美國(guó)硅谷、韓國(guó)首爾等地設(shè)有營(yíng)銷(xiāo)據(jù)點(diǎn)。

其中合肥奕斯偉COF卷帶項(xiàng)目于2018年4月開(kāi)工建設(shè)，2019年12月正式量產(chǎn)，目前是中國(guó)大陸首條也是大陸最大的半導(dǎo)體顯示芯片封裝COF卷帶生產(chǎn)基地，總投資12億，總建筑面積約67000平方米，其生產(chǎn)的COF卷帶作為顯示器件驅(qū)動(dòng)IC重要的搭載組件，廣泛應(yīng)用于顯示器件、車(chē)聯(lián)網(wǎng)、可穿戴設(shè)備等領(lǐng)域，填補(bǔ)了集成電路封測(cè)COF卷帶材料國(guó)產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)空白。

奕斯偉董事長(zhǎng)王東升表示，從家電制造到平板顯示，再到集成電路等，合肥的產(chǎn)業(yè)在不斷升級(jí)、不斷壯大。合肥在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域有實(shí)力、有基礎(chǔ)，面向未來(lái)，可以大有作為。奕斯偉將繼續(xù)深耕合肥，助力合肥加快建設(shè)現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系，為城市高質(zhì)量發(fā)展作出新貢獻(xiàn)。

合肥市委書(shū)記虞愛(ài)華表示：“希望最新達(dá)成共識(shí)的項(xiàng)目盡快落地、早見(jiàn)成效。

6月7日至9日，銅陵市委副書(shū)記、市長(zhǎng)胡啟生帶隊(duì)考察了興勝科半導(dǎo)體材料公司。銅陵發(fā)布指出，興勝科半導(dǎo)體材料公司擬聯(lián)合昆山一鼎公司在銅陵建設(shè)高端半導(dǎo)體引線框架生產(chǎn)基項(xiàng)地目。

據(jù)悉，興勝科半導(dǎo)體材料公司成立于2003年，注冊(cè)資本2500萬(wàn)美元，前身為日本住友獨(dú)資企業(yè)，2017年被世界著名的半導(dǎo)體集成電路引線框架制造商臺(tái)灣長(zhǎng)華集團(tuán)收購(gòu)。經(jīng)營(yíng)范圍包括引線框架類(lèi)半導(dǎo)體封裝材料和精密模具的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)；銷(xiāo)售本公司產(chǎn)品并提供售后服務(wù)；從事本公司生產(chǎn)產(chǎn)品的同類(lèi)商品的進(jìn)口業(yè)務(wù)。

而昆山一鼎公司成立于2001年，是專(zhuān)業(yè)從事精密電鍍?cè)O(shè)備、電鍍模具以及自動(dòng)化設(shè)備研發(fā)及制造的生產(chǎn)廠家，該公司研發(fā)生產(chǎn)的電鍍生產(chǎn)線與電鍍模具，已被廣泛應(yīng)用于接插件、引線框架及光電產(chǎn)業(yè)等精密選擇性電鍍領(lǐng)域。

銅陵市委副書(shū)記、市長(zhǎng)胡啟生表示，銅陵是國(guó)家電子材料產(chǎn)業(yè)基地，也是國(guó)內(nèi)重要的集成電路引線框架裝備制造基地，擁有良好的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)和人才基礎(chǔ)，希望雙方早日達(dá)成合作，實(shí)現(xiàn)共贏發(fā)展。

6月10日上午，平湖首個(gè)5G創(chuàng)新智造基地——長(zhǎng)三角5G創(chuàng)新智造（平湖）基地簽約落戶(hù)平湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)。同時(shí)，7個(gè)優(yōu)質(zhì)數(shù)字經(jīng)濟(jì)項(xiàng)目簽約落地，涉及芯片光刻、智能制造、汽車(chē)電子、機(jī)器人等領(lǐng)域。

其中，芯越微電子材料項(xiàng)目注冊(cè)資本1190萬(wàn)元，落戶(hù)平湖·青田“飛地”產(chǎn)業(yè)園，租用廠房2200平方米，主要研發(fā)和生產(chǎn)顯影液、光刻膠剝離液、清洗液、蝕刻液等半導(dǎo)體制程用的材料，是芯片行業(yè)的核心部件，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在芯片光刻領(lǐng)域的空白。

據(jù)浙江新聞網(wǎng)報(bào)道，該項(xiàng)目擁有強(qiáng)大的專(zhuān)業(yè)技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，嘉興藍(lán)特光學(xué)、南京中電熊貓等是其主要客戶(hù)，預(yù)計(jì)今年三季度投產(chǎn)。

天眼查信息顯示，芯越微電子材料（嘉興）有限公司成立于2020年3月，注冊(cè)資本1000萬(wàn)元，經(jīng)營(yíng)范圍主要為電子專(zhuān)用材料制造業(yè)務(wù)。

據(jù)了解，長(zhǎng)三角5G創(chuàng)新智造（平湖）基地由國(guó)內(nèi)專(zhuān)業(yè)的5G產(chǎn)業(yè)背景投資團(tuán)隊(duì)——容億投資和平湖經(jīng)開(kāi)區(qū)組建。近年來(lái)，平湖經(jīng)開(kāi)區(qū)高度聚焦以電子信息為主的數(shù)字經(jīng)濟(jì)，打造“數(shù)字強(qiáng)區(qū)”。而容億投資作為一家具有深厚產(chǎn)業(yè)背景的投資機(jī)構(gòu)，專(zhuān)注于5G及新一代信息技術(shù)、智能終端、芯片半導(dǎo)體、傳感器、大數(shù)據(jù)、人工智能和先進(jìn)制造等數(shù)字經(jīng)濟(jì)領(lǐng)域，并與浙江省共同發(fā)起成立專(zhuān)門(mén)面向5G產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈的50億規(guī)?！叭蒡v基金”，重點(diǎn)投資布局關(guān)鍵需求未被滿(mǎn)足且成長(zhǎng)空間大的行業(yè)中的創(chuàng)新型產(chǎn)業(yè)。

6月9日，上海證監(jiān)局發(fā)布了關(guān)于上海合晶硅材料股份有限公司首次公開(kāi)發(fā)行股票并上市輔導(dǎo)工作總結(jié)報(bào)告。

總結(jié)報(bào)告指出，輔導(dǎo)機(jī)構(gòu)認(rèn)為，上海合晶符合《中華人民共和國(guó)證券法》及中國(guó)證監(jiān)會(huì)、上海證券交易所對(duì)首次公開(kāi)發(fā)行并在科創(chuàng)板上市的各項(xiàng)要求或規(guī)定。已滿(mǎn)足相關(guān)信息披露和決策程序要求，達(dá)到輔導(dǎo)工作的預(yù)期效果，符合中國(guó)證監(jiān)會(huì)、上海證券交易所對(duì)擬上市公司的各項(xiàng)要求或規(guī)定，達(dá)到了輔導(dǎo)工作的預(yù)期效果，具備發(fā)行上市的基本條件。

據(jù)了解，上海合晶擬申請(qǐng)首次公開(kāi)發(fā)行人民幣普通股（A股）股票并在上海證券交易所科創(chuàng)板（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“科創(chuàng)板”）上市，該公司于2020年3月4日與中金公司簽署了《輔導(dǎo)協(xié)議》，并于2019年3月6日在上海證監(jiān)局進(jìn)行了輔導(dǎo)備案。

在募集資金投資項(xiàng)目的確定與備案發(fā)面，輔導(dǎo)機(jī)構(gòu)協(xié)助上海合晶確定募集資金投資項(xiàng)目為8英寸高品質(zhì)外延研發(fā)及產(chǎn)能升級(jí)改擴(kuò)建項(xiàng)目、年產(chǎn)240萬(wàn)片200毫米硅單晶拋光片生產(chǎn)項(xiàng)目、150mm碳化硅襯底片研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。上述建設(shè)項(xiàng)目均完成備案。

據(jù)披露，上海合晶成立于1994年12月，注冊(cè)資本為5.63億元人民幣，主要從事半導(dǎo)體硅外延片的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售，并提供其他半導(dǎo)體硅材料加工服務(wù)。公司致力于研發(fā)并應(yīng)用行業(yè)先進(jìn)工藝，為國(guó)內(nèi)外客戶(hù)提供高平整度、高均勻性、低缺陷度的高端半導(dǎo)體硅外延片。公司的核心產(chǎn)品為8吋及8吋以下外延片，主要用于制備功率器件和模擬芯片等，被廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、通信、電力、工業(yè)、消費(fèi)電子、高端裝備等領(lǐng)域。

據(jù)官網(wǎng)介紹，上海合晶前身為上海冶金局于1960年代成立的上海九0一廠，是國(guó)內(nèi)第一家量產(chǎn)集成電路硅材料的制造基地。2004年更名為上海合晶硅材料有限公司，成為合晶科技股份有限公司的子公司，并于2019年底整體改制設(shè)立為股份有限公司，在中國(guó)大陸擁有上海晶盟硅材料有限公司、揚(yáng)州合晶科技有限公司、鄭州合晶硅材料有限公司及鄭州空港合晶科技有限公司等4家全資子公司。

在公司財(cái)務(wù)方面，2017年至2019年，上海合晶分別實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入為9.96億元、12.40億元、11.10億元；凈利潤(rùn)分別為6,537.27萬(wàn)元、1.85億元、1.19億元；扣非后凈利潤(rùn)分別為6265.47萬(wàn)元、1.34億元、-2604.99萬(wàn)元。

在客戶(hù)群體方面，上海合晶的產(chǎn)品受到國(guó)內(nèi)外知名半導(dǎo)體廠商認(rèn)可，已為德州儀器、安森美、意法半導(dǎo)體、達(dá)爾、臺(tái)積電、華虹半導(dǎo)體、華潤(rùn)微電子等國(guó)內(nèi)外知名廠商穩(wěn)定大批量供貨多年，其中還為臺(tái)積電、華虹半導(dǎo)體等廠商長(zhǎng)期提供外延片定制化服務(wù)。

前段時(shí)間，“光刻膠”概念在市場(chǎng)上受到關(guān)注，作為關(guān)鍵性電子化學(xué)品之一，光刻膠是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)替代的重點(diǎn)領(lǐng)域，那么目前中國(guó)本土光刻膠發(fā)展現(xiàn)狀如何？本土企業(yè)的光刻膠產(chǎn)品或項(xiàng)目有何新動(dòng)態(tài)？

據(jù)了解，光刻膠是國(guó)際上技術(shù)門(mén)檻最高的微電子化學(xué)品之一，其技術(shù)原理是利用光化學(xué)反應(yīng)經(jīng)光刻工藝將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上的圖形轉(zhuǎn)移介質(zhì)。在光刻工藝中，光刻膠被均勻涂布在硅片、玻璃和金屬等不同的襯底上，經(jīng)曝光、顯影和蝕刻等工序?qū)⒀谀ぐ嫔系膱D形轉(zhuǎn)移到薄膜上，形成與掩膜版完全對(duì)應(yīng)的幾何圖形。

按顯示的效果，光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠；按應(yīng)用的領(lǐng)域，光刻膠可分為半導(dǎo)體用光刻膠、平板顯示用光刻膠、PCB光刻膠。其中，為適應(yīng)集成電路線寬不斷縮小的要求，半導(dǎo)體用光刻膠波長(zhǎng)由紫外寬譜向g線（436nm）→i線（365nm）→KrF（248nm）→ArF（193nm）→F2（157nm）的方向轉(zhuǎn)移，通過(guò)分辨率增強(qiáng)技術(shù)不斷提升光刻膠的分辨率水平。

目前，全球主要光刻膠企業(yè)有日本合成橡膠（JSR）、東京應(yīng)化（TOK）、住友化學(xué)、信越化學(xué)、美國(guó)羅門(mén)哈斯等，市場(chǎng)高度集中。我國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展緩慢，光刻膠生產(chǎn)及研發(fā)水平與國(guó)際差距較大，主要集中在PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等產(chǎn)品，技術(shù)壁壘較高的半導(dǎo)體用光刻膠仍需依賴(lài)進(jìn)口，尤其在高端光刻膠方面仍處空白。

不過(guò)，隨著近年來(lái)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，國(guó)產(chǎn)光刻膠企業(yè)也正在發(fā)力追趕，國(guó)內(nèi)研發(fā)生產(chǎn)光刻膠的企業(yè)主要有晶瑞股份、北京科華、南大光電、上海新陽(yáng)、容大感光、飛凱材料等，目前晶瑞股份旗下子公司蘇州瑞紅和北京科華可規(guī)模量產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠，但總體來(lái)說(shuō)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻膠發(fā)展之路任重道遠(yuǎn)。

近期，光刻膠受到了市場(chǎng)重點(diǎn)關(guān)注，多家企業(yè)亦披露了各自光刻膠產(chǎn)品的發(fā)展情況，下面來(lái)看看國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體用光刻膠的最新動(dòng)態(tài)。

晶瑞股份

晶瑞股份是一家微電子材料企業(yè)，主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純?cè)噭?、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等，其中光刻膠產(chǎn)品主要由其子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。據(jù)介紹，蘇州瑞紅1993年開(kāi)始光刻膠生產(chǎn)，是國(guó)內(nèi)最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一。

根據(jù)晶瑞股份2019年年報(bào)，蘇州瑞紅紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分g線等高端產(chǎn)品已規(guī)模供應(yīng)市場(chǎng)數(shù)十年，承擔(dān)并完成了國(guó)家重大科技項(xiàng)目02重大專(zhuān)項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，其i線光刻膠已向合肥長(zhǎng)鑫、士蘭微、揚(yáng)杰科技、福順微電子等行業(yè)頭部公司供貨。

晶瑞股份表示，蘇州瑞紅KrF（248nm深紫外）光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0.25～0.13μm的技術(shù)要求，建成了中試示范線。

南大光電

南大光電專(zhuān)業(yè)從事高純電子材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，現(xiàn)已形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料和光刻膠四大業(yè)務(wù)板塊。其中，在光刻膠方面，南大光電正在自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的193nm光刻膠項(xiàng)目，已獲得國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)“193nm光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”和“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的正式立項(xiàng)。

根據(jù)2019年年報(bào)顯示，南大光電“193nm光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”的研發(fā)工作已經(jīng)完成，正在驗(yàn)收中。此外，公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部，并由子公司寧波南大光電全力推進(jìn)“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的落地實(shí)施。

5月27日，南大光電公告表示，“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行；2019年底完成一條生產(chǎn)線的安裝，正在調(diào)試階段。2020年4月，公司采購(gòu)的用于檢測(cè)ArF（193nm）光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠，5月開(kāi)始進(jìn)行安裝調(diào)試，預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司同時(shí)自主研發(fā)制備ArF（193nm）光刻膠用的高純?cè)牧?，研制出的ArF（193nm）光刻膠樣品正在供客戶(hù)測(cè)試。

6月3日，南大光電表示，目前“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”尚處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段，驗(yàn)證過(guò)程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月，甚至更長(zhǎng)的時(shí)間。

上海新陽(yáng)

2016年底，上海新陽(yáng)立項(xiàng)開(kāi)發(fā)集成電路制造用高端光刻膠。根據(jù)上海新陽(yáng)2019年年報(bào)，其已研發(fā)獲得多個(gè)KrF厚膜、ArF干法光刻膠產(chǎn)品配方、工藝數(shù)據(jù)和技術(shù)參數(shù)，得到了多次可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)室曝光結(jié)果，關(guān)鍵曝光參數(shù)已經(jīng)達(dá)到了光刻生產(chǎn)工藝對(duì)商用光刻膠可以進(jìn)行中試產(chǎn)品驗(yàn)證的基本要求。

5月8日，上海新陽(yáng)在2019年度網(wǎng)上業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上表示，公司KrF厚膜光刻膠配套的光刻機(jī)一季度已完成安裝調(diào)試，目前進(jìn)入試運(yùn)行階段，KrF厚膜中試產(chǎn)線在安裝調(diào)試建設(shè)當(dāng)中，光刻膠產(chǎn)品還處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和中試開(kāi)發(fā)階段。

5月26日，上海新陽(yáng)在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司光刻膠已完成實(shí)驗(yàn)室研發(fā)，準(zhǔn)備開(kāi)始進(jìn)行200L反應(yīng)釜的中試，在建項(xiàng)目規(guī)劃產(chǎn)能為500噸/年。

容大感光

容大感光致力于PCB感光油墨、光刻膠及配套化學(xué)品、特種油墨等電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，光刻膠產(chǎn)品主要包括紫外線正膠、紫外線負(fù)膠兩大類(lèi)產(chǎn)品以及稀釋劑、顯影液、剝離液等配套化學(xué)品，主要應(yīng)用于平板顯示、發(fā)光二極管及集成電路等領(lǐng)域。

據(jù)了解，容大感光的光刻膠業(yè)務(wù)營(yíng)收占比較小，其產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域更多集中在平板顯示合LED芯片。5月27日，容大感光在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司目前可生產(chǎn)的半導(dǎo)體光刻膠主要為g/i線正性光刻膠、i線負(fù)性光刻膠、i線厚膜膠等，主要包括RD-2000、RD-4000、RD-6000、RD-NL系列等。

此外，容大感光大亞灣光刻膠及其配套化學(xué)品募投項(xiàng)目設(shè)計(jì)的生產(chǎn)能力為年產(chǎn)1000噸，投產(chǎn)后的主要產(chǎn)品是用于平板顯示、發(fā)光二極管、集成電路芯片等領(lǐng)域的光刻膠，類(lèi)別為g/i線正性光刻膠、負(fù)性光刻膠，i線正性光刻膠的分辨率為0.35微米。今年5月中旬，容大感光回復(fù)深交所關(guān)注涵表示，該項(xiàng)目所有設(shè)備已安裝調(diào)試完畢。

飛凱材料

飛凱材料的主營(yíng)業(yè)務(wù)產(chǎn)品主要包括紫外固化材料和電子化學(xué)材料，電子化學(xué)材料主要包括應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及先進(jìn)封裝領(lǐng)域的濕制程電子化學(xué)品如顯影液、蝕刻液、剝離液、電鍍液等，用于集成電路傳統(tǒng)封裝領(lǐng)域的錫球、環(huán)氧塑封料，用于TFT-LCD液晶顯示面板制造領(lǐng)域的正性光刻膠、TN/STN型混合液晶、TFT型混合液晶、液晶單體及液晶中間體、用于OLED屏幕制造領(lǐng)域的配套材料等新材料。

在光刻膠方面，2019年飛凱材料的5000t/aTFT-LCD光刻膠項(xiàng)目順利試生產(chǎn)，今年6月1日飛凱材料在投資者平臺(tái)上表示，公司TFT-LCD正性光刻膠目前處于試生產(chǎn)過(guò)程中，且近期出貨量也在穩(wěn)步提升。

至于半導(dǎo)體用光刻膠，飛凱材料表示，公司i-line半導(dǎo)體光刻膠實(shí)驗(yàn)室階段產(chǎn)品正在做客戶(hù)送樣驗(yàn)證前的準(zhǔn)備工作。

據(jù)中央紀(jì)委國(guó)家監(jiān)委網(wǎng)站指出，目前中國(guó)電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地已經(jīng)實(shí)現(xiàn)4英寸晶片的大批量產(chǎn)，6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底也已經(jīng)開(kāi)始工程化驗(yàn)證，為客戶(hù)提供小批量的產(chǎn)品試用，預(yù)計(jì)年底達(dá)到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用與國(guó)際水平相當(dāng)。

今年3月，中國(guó)電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地在山西轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)正式投產(chǎn)，第一批設(shè)備正式啟動(dòng)?；匾黄陧?xiàng)目可容納600臺(tái)碳化硅單晶生長(zhǎng)爐，項(xiàng)目建成后將具備年產(chǎn)10萬(wàn)片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬(wàn)片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產(chǎn)能力，是目前國(guó)內(nèi)最大的碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地。這一基地的啟動(dòng)，將徹底打破國(guó)外對(duì)我國(guó)碳化硅封鎖的局面，實(shí)現(xiàn)碳化硅的完全自主供應(yīng)。

目前國(guó)際上碳化硅晶片的合格率最高是70%-80%，而原來(lái)國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)的碳化硅晶片的合格率僅有30%。但在碳化硅產(chǎn)業(yè)基地，這個(gè)合格率可以達(dá)到65%。

中電科總經(jīng)理李斌介紹，現(xiàn)在我們?cè)趯?shí)現(xiàn)迅速研發(fā)的同時(shí)也進(jìn)一步開(kāi)展量產(chǎn)，三年內(nèi)整個(gè)項(xiàng)目要達(dá)到18萬(wàn)片每年的產(chǎn)能。另外，我們目前在進(jìn)行8英寸晶片的研究，希望三年之后，我們能有8英寸的樣片出來(lái)。因?yàn)榫钦麄€(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的上游，要走到器件研究的前面。