針對(duì)今年年初北方華創(chuàng)公告稱擬定增募資投入高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目和高精密電子元器件產(chǎn)業(yè)化基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目，證監(jiān)會(huì)此前曾下發(fā)《關(guān)于請(qǐng)做好北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司非公開(kāi)發(fā)行股票發(fā)審委會(huì)議準(zhǔn)備工作的函》給北方華創(chuàng)保薦機(jī)構(gòu)中信建設(shè)。

8月7日，北方華創(chuàng)回復(fù)證監(jiān)會(huì)提出的相關(guān)問(wèn)題并發(fā)布公告。

北方華創(chuàng)答疑

其中，證監(jiān)會(huì)就北方華創(chuàng)的募投項(xiàng)目提出疑慮。北方華創(chuàng)本次擬募集資金不超過(guò)20億元用于“高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”和“高精密電子元器件產(chǎn)業(yè)化基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目”的建設(shè)，與前次募投項(xiàng)目涉及的產(chǎn)品種類(lèi)未見(jiàn)實(shí)質(zhì)性差異。

本次非公開(kāi)募投項(xiàng)目“高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”和前次重組募投項(xiàng)目“微電子裝備擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目”涉及產(chǎn)品的種類(lèi)和應(yīng)用領(lǐng)域的差異如下所示：

從北方華創(chuàng)公布的前后兩次募投項(xiàng)目產(chǎn)品大綱來(lái)看，除少數(shù)設(shè)備如CVD、單片退火設(shè)備外，其他設(shè)備如刻蝕機(jī)、PVD、立式爐、清洗機(jī)等在兩次募投項(xiàng)目中都存在。

對(duì)此，北方華創(chuàng)表示，雖然集成電路裝備大類(lèi)名稱相同，但是集成電路裝備的技術(shù)難度高、工藝要求嚴(yán)、細(xì)分種類(lèi)繁雜多樣，同一種類(lèi)工藝設(shè)備可應(yīng)用于多種不同的制程，不同的工藝技術(shù)代，也就面臨多個(gè)下游市場(chǎng)，因此，即使同一大類(lèi)設(shè)備產(chǎn)品的差異也非常顯著。

前次重組募投項(xiàng)目設(shè)備主要面向65/28納米技術(shù)代IC前道領(lǐng)域，同時(shí)包括先進(jìn)封裝、LED、功率器件等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域市場(chǎng)；而本次非公開(kāi)發(fā)行募投項(xiàng)目以14/7納米技術(shù)代產(chǎn)品為主，集中面向高端集成電路IC前道工藝市場(chǎng)；兩次募投項(xiàng)目的產(chǎn)品在應(yīng)用領(lǐng)域和技術(shù)代有明確的區(qū)分，不存在重復(fù)情況。

除上述差異外，本次募投項(xiàng)目之一的“高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”與前次募投項(xiàng)目“微電子裝備擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目”在項(xiàng)目定位、建設(shè)目的、建設(shè)內(nèi)容等方面有所不同，具體情況如下：

另外，在投資方向和建設(shè)內(nèi)容上，北方華創(chuàng)表示，兩次募投項(xiàng)目的投資建設(shè)內(nèi)容有較為明顯的區(qū)別。前次募投項(xiàng)目主要是包括集成電路和泛半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)基地的建設(shè)，以建筑工程費(fèi)為主，其金額占總投資額的83.77%；

而本次募投項(xiàng)目主要是先導(dǎo)性技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證環(huán)境的搭建，以14納米設(shè)備產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證和開(kāi)展5/7納米設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)為主，兩者合計(jì)金額占總投資額的62.21%。

公告顯示，北方華創(chuàng)本次募投項(xiàng)目的實(shí)施將為公司在刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、熱處理設(shè)備和清洗設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域打造持續(xù)的核心競(jìng)爭(zhēng)力，使公司緊密跟蹤國(guó)內(nèi)、國(guó)際客戶的芯片生產(chǎn)工藝技術(shù)需求，在28納米設(shè)備基礎(chǔ)上，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)14納米設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化，并開(kāi)展5/7納米設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)。

兩大項(xiàng)目回顧

根據(jù)北方華創(chuàng)官網(wǎng)資料，微電子裝備擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目為原七星電子與北方微電子資產(chǎn)重組的募集配套資金項(xiàng)目，總投資5.7億元。

北方華創(chuàng)微電子裝備項(xiàng)目一期工程于2009年11月正式開(kāi)工建設(shè)，2011年7月竣工驗(yàn)收。隨著原七星電子和北方微電子的整合以及業(yè)務(wù)高速發(fā)展的需求，一期工程生產(chǎn)場(chǎng)地已無(wú)法滿足，故籌劃建設(shè)二期廠房，經(jīng)規(guī)劃批復(fù)名稱為：微電子裝備擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目。

該項(xiàng)目主要用于等離子刻蝕（Etch）、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、氧化/擴(kuò)散、清洗、退火等半導(dǎo)體工藝裝備和氣體質(zhì)量流量控制器等核心零部件的生產(chǎn)制造。

至于高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，2019年1月4日，北方華創(chuàng)發(fā)布公告稱，擬非公開(kāi)發(fā)行股票募集資金總額預(yù)計(jì)不超過(guò)21億元，其中，國(guó)家集成電路基金認(rèn)購(gòu)金額為9.2億元、北京電控認(rèn)購(gòu)金額為6億元、京國(guó)瑞基金認(rèn)購(gòu)金額為5億元、北京集成電路基金認(rèn)購(gòu)金額為8000萬(wàn)元。

扣除發(fā)行費(fèi)用后將全部用于“高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”和“高精密電子元器件產(chǎn)業(yè)化基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目”的建設(shè)。

7月6日，北方華創(chuàng)公告，擬對(duì)該議案的發(fā)行對(duì)象、發(fā)行數(shù)量、募集資金金額等進(jìn)行了調(diào)整。

方案調(diào)整之后，非公開(kāi)發(fā)行募集資金總額不超過(guò)20億元，發(fā)行對(duì)象也由此前的4名符合中國(guó)證監(jiān)會(huì)規(guī)定的特定對(duì)象減少至三名，其中，國(guó)家集成電路基金認(rèn)購(gòu)金額為9.1億元、北京電控認(rèn)購(gòu)金額約5.9億元、京國(guó)瑞基金認(rèn)購(gòu)金額為5億元。

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近日，山東日照經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)與臺(tái)灣雙志世代國(guó)際有限公司簽訂合作協(xié)議，全芯世代半導(dǎo)體層膜項(xiàng)目落戶開(kāi)發(fā)區(qū)。區(qū)工委書(shū)記杜江濤，臺(tái)灣雙志世代國(guó)際有限公司董事長(zhǎng)戴榮志出席活動(dòng)。區(qū)工委委員、管委副主任邱兵與項(xiàng)目負(fù)責(zé)人簽約。

全芯世代半導(dǎo)體層膜項(xiàng)目由臺(tái)灣雙志世代國(guó)際有限公司投資，計(jì)劃設(shè)立半導(dǎo)體裝備層膜生產(chǎn)及技術(shù)服務(wù)專業(yè)工廠，進(jìn)行半導(dǎo)體與光電業(yè)零組件層膜中心的維修服務(wù)與新備品生產(chǎn)供應(yīng)，同時(shí)孵化引進(jìn)加拿大氫燃料電池項(xiàng)目和擁有多國(guó)專利的分散式光纖控制系統(tǒng)，以及相關(guān)產(chǎn)品制造與技術(shù)交流、輔導(dǎo)與技術(shù)升級(jí)。

該項(xiàng)目設(shè)立后，可成為大陸地區(qū)領(lǐng)先的相關(guān)配件生產(chǎn)以及維修的綜合性工廠，填補(bǔ)大陸地區(qū)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的空白，對(duì)促進(jìn)國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極的作用。

項(xiàng)目總投資11億元，分四期建設(shè)，達(dá)產(chǎn)后每年度可實(shí)現(xiàn)應(yīng)稅銷(xiāo)售收入一期不低于7000萬(wàn)元，二期不低于1億元，三期不低于5.7億元，四期不低于15億元。

隨著信息社會(huì)的迅速發(fā)展，手機(jī)、電腦、電視等各種電子設(shè)備越來(lái)越“迷你”，從之前的“大哥大”到現(xiàn)在僅僅幾個(gè)硬幣厚的時(shí)尚手機(jī)，從老式的矮胖電視到如今輕薄的液晶電視，都不離開(kāi)集成電路的發(fā)展，也就是我們平時(shí)所說(shuō)的“芯片”。自從1958年世界上第一塊集成電路問(wèn)世以來(lái)，它的體積越來(lái)越小，性能卻越來(lái)越強(qiáng)大。

而光刻機(jī)是半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中的最核心設(shè)備。以光刻機(jī)為代表的高端半導(dǎo)體裝備支撐著集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，芯片越做越小，集成的電路越來(lái)越多，能使終端變得小巧玲瓏。

2002年，光刻機(jī)被列入國(guó)家863重大科技攻關(guān)計(jì)劃，由科技部和上海市共同推動(dòng)成立上海微電子裝備有限公司（下簡(jiǎn)稱“SMEE”）來(lái)承擔(dān)，2008年國(guó)家又啟動(dòng)了“02”科技重大專項(xiàng)予以銜接持續(xù)攻關(guān)。經(jīng)過(guò)十幾年潛心研發(fā)，我國(guó)已基本掌握了高端光刻機(jī)的集成技術(shù)，并部分掌握了核心部件的制造技術(shù)，成為集光機(jī)電等多學(xué)科尖端技術(shù)于一體的“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”。

微觀世界里“造房子”

浦東張江，SMEE總經(jīng)理賀榮明告訴記者，制造光刻機(jī)就是在微觀世界里“造房子”——光刻機(jī)是一個(gè)由幾萬(wàn)個(gè)精密零件、幾百個(gè)執(zhí)行器傳感器、千萬(wàn)行代碼組成的超復(fù)雜思維系統(tǒng)，它的內(nèi)部運(yùn)動(dòng)精度誤差不超過(guò)一根頭發(fā)絲的千分之一。打個(gè)比喻，就像坐在一架超音速飛行的飛機(jī)上，拿著線頭穿進(jìn)另一架飛機(jī)上的針孔。由于它技術(shù)的超高難度以及系統(tǒng)的復(fù)雜性，導(dǎo)致光刻機(jī)在全世界形成了超高的技術(shù)門(mén)檻。

據(jù)了解，以光刻機(jī)為代表的產(chǎn)品主要應(yīng)用于四大領(lǐng)域，芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、LED制造、下一代顯示屏制造。另外還有類(lèi)光刻機(jī)產(chǎn)品，包括激光封裝、激光退火等設(shè)備，去年開(kāi)始在試驗(yàn)，今年逐步開(kāi)始小批生產(chǎn)，未來(lái)為移動(dòng)穿戴、智能時(shí)代提供產(chǎn)品。

“17年前，世界上只有少數(shù)國(guó)家能夠制造光刻機(jī)，且長(zhǎng)期以來(lái)對(duì)中國(guó)實(shí)施技術(shù)限制。當(dāng)時(shí)，我們國(guó)家長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，這樣下去不利于國(guó)家的戰(zhàn)略安全和產(chǎn)業(yè)安全?！辟R榮明說(shuō)到。

2002年，為實(shí)現(xiàn)“用中國(guó)人的光刻機(jī)造中國(guó)芯”的夢(mèng)想，賀榮明帶著幾位滿懷夢(mèng)想的“戰(zhàn)友”來(lái)到張江，承擔(dān)起制造振興國(guó)家民族的微電子裝備產(chǎn)業(yè)，開(kāi)始了艱難的光刻機(jī)研發(fā)之路。

然而，由于國(guó)內(nèi)的相關(guān)行業(yè)處于一片空白，無(wú)論是專業(yè)人員還是配套的零件供應(yīng)鏈，都讓賀榮明無(wú)從下手。在這樣的情況下，賀榮明深知，“唯一的出路就是走創(chuàng)新之路?！?/p>

為了使研制過(guò)程能始終處于良好的受控狀態(tài)，賀榮明一方面努力學(xué)習(xí)并借鑒世界上大型復(fù)雜工程項(xiàng)目的管理案例，始終不渝地堅(jiān)持推進(jìn)用系統(tǒng)工程管理思想和方法來(lái)組織推進(jìn)光刻機(jī)項(xiàng)目實(shí)施，堅(jiān)持用產(chǎn)品化、工程化思想來(lái)進(jìn)行產(chǎn)品研發(fā)。另一方面，他將創(chuàng)新視為企業(yè)的生命和永恒的“發(fā)動(dòng)機(jī)”，結(jié)合研發(fā)項(xiàng)目開(kāi)展創(chuàng)新實(shí)踐，有效運(yùn)用創(chuàng)新方法體系解決了多項(xiàng)實(shí)際問(wèn)題。

如今，通過(guò)十七年的“臥薪嘗膽”，SMEE已經(jīng)完全掌握了先進(jìn)封裝光刻機(jī)、高亮度LED光刻機(jī)等高端智能制造領(lǐng)域的先進(jìn)技術(shù)。

根據(jù)市場(chǎng)需求“沿途下蛋”

賀榮明告訴記者，高端光刻機(jī)開(kāi)發(fā)的周期非常長(zhǎng)，難度也非常高，如果在整個(gè)過(guò)程中只是走研發(fā)的道路，而不及時(shí)考慮產(chǎn)業(yè)化，那么對(duì)整個(gè)項(xiàng)目的開(kāi)發(fā)、人才團(tuán)隊(duì)的鼓勵(lì)都會(huì)帶來(lái)管理上的困難。SMEE的決策者們?cè)跊Q定以高端光刻機(jī)開(kāi)發(fā)為主線的同時(shí)，每天都在考慮當(dāng)離高端產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)還有一定高峰要攀登的時(shí)候，在“半山腰”、在“山腳”下，能不能把已經(jīng)掌握或部分掌握的技術(shù)變成產(chǎn)品，去服務(wù)于行業(yè)?；谶@個(gè)思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產(chǎn)品。

賀榮明告訴記者，同樣是光刻機(jī)，它在前道的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用難度非常高，但是后道的先進(jìn)封裝對(duì)光刻機(jī)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，可以先行進(jìn)入，所以SMEE就抓住了這個(gè)契機(jī)，開(kāi)發(fā)了一款適用于先進(jìn)封裝行業(yè)的光刻機(jī)。此前，這種光刻機(jī)完全依賴于進(jìn)口，而今SMEE 已經(jīng)占領(lǐng)了80%以上的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，現(xiàn)在市場(chǎng)上高端智能手機(jī)上都有SMEE 自主研發(fā)的先進(jìn)封裝光刻機(jī)的功勞。這樣一來(lái)，產(chǎn)品的研發(fā)形成了一種階梯、波浪，“前面在不斷瞄準(zhǔn)高科技的發(fā)展，同時(shí)它不斷把掌握的技術(shù)輻射為具有應(yīng)用前景又能為國(guó)民經(jīng)濟(jì)、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供很好技術(shù)支撐的產(chǎn)品，這樣兩個(gè)目標(biāo)形成一種互動(dòng)、良性循環(huán)。既通過(guò)高科技的研發(fā)來(lái)錘煉人才，又通過(guò)產(chǎn)品的市場(chǎng)化來(lái)打造工程性人才，這種人才的分合匯聚組合讓公司向兩維領(lǐng)域發(fā)展（一維是技術(shù)高度，一維是產(chǎn)業(yè)寬度），不讓公司變?yōu)榧兇獾难邪l(fā)機(jī)構(gòu)，同時(shí)也不讓公司太功利化。這兩者融合能為公司將來(lái)高端光刻機(jī)的發(fā)展提供良好的發(fā)展模式?！辟R榮明表示。

賀榮明直言，企業(yè)運(yùn)營(yíng)的最大壓力在于技術(shù)突破和人才團(tuán)隊(duì)的聚焦與持續(xù)發(fā)展。由于我國(guó)技術(shù)基礎(chǔ)比較薄弱，不但要攻克技術(shù)上的難點(diǎn)，還要解決攻克過(guò)程中的管理問(wèn)題。在供應(yīng)鏈的打造和高科技行業(yè)上受到國(guó)外的限制等，使得我國(guó)整個(gè)技術(shù)門(mén)類(lèi)還不健全，整個(gè)資源鏈還不完善，現(xiàn)在一方面以自主創(chuàng)新為主，一方面用更寬泛的國(guó)際視野面向全球整合資源?！拔覈?guó)高速發(fā)展，吸引了全球高科技人才、組織對(duì)我們充滿期待，這樣迎來(lái)了利用國(guó)際資源解決自身瓶頸，使得SMEE在堅(jiān)持自主創(chuàng)新的同時(shí)全球化、國(guó)際化?！?/p>

用中國(guó)人的光刻機(jī)造中國(guó)芯

經(jīng)過(guò)十幾年的發(fā)展，SMEE形成了一支逾1000人的年齡結(jié)構(gòu)合理、學(xué)科門(mén)類(lèi)齊全、專業(yè)技術(shù)扎實(shí)的優(yōu)秀人才隊(duì)伍以及與產(chǎn)品化、產(chǎn)業(yè)化相適應(yīng)的經(jīng)營(yíng)管理團(tuán)隊(duì)。其中博士和碩士超過(guò)40%，團(tuán)隊(duì)中擁有國(guó)家萬(wàn)人計(jì)劃專家、國(guó)家中青年科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才、上海市科技領(lǐng)軍人才和上海市技術(shù)學(xué)科帶頭人等多人。已通過(guò)ISO27001信息安全、ISO9001質(zhì)量管理和ISO14001環(huán)境管理等體系的國(guó)際認(rèn)證，是國(guó)家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心、國(guó)家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、上海市高新技術(shù)企業(yè)、“國(guó)家光刻設(shè)備工程技術(shù)研究中心”的依托單位、首批“上海品牌”認(rèn)證企業(yè)等。

從跟蹤國(guó)際專利到不斷掌握擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計(jì)技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù)，SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了“用中國(guó)人的光刻機(jī)造中國(guó)芯”的夢(mèng)想。截止2019年6月，公司專利申請(qǐng)總數(shù)共計(jì)3034項(xiàng)（授權(quán)1654項(xiàng)），其中國(guó)內(nèi)專利申請(qǐng)2351項(xiàng)（授權(quán)1460項(xiàng)），國(guó)外專利申請(qǐng)683項(xiàng)（授權(quán)248項(xiàng)）。這些專利滲透在各個(gè)產(chǎn)品之中，為高科技產(chǎn)品走向世界提供自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的法律保障。

談到這十七年來(lái)的生活，把SMEE當(dāng)做孩子一樣培養(yǎng)的賀榮明笑著說(shuō)，“除了出差，每天早上7點(diǎn)出門(mén)，晚上10點(diǎn)回家，周六保證不休息，周日休息不保證，這就是我十幾年生活的全部。” 作為制造業(yè)皇冠上的明珠，光刻機(jī)的制造集光機(jī)電等高技術(shù)于一體，任何一個(gè)零部件的生產(chǎn)要求，都可能為一個(gè)配套產(chǎn)業(yè)帶來(lái)創(chuàng)新能級(jí)提升的機(jī)會(huì)。談到初心，賀榮明篤定地說(shuō)：“我的夢(mèng)想，是讓國(guó)際同行在談到我們時(shí)，增加一份對(duì)中國(guó)科技工作者的尊重。”

7月29日，北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）發(fā)布增資公告稱，全資子公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)微電子”）增資北京集成電路裝備創(chuàng)新中心有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北京集成電路裝備中心”）。

公告顯示，除北方華創(chuàng)微電子外，此次增資北京集成電路裝備中心的企業(yè)還有北京電子控股有限責(zé)任公司(以下簡(jiǎn)稱“北京電控”)、以及北京亦莊科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“亦莊科技”）。

本次共增資30.49億元，增資完成后，北京集成電路裝備中心的注冊(cè)資本將由目前的100萬(wàn)元增至30.5億元。

其中北方華創(chuàng)微電子、北京電控、亦莊科技分別以現(xiàn)金方式向北京集成電路裝備中心增資0.5億元、19.99億元、10億元。屆時(shí)北方華創(chuàng)微電子將持有北京集成電路裝備中心1.6393%的股權(quán)，北京電控持股65.5738%、亦莊科技持股32.7869%。

資料顯示，北京集成電路裝備中心于2019年6月27日設(shè)立，是北京電控的全資子公司，尚未實(shí)際開(kāi)展經(jīng)營(yíng)。其定位為合作開(kāi)展集成電路裝備相關(guān)技術(shù)的研究與開(kāi)發(fā)，截至目前北京集成電路裝備中心股東尚未實(shí)繳出資。

本次增資完成后，北京集成電路裝備中心各股東的出資額及出資比例如下表所示：

北方華創(chuàng)成立于2001年，主要從事基礎(chǔ)電子產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和技術(shù)服務(wù)業(yè)務(wù)，主要產(chǎn)品包括刻蝕機(jī)、物理氣相沉積設(shè)備、化學(xué)氣相淀積設(shè)備、氧化爐、擴(kuò)散爐、清洗機(jī)及鋰電極片裝備等半導(dǎo)體設(shè)備及零部件。

北京電控由北京市電子工業(yè)辦公室轉(zhuǎn)制而來(lái)，目前是北京市國(guó)資委授權(quán)的以電子信息產(chǎn)業(yè)為主業(yè)的國(guó)有特大型高科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)。其主營(yíng)產(chǎn)業(yè)分布于高端電子元器件（半導(dǎo)體顯示器件、集成電路、特種元器件）、高端電子工藝裝備、高效儲(chǔ)能電池及系統(tǒng)應(yīng)用、電子信息服務(wù)、智慧園區(qū)五大板塊。

值得注意的是，北京電控直接持有北方華創(chuàng)9.23%股權(quán)，通過(guò)其全資子公司北京七星華電科技集團(tuán)有限責(zé)任公司間接持有北方華創(chuàng)38.90%股權(quán)，為北方華創(chuàng)實(shí)際控制人。

亦莊科技成立于2018年11月9日，是北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)國(guó)有資產(chǎn)管理辦公室出資設(shè)立的國(guó)有獨(dú)資公司。定位為集成電路領(lǐng)域?qū)I(yè)的投資平臺(tái)，通過(guò)加快推進(jìn)集成電路領(lǐng)域重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目投資落地，促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)成果轉(zhuǎn)化，助力北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)打造具有國(guó)際影響力的集成電路產(chǎn)業(yè)集群。

北方華創(chuàng)表示，本次交易項(xiàng)目符合公司的戰(zhàn)略規(guī)劃，有利于公司集成電路設(shè)備相關(guān)技術(shù)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。

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國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)廠商之一——沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯源微”）科創(chuàng)板上市申請(qǐng)獲受理。

日前，芯源微披露招股書(shū)，公司擬公開(kāi)發(fā)行新股不超過(guò)2100萬(wàn)股，募集資金3.78億元。

從近三年的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)來(lái)看，芯源微業(yè)績(jī)波動(dòng)較大。2016年至2018年，芯源微的營(yíng)業(yè)收入由1.48億元增長(zhǎng)至2.1億元，增幅達(dá)42%；凈利潤(rùn)則由492.85萬(wàn)元增長(zhǎng)至3047.79萬(wàn)元，增幅達(dá)518%。

與之形成反差的是，近三年來(lái)，芯源微經(jīng)營(yíng)性現(xiàn)金流量?jī)纛~分別為6687.18萬(wàn)元、4246.4萬(wàn)元、-2831.55萬(wàn)元，呈現(xiàn)下降趨勢(shì)，與逐年上升的凈利潤(rùn)增速相背離。

長(zhǎng)江商報(bào)記者注意到，業(yè)績(jī)高速增長(zhǎng)的背后，是芯源微對(duì)于政府補(bǔ)助及稅收優(yōu)惠等非經(jīng)常性損益的依賴。

近三年內(nèi)，芯源微稅收優(yōu)惠和政府補(bǔ)助金額累計(jì)為8460.35萬(wàn)元，為同期公司利潤(rùn)總額6759.82萬(wàn)元的1.25倍。

此外，芯源微還存在銷(xiāo)售地域及客戶高度集中。2016年至2019年一季度，公司來(lái)自華東地區(qū)的銷(xiāo)售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比重分別為37.59%、73.83%、64.94%、100%。

同時(shí)，公司對(duì)前五大客戶銷(xiāo)售收入合計(jì)占當(dāng)期營(yíng)業(yè)收入的比重分別為80.1%、59.24%、57.07%、97.59%。

近兩年凈利潤(rùn)增長(zhǎng)518%

據(jù)了解，芯源微主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備，可用于6英寸及以下單晶圓處理及8/12英寸單晶圓處理。

根據(jù)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布的2018年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)數(shù)據(jù)，公司2018年位列國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商五強(qiáng)。

財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，2016年、2017年、2018年和2019年第一季度，芯源微分別實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入1.48億元、1.9億元、2.1億元、0.1億元，凈利潤(rùn)分別為492.85萬(wàn)元、2626.81萬(wàn)元、3047.79萬(wàn)元、-902.52萬(wàn)元，呈現(xiàn)較大的波動(dòng)。

其中，相較于2016年的業(yè)績(jī)，2018年芯源微營(yíng)業(yè)收入和凈利潤(rùn)分別較兩年前增長(zhǎng)42%、518%。

需要注意的是，受下游半導(dǎo)體行業(yè)客戶資本性支出波動(dòng)的影響，公司主營(yíng)業(yè)務(wù)收入呈現(xiàn)一定的季節(jié)性特征，每年二、四季度產(chǎn)品銷(xiāo)售收入較高。但與去年同期相比，今年第一季度芯源微主營(yíng)業(yè)務(wù)收入為968.67萬(wàn)元，同比減少40.05%，公司稱主要是因?yàn)楣静糠窒掠慰蛻繇?xiàng)目建設(shè)進(jìn)度延后，也相應(yīng)推遲了公司設(shè)備的安裝調(diào)試及驗(yàn)收時(shí)間。

從毛利率來(lái)看，報(bào)告期各期，公司主營(yíng)業(yè)務(wù)毛利率分別為41.25%、41.79%、46.27%、36.18%，存在一定的波動(dòng)。

對(duì)此，芯源微表示公司主要為下游集成電路、LED芯片等半導(dǎo)體制造廠商提供半導(dǎo)體專用設(shè)備，產(chǎn)品呈現(xiàn)較為顯著的定制化特征，不同客戶的產(chǎn)品配置及性能要求以及議價(jià)能力可能會(huì)有所不同，從而導(dǎo)致毛利率存在一定差異。

值得一提的是，目前芯源微還存在銷(xiāo)售地域和客戶較為集中的情況。報(bào)告期各期，公司來(lái)自華東地區(qū)的銷(xiāo)售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比重分別為37.59%、73.83%、64.94%、100%；來(lái)自港澳臺(tái)地區(qū)的銷(xiāo)售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比重分別為58.91%、10.09%、6.00%、0%。

芯源微認(rèn)為，報(bào)告期內(nèi)，公司產(chǎn)品銷(xiāo)售主要集中在華東地區(qū)和港澳臺(tái)地區(qū)，這與我國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)在臺(tái)灣及華東地區(qū)集中分布的現(xiàn)實(shí)情況相匹配。

與此同時(shí)，報(bào)告期內(nèi)，公司對(duì)前五大客戶銷(xiāo)售收入合計(jì)占當(dāng)期營(yíng)業(yè)收入的比重分別為80.1%、59.24%、57.07%、97.59%，客戶集中度較高。

非經(jīng)常性損益金額較大

長(zhǎng)江商報(bào)記者注意到，基于芯源微所處的半導(dǎo)體專用設(shè)備行業(yè)的特殊性，稅收優(yōu)惠和政府補(bǔ)助對(duì)于公司現(xiàn)階段的業(yè)績(jī)影響較大。

招股書(shū)披露，報(bào)告期內(nèi)，芯源微享受的稅收優(yōu)惠政策包括軟件產(chǎn)品增值稅即征即退、研發(fā)費(fèi)用加計(jì)扣除、高新技術(shù)企業(yè)所得稅優(yōu)惠等。最近三年，公司各年稅收優(yōu)惠金額合計(jì)數(shù)分別為392.13萬(wàn)元、1376.16萬(wàn)元、1512.49萬(wàn)元，占當(dāng)期利潤(rùn)總額的比例分別為81.97%、45.95%、46.02%。

同期，公司計(jì)入其他收益或營(yíng)業(yè)外收入的政府補(bǔ)助金額分別為820.99萬(wàn)元、2235.36萬(wàn)元、2123.22萬(wàn)元，占當(dāng)期利潤(rùn)總額的比例分別為171.62%、74.63%、64.61%。

綜合計(jì)算，近三年內(nèi)芯源微稅收優(yōu)惠和政府補(bǔ)助金額累計(jì)為8460.35萬(wàn)元，為同期公司利潤(rùn)總額6759.82萬(wàn)元的1.25倍。

在扣除非經(jīng)常性損益后，報(bào)告期各期，芯源微歸母凈利潤(rùn)分別為35.18萬(wàn)元、1549.32萬(wàn)元、2009.82萬(wàn)元、-1048.65萬(wàn)元。

值得一提的是，由于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)，具有較高的技術(shù)門(mén)檻，芯源微研發(fā)投入力度也較大。報(bào)告期各期，芯源微研發(fā)費(fèi)用金額分別為1659.24萬(wàn)元、1975.81萬(wàn)元、3421.45萬(wàn)元、595.32萬(wàn)元，占營(yíng)業(yè)收入的比例分別為11.24%、10.41%、16.29%和57.77%，保持在較高水平。

經(jīng)營(yíng)現(xiàn)金流逐年走低與業(yè)績(jī)背離

隨著經(jīng)營(yíng)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，芯源微現(xiàn)金流狀況卻在不斷惡化。

截至各報(bào)告期末，芯源微公司應(yīng)收賬款凈額分別為3223.34萬(wàn)元、2433.16萬(wàn)元、5352.03萬(wàn)元及 4079.02萬(wàn)元，占當(dāng)期流動(dòng)資產(chǎn)的比例分別為14.42%、10.08%、18.35%、15.65%，整體呈上升趨勢(shì)。

此外，截至各報(bào)告期末，公司存貨凈額分別為9745.63萬(wàn)元、8854.43萬(wàn)元、14365.26萬(wàn)元、15805.37萬(wàn)元，占總資產(chǎn)的比例分別為32.78%、26.42%、37.83%、45.23%，存貨周轉(zhuǎn)率分別為0.83次、1.13次、0.93次、0.04次，較大的存貨規(guī)模存在減值風(fēng)險(xiǎn)，而較低的存貨周轉(zhuǎn)速度仍將會(huì)影響公司整體的資金營(yíng)運(yùn)效率，給公司生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)和業(yè)務(wù)發(fā)展帶來(lái)不利影響。

受上述方面影響，報(bào)告期各期，芯源微經(jīng)營(yíng)活動(dòng)產(chǎn)生的現(xiàn)金流量?jī)纛~分別為6687.18萬(wàn)元、4246.4萬(wàn)元、-2831.55萬(wàn)元、-2051.97萬(wàn)元，呈現(xiàn)下降趨勢(shì)，與逐年上升的凈利潤(rùn)增速相背離。

而此次芯源微選擇在上交所科創(chuàng)板上市，公開(kāi)發(fā)行股票不超過(guò)2100萬(wàn)股，募集資金3.78億元，分別投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目及高端晶圓處理設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目。本次發(fā)行后，公司資本實(shí)力將得到增強(qiáng)，凈資產(chǎn)大幅增加。

不過(guò)，目前芯源微仍存在股權(quán)較為分散的情況。招股書(shū)顯示，芯源微前身芯源半導(dǎo)體在2002年由先進(jìn)制造和韓國(guó)STL分別出資300萬(wàn)美元和120萬(wàn)美元設(shè)立。2019年3月，公司整體變更為股份有限公司，共有49名發(fā)起人，包括42名自然人股東，7名法人股東。

本次發(fā)行前，芯源微前五大股東分別為先進(jìn)制造、中科院沈自所、科發(fā)實(shí)業(yè)、國(guó)科投資、國(guó)科瑞祺，持股比例分別為22.75%、16.67%、15.77%、10.83%、7.14%。

由于芯源微股權(quán)較為分散，無(wú)單一股東通過(guò)直接或間接的方式持有公司股權(quán)比例或控制其表決權(quán)超過(guò) 30%的情形，各方股東無(wú)法決定董事會(huì)多數(shù)席位或?qū)具M(jìn)行實(shí)際控制，公司無(wú)控股股東和實(shí)際控制人。

7月24日，蘇州賽騰精密電子股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“賽騰股份”）發(fā)布公告稱，擬非公開(kāi)發(fā)行股票數(shù)量不超過(guò) 32,552,780 股（含 32,552,780 股），募集資金總額不超過(guò) 70,000 萬(wàn)元（含本數(shù)）。本次非公開(kāi)發(fā)行股票相關(guān)事項(xiàng)已經(jīng)獲得公司第二屆董事會(huì)第十三次會(huì)議審議通過(guò)。

公告顯示，本次募集的 70,000 萬(wàn)元在扣除相關(guān)發(fā)行費(fèi)用后的募集資金凈額后將用于收購(gòu)日本 OPTIMA 株式會(huì)社 75.02%股權(quán)項(xiàng)目、新能源汽車(chē)零部件智能制造設(shè)備擴(kuò)建項(xiàng)目、消費(fèi)電子行業(yè)自動(dòng)化設(shè)備建設(shè)項(xiàng)目、以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

具體擬投入募集資金金額如下：

公告稱，公司原有主營(yíng)業(yè)務(wù)為消費(fèi)電子行業(yè)智能裝備，本次募集資金投資項(xiàng)目主要為高端半導(dǎo)體設(shè)備，有助于豐富公司的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，開(kāi)拓新的高端半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分市場(chǎng)，一定程度分散下游行業(yè)單一的風(fēng)險(xiǎn)。

值得注意的是，賽騰股份擬收購(gòu)的日本OPTIMA株式會(huì)社經(jīng)營(yíng)范圍包括半導(dǎo)體檢查設(shè)備和曝光設(shè)備的開(kāi)發(fā)、制造、銷(xiāo)售以及服務(wù)業(yè)務(wù)；半導(dǎo)體檢查設(shè)備和曝光設(shè)備的相關(guān)消耗品的銷(xiāo)售業(yè)務(wù)等。電子元器件等的銷(xiāo)售相關(guān)的咨詢業(yè)務(wù)；電子元器件等的銷(xiāo)售相關(guān)的市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)業(yè)務(wù)；研磨材料的銷(xiāo)售和進(jìn)出口；投資業(yè)務(wù)；健康/美容儀器的開(kāi)發(fā)和銷(xiāo)售等。

收購(gòu)?fù)瓿珊螅瑯?biāo)的公司日本 OPTIMA 株式會(huì)社將成為賽騰股份控股子公司，此外，上述收購(gòu)?fù)瓿珊?，賽騰股份擬通過(guò)賽騰國(guó)際對(duì) OPTIMA 株式會(huì)社進(jìn)行增資,增資金額 120,000 萬(wàn)日元,總計(jì)投資金額 390,105.99 萬(wàn)日元（折合人民幣約 23,679 萬(wàn)元），上述收購(gòu)及增資完成后，公司將持有標(biāo)的公司約 75.02%股權(quán)。

資料顯示，賽騰股份是一家從事非標(biāo)設(shè)備、精密測(cè)量、產(chǎn)品測(cè)試系統(tǒng)及FCT測(cè)試夾治具的專業(yè)廠商，集研究開(kāi)發(fā)，生產(chǎn)銷(xiāo)售，服務(wù)為一體的自動(dòng)化設(shè)備高新技術(shù)企業(yè)單位。募集資金到位后，賽騰股份的總資產(chǎn)、凈資產(chǎn)和每股凈資產(chǎn)都將大幅增加，項(xiàng)目實(shí)施后，公司凈資產(chǎn)規(guī)模將實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)，隨著募投項(xiàng)目的實(shí)施，公司核心競(jìng)爭(zhēng)力將進(jìn)一步提升。

賽騰股份表示，集成電路產(chǎn)業(yè)、智能設(shè)備行業(yè)均具有資本密集、高技術(shù)含量、重研發(fā)投入的特點(diǎn)，公司通過(guò)本次非公開(kāi)發(fā)行籌集發(fā)展所需資金，提高資產(chǎn)規(guī)模，優(yōu)化資本結(jié)構(gòu)，加大在產(chǎn)業(yè)前沿技術(shù)方面的投入，積極實(shí)施產(chǎn)品升級(jí)、產(chǎn)品創(chuàng)新，開(kāi)拓公司高端半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品線，鞏固公司在智能制造行業(yè)的領(lǐng)先地位，并積極搶占高端半導(dǎo)體設(shè)備的戰(zhàn)略高地，全面提升公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力和可持續(xù)發(fā)展能力。

7月22日，合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)空港集成電路產(chǎn)業(yè)園的合盟精密工業(yè)（合肥）有限公司成為園區(qū)第一家正式運(yùn)營(yíng)企業(yè)，將在高端硅零部件產(chǎn)品方面填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。

合盟精密由臺(tái)灣半導(dǎo)體知名企業(yè)漢民科技與日本芝技研株式會(huì)社合資成立，后期世界500強(qiáng)企業(yè)日本三菱材料也計(jì)劃參與投資，項(xiàng)目總投資3000萬(wàn)美元，主要從事半導(dǎo)體蝕刻制程設(shè)備中關(guān)鍵硅零部件——硅環(huán)和硅片的生產(chǎn)制造，為全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備公司日本東電電子配套。

漢民科技是經(jīng)開(kāi)區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)的重要企業(yè)，合盟精密是漢民科技引進(jìn)的第一個(gè)項(xiàng)目，未來(lái)漢民科技還將持續(xù)引進(jìn)優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體項(xiàng)目。

目前，經(jīng)開(kāi)區(qū)圍繞存儲(chǔ)芯片打造集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)，已匯聚兆易創(chuàng)新、通富微電、韓國(guó)美科、康佳半導(dǎo)體等20余家知名企業(yè)集聚發(fā)展，打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的、具有國(guó)際知名度的、業(yè)界具有重要影響力的中國(guó)“新芯之都”。

近日，記者從金龍湖創(chuàng)新谷獲悉，由飛納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司研發(fā)制造的多光路高速激光影像轉(zhuǎn)移設(shè)備（也稱LDI）已于近期投入生產(chǎn)，目前承接了來(lái)自包括華為在內(nèi)的幾大供應(yīng)商的億元訂單，年內(nèi)完成出貨。

飛納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是徐州博康實(shí)業(yè)集團(tuán)旗下的子公司，落戶于金龍湖創(chuàng)新谷。針對(duì)目前PCB（印制電路板）、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）等多行業(yè)領(lǐng)域?qū)饪碳夹g(shù)及產(chǎn)品的需求，實(shí)現(xiàn)PCB用多光路高速激光影像轉(zhuǎn)移設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化，并取得核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，打破了以色列等少數(shù)國(guó)外企業(yè)的壟斷，致力于填補(bǔ)我國(guó)大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用核心裝備領(lǐng)域的空白。

多光路高速激光影像轉(zhuǎn)移設(shè)備是集成電路制造過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備，應(yīng)用于高精密線路板加工，是人類(lèi)至今制造的最精密的機(jī)器，也被稱為集成電路重大裝備這個(gè)皇冠上的明珠，其制造復(fù)雜性與難度最高，價(jià)格昂貴，占一條半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備成本的近30%。

據(jù)飛納相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，該系列產(chǎn)品的研發(fā)以時(shí)代發(fā)展為導(dǎo)向，主要解決了世界上目前IC載板升級(jí)的兩大難題，

一個(gè)是可穿戴技術(shù)所使用的柔性電路板的光刻問(wèn)題，

一個(gè)是5G技術(shù)所使用的超大版的光刻問(wèn)題。

目前，飛納與華為加快牽手，并已經(jīng)向其相關(guān)廠家批量供貨。

飛納是世界唯一一家可以制作5G基站超大背板光刻設(shè)備的廠家，它的投產(chǎn)運(yùn)營(yíng)將大大推動(dòng)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，進(jìn)一步影響全球行業(yè)格局。

“從趕超到領(lǐng)跑，從制造到智造，我們一直在路上。”飛納相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，未來(lái)，我們將以一往無(wú)前的勇氣和水滴石穿的耐心，繼續(xù)攻關(guān)核心技術(shù)，為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)更大力量。

7月16日，上海兄弟微泛半導(dǎo)體超高純?cè)O(shè)備集成項(xiàng)目正式簽約落戶海寧科技綠洲。

該項(xiàng)目總投資1億元人民幣，將入駐海寧科技綠洲二期5號(hào)樓。在漕河涇海寧分區(qū)內(nèi)投資建設(shè)超高純?cè)O(shè)備集成制造項(xiàng)目，主要從事超高純特氣系統(tǒng)輸送設(shè)備、電子特氣廢氣處理系統(tǒng)、超純化學(xué)品輸送系統(tǒng)等產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。

該項(xiàng)目的簽約入駐，將有力推動(dòng)漕河涇海寧分區(qū)的泛半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)的集聚發(fā)展。漕河涇海寧分區(qū)也將進(jìn)一步發(fā)揮長(zhǎng)三角一體化發(fā)展的先行區(qū)優(yōu)勢(shì)和跨區(qū)域產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移示范園區(qū)的品牌優(yōu)勢(shì)，吸引更多優(yōu)質(zhì)高科技企業(yè)集聚，助力海寧產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。

漕河涇海寧分區(qū)

項(xiàng)目投資方上海兄弟微電子技術(shù)有限公司，成立于2000年，2018年11月被評(píng)為上海高新技術(shù)企業(yè)。企業(yè)專注于電子特氣及化學(xué)品輸送系統(tǒng)之設(shè)備及工程，是該行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)制定者，參編了《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》、《大宗氣體純化劑輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》、《電子工廠化學(xué)品系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》等國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

科創(chuàng)板受理工作仍在如火如荼地進(jìn)行中。日前，上海證券交易所披露了沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯源微”）的科創(chuàng)板上市申請(qǐng)獲受理。

招股書(shū)顯示，芯源微本次擬公開(kāi)發(fā)行股票數(shù)量不超過(guò)2100萬(wàn)股，占發(fā)行后公司股份總數(shù)的比例不低于25%，募集資金3.78億元，投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化及研發(fā)中心項(xiàng)目。

4名國(guó)有股東，陣營(yíng)強(qiáng)大

芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與服務(wù)，主要產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），可用于6英寸及以下單晶圓處理及8/12英寸單晶圓處理。?

作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)，芯源微的股東陣營(yíng)強(qiáng)大。截至招股書(shū)簽署日，芯源微的前五大股東依次為先進(jìn)制造（持股22.75%）、中科院沈自所（持股16.67%）、科發(fā)實(shí)業(yè)（持股15.77%）、國(guó)科投資（持股10.83%）、國(guó)科瑞祺（持股7.14%）；此外，沈陽(yáng)科投持股2.38%，排名第八大股東。

在芯源微的股東中，中科院沈自所、科發(fā)實(shí)業(yè)以及沈陽(yáng)科投均為帶有“SS”標(biāo)志的國(guó)有股東，國(guó)科投資則為帶有“CS”標(biāo)志的國(guó)有實(shí)際控制股東。其中，中科院沈自所為中國(guó)科學(xué)院舉辦的事業(yè)單位，科發(fā)實(shí)業(yè)是遼寧省國(guó)資委100%實(shí)際控制企業(yè)。

不過(guò)招股書(shū)指出，芯源微股權(quán)較為分散，無(wú)單一股東通過(guò)直接或間接的方式持有公司股權(quán)比例或控制其表決權(quán)超過(guò)30%的情形，各方股東無(wú)法決定董事會(huì)多數(shù)席位或?qū)具M(jìn)行實(shí)際控制，公司無(wú)控股股東和實(shí)際控制人。

涂膠顯影設(shè)備產(chǎn)品打破國(guó)外壟斷

招股書(shū)指出，芯源微先后承擔(dān)并完成了兩項(xiàng)與所處涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域相關(guān)的“02重大專項(xiàng)”項(xiàng)目，其生產(chǎn)的涂膠顯影設(shè)備產(chǎn)品成功打破國(guó)外廠商壟斷并填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。

其中，在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)，芯源微的產(chǎn)品作為國(guó)內(nèi)廠商主流機(jī)型已成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代；在集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)，芯源微成功突破了前道涂膠顯影設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長(zhǎng)江存儲(chǔ)、上海華力等前道芯片制造廠商進(jìn)行工藝驗(yàn)證。

截至2019年3月31日，芯源微的產(chǎn)品已累計(jì)銷(xiāo)售680余臺(tái)套，目前作為主流機(jī)型已成功打入包括臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等在內(nèi)的多家國(guó)內(nèi)知名一線大廠。

此外，芯源微的集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)用涂膠顯影設(shè)備已開(kāi)發(fā)完成，正在長(zhǎng)江存儲(chǔ)、上海華力等前道芯片制造廠商進(jìn)行工藝驗(yàn)證，目前國(guó)內(nèi)該類(lèi)設(shè)備主要被日本東京電子（TEL）所壟斷。其集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)用清洗機(jī)產(chǎn)品也已通過(guò)中芯國(guó)際（深圳廠）工藝驗(yàn)證并成功實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。?

截至2019年3月31日，芯源微獲得專利授權(quán)145項(xiàng)，其中發(fā)明專利127項(xiàng)，擁有軟件著作權(quán)37項(xiàng)。此外，芯源微還先后主持制定了噴膠機(jī)、涂膠機(jī)兩項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)其中噴膠機(jī)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)已正式頒布實(shí)施，涂膠機(jī)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)目前正在審核中。

業(yè)績(jī)方面，2016年度、2017年度、2018年度、2019年1-3月芯源微分別實(shí)現(xiàn)營(yíng)收1.48億元、1.90億元、2.10億元、1030.53萬(wàn)元；歸母凈利潤(rùn)分別為492.85萬(wàn)元、2626.81萬(wàn)元、3047.79萬(wàn)元、-902.52萬(wàn)元。

募資3.78億元，發(fā)力高端晶圓處理設(shè)備

這次申請(qǐng)科創(chuàng)板上市，芯源微擬公開(kāi)發(fā)行股票數(shù)量不超過(guò)2100萬(wàn)股，募集資金3.78億元，本次實(shí)際募集資金扣除發(fā)行費(fèi)用后的凈額計(jì)劃投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以及高端晶圓處理設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目。

高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目占地面積21499.91 m2，規(guī)劃總建筑面積為32125.00 m2，配備生產(chǎn)、研發(fā)、銷(xiāo)售、管理等相關(guān)人員402人，將形成高端晶圓處理設(shè)備（主要包括8/12英寸單晶圓前道涂膠/顯影機(jī)和8/12英寸前道單片式清洗機(jī)等產(chǎn)品）產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)能力，為客戶提供成套高端晶圓處理設(shè)備，充分參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，并形成批量化生產(chǎn)及銷(xiāo)售能力。?

高端晶圓處理設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目則擬在芯源微已掌握技術(shù)的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步加強(qiáng)對(duì)行業(yè)內(nèi)浸沒(méi)光刻匹配的涂膠顯影機(jī)、單片式清洗設(shè)備等高端半導(dǎo)體專用設(shè)備及其相關(guān)技術(shù)進(jìn)行研究。預(yù)計(jì)該項(xiàng)目建成后，將有效提升芯源微在高端半導(dǎo)體專用設(shè)備生產(chǎn)領(lǐng)域的綜合競(jìng)爭(zhēng)力。?

芯源微表示，未來(lái)將緊緊抓住半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的機(jī)遇，不斷提升現(xiàn)有產(chǎn)品的技術(shù)水平和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，持續(xù)深化并拓展與境內(nèi)外客戶的合作；繼續(xù)推進(jìn)包括集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域在內(nèi)的新產(chǎn)品、新技術(shù)的研發(fā)與推廣，深入挖掘潛在的目標(biāo)市場(chǎng)，努力提升市場(chǎng)份額。

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