7月6日，北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）發(fā)布關(guān)于調(diào)整非公開發(fā)行股票方案的公告稱，公司擬對2019年1月4日和1月21日通過的非公開發(fā)行議案進(jìn)行調(diào)整，調(diào)整對象包括發(fā)行對象、發(fā)行數(shù)量、募集資金金額及用途，目前該調(diào)整方案已經(jīng)通過北方華創(chuàng)第六屆董事會(huì)第二十二次會(huì)議審議。

根據(jù)原方案，北方華創(chuàng)擬非公開發(fā)行募集資金總額不超過21億元，發(fā)行對象包括國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司（以下簡稱“國家集成電路基金”）、北京電子控股有限責(zé)任公司（以下簡稱“北京電控”）、北京京國瑞國企改革發(fā)展基金（有限合伙）（以下簡稱“京國瑞基金”）、以及北京集成電路制造和裝備股權(quán)投資中心（有限合伙）（以下簡稱“北京集成電路基金”）。

其中，國家集成電路基金認(rèn)購金額為9.2億元、北京電控認(rèn)購金額為6億元、京國瑞基金認(rèn)購金額為5億元、北京集成電路基金認(rèn)購金額為8000萬元。

扣除發(fā)行費(fèi)用后，本次非公開發(fā)行股票的募集資金總額將全部用于高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以及高精密電子元器件產(chǎn)業(yè)化基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目。

方案調(diào)整前募集資金用途如下：

不過，北方華創(chuàng)最新公告顯示，方案調(diào)整之后，本次非公開發(fā)行募集資金總額不超過20億元，發(fā)行對象也由此前的4名符合中國證監(jiān)會(huì)規(guī)定的特定對象減少至三名，主要包括國家集成電路基金、北京電控、以及京國瑞基金，北京集成電路基金則退出了此次認(rèn)購。

其中，國家集成電路基金認(rèn)購金額為9.1億元、北京電控認(rèn)購金額約5.9億元、京國瑞基金認(rèn)購金額為5億元。

盡管北方華創(chuàng)此次定增對象少了北京集成電路基金成，但定增募資的用途并沒有改變，依然用于投入高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目和高精密電子元器件產(chǎn)業(yè)化基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目。

方案調(diào)整后募集資金用途如下：

其中高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目預(yù)計(jì)總投資20.1億元，擬投入募集資金17.8億元，計(jì)劃為28納米以下集成電路裝備搭建產(chǎn)業(yè)化工藝驗(yàn)證環(huán)境和實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化；建造集成電路裝備創(chuàng)新中心樓及購置5/7納米關(guān)鍵測試設(shè)備和搭建測試驗(yàn)證平臺；開展5/7納米關(guān)鍵集成電路裝備的研發(fā)并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

項(xiàng)目設(shè)計(jì)產(chǎn)能為年產(chǎn)刻蝕裝備30臺、PVD裝備30臺、單片退火裝備15臺、ALD裝備30臺、立式爐裝備30臺、清洗裝備30臺。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)達(dá)產(chǎn)年年平均銷售收入約26.4億元，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)年平均利潤總額約5.4億元。

高精密電子元器件產(chǎn)業(yè)化基地?cái)U(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目預(yù)計(jì)總投資2.4億元，擬投入募集資金2.2億元，項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容包括廠房建設(shè)、生產(chǎn)設(shè)施、輔助動(dòng)力設(shè)施、環(huán)保設(shè)施、安全設(shè)施、消防設(shè)施、管理設(shè)施等。項(xiàng)目設(shè)計(jì)產(chǎn)能為年產(chǎn)模塊電源5.8萬只。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)達(dá)產(chǎn)年年平均銷售收入約1.6億元，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)年平均利潤總額3223萬元。

北方華創(chuàng)表示，通過本次非公開發(fā)行，公司將進(jìn)一步提升現(xiàn)有高端集成電路設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化能力，并將積極布局集成電路設(shè)備的下一代關(guān)鍵技術(shù)，為公司集成電路設(shè)備的持續(xù)技術(shù)升級提供必要條件。

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7月2日，深圳市澄天偉業(yè)科技股份有限公司（以下簡稱“澄天偉業(yè)”）發(fā)布公告稱，擬在寧波慈溪高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)投資研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片承載基帶和半導(dǎo)體芯片項(xiàng)目。澄天偉業(yè)公告指出，公司近日收到與慈溪高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽訂的《投資合作協(xié)議》，就公司在慈溪高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)投資研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片承載基帶和半導(dǎo)體芯片項(xiàng)目的有關(guān)事項(xiàng)達(dá)成協(xié)議。

該項(xiàng)目總投資6.7億元，土地面積：50畝（含現(xiàn)有廠房15,645平方米）。固定資產(chǎn)投資18,700萬元，達(dá)產(chǎn)后年銷售80,565萬元，年畝均稅費(fèi)60萬元以上。此次擬建研發(fā)和生產(chǎn)的半導(dǎo)體芯片承載基帶和半導(dǎo)體芯片，主要應(yīng)用于電信和金融支付領(lǐng)域。主要功能定位包括：技術(shù)和產(chǎn)品研發(fā)，產(chǎn)品生產(chǎn)和供應(yīng)，綜合技術(shù)服務(wù)和行業(yè)供應(yīng)鏈服務(wù)。

澄天偉業(yè)指出，本協(xié)議約定的“研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片承載基帶和半導(dǎo)體芯片項(xiàng)目”實(shí)施主體是全資子公司澄天偉業(yè)(寧波)芯片技術(shù)有限公司，系公司募集資金投資項(xiàng)目“半導(dǎo)體芯片承載基帶及芯片生產(chǎn)項(xiàng)目”,該項(xiàng)目建設(shè)資金來源于公司自有資金、自籌資金及募集資金。

資料顯示，深圳市澄天偉業(yè)科技股份有限公司是一家集智能卡行業(yè)集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)一體的高新技術(shù)企業(yè)，并在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。澄天偉業(yè)指出，公司此次與慈溪高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽訂本協(xié)議，有助于公司與慈溪市實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢互補(bǔ)、互惠互贏、共同發(fā)展的目標(biāo)。本協(xié)議的順利實(shí)施將有利于公司進(jìn)一步延伸公司產(chǎn)業(yè)鏈，優(yōu)化公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，增加公司綜合競爭實(shí)力，為公司持續(xù)穩(wěn)健發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

半導(dǎo)體并購風(fēng)再起！這次輪到全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商美商應(yīng)用材料(Applied Materials Inc)，預(yù)計(jì)將以不高于2,500億日元（約23億美元）的金額，收購日本同業(yè)國際電氣（Kokusai Electric），而該項(xiàng)收購案預(yù)計(jì)將在幾天內(nèi)公布，并且最快2019年底完成。

根據(jù)《日本經(jīng)濟(jì)新聞》的報(bào)導(dǎo)，在目前5G與人工智能當(dāng)紅，全球半導(dǎo)體業(yè)積極開發(fā)相關(guān)芯片的當(dāng)下，為了擴(kuò)大其產(chǎn)品線，應(yīng)用材料決定進(jìn)行收購日本同業(yè)Kokusai Electric的計(jì)劃，藉此以增加許多半導(dǎo)體生產(chǎn)的專門技術(shù)。

不過，應(yīng)用材料曾在2013年提出收購?fù)瑯邮前雽?dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，日本東京威力科創(chuàng)（Tokyo Electron Ltd.）的計(jì)劃，但是那一次的收購引發(fā)了市場壟斷的疑慮，最終撤銷收購計(jì)劃。有了之前的例子，預(yù)計(jì)應(yīng)用材料這次也將會(huì)受到各國反壟斷審查單位的關(guān)注。

報(bào)導(dǎo)進(jìn)一步指出，因?yàn)镵okusai Electric擁有用于薄膜沉積設(shè)備的技術(shù)，這是一種在硅晶圓上添加薄膜以形成電路的技術(shù)，這對于未來生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片時(shí)有很大的提升效果，也是應(yīng)用材料希望能購并Kokusai Electric的原因。而國際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)SEMI表示，預(yù)估到2020年為止，球半導(dǎo)體設(shè)備的市場將達(dá)到584億美元。

另外，Kokusai Electric原本屬于電信設(shè)備制造商Hitachi Kokusai Electric的一部分。2017年私募基金KKR收購了Hitachi Kokusai Electric之后，在隔年將其拆分獨(dú)立成Kokusai Electric。

半導(dǎo)體并購風(fēng)再起！這次輪到全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商美商應(yīng)用材料(Applied Materials Inc)，預(yù)計(jì)將以不高于2,500億日元（約23億美元）的金額，收購日本同業(yè)國際電氣（Kokusai Electric），而該項(xiàng)收購案預(yù)計(jì)將在幾天內(nèi)公布，并且最快2019年底完成。

根據(jù)《日本經(jīng)濟(jì)新聞》的報(bào)導(dǎo)，在目前5G與人工智能當(dāng)紅，全球半導(dǎo)體業(yè)積極開發(fā)相關(guān)芯片的當(dāng)下，為了擴(kuò)大其產(chǎn)品線，應(yīng)用材料決定進(jìn)行收購日本同業(yè)Kokusai Electric的計(jì)劃，藉此以增加許多半導(dǎo)體生產(chǎn)的專門技術(shù)。

不過，應(yīng)用材料曾在2013年提出收購?fù)瑯邮前雽?dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，日本東京威力科創(chuàng)（Tokyo Electron Ltd.）的計(jì)劃，但是那一次的收購引發(fā)了市場壟斷的疑慮，最終撤銷收購計(jì)劃。有了之前的例子，預(yù)計(jì)應(yīng)用材料這次也將會(huì)受到各國反壟斷審查單位的關(guān)注。

報(bào)導(dǎo)進(jìn)一步指出，因?yàn)镵okusai Electric擁有用于薄膜沉積設(shè)備的技術(shù)，這是一種在硅晶圓上添加薄膜以形成電路的技術(shù)，這對于未來生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片時(shí)有很大的提升效果，也是應(yīng)用材料希望能購并Kokusai Electric的原因。而國際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)SEMI表示，預(yù)估到2020年為止，球半導(dǎo)體設(shè)備的市場將達(dá)到584億美元。

另外，Kokusai Electric原本屬于電信設(shè)備制造商Hitachi Kokusai Electric的一部分。2017年私募基金KKR收購了Hitachi Kokusai Electric之后，在隔年將其拆分獨(dú)立成Kokusai Electric。

6月25日，北京燕東微電子科技有限公司（以下簡稱“燕東微電子”）8英寸生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目迎來首臺設(shè)備搬入。

燕東微電子官方消息顯示，6月25日其8英寸生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目現(xiàn)場舉行了首批設(shè)備搬入儀式，北方華創(chuàng)制造的芯片刻蝕機(jī)作為首臺設(shè)備在儀式上搬入廠房，標(biāo)志著燕東8英寸線項(xiàng)目從建設(shè)期向生產(chǎn)運(yùn)營期邁出重要一步，為年底出產(chǎn)2萬片晶圓打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

官網(wǎng)資料顯示，燕東微電子成立于1987年，隸屬北京電子控股有限責(zé)任公司（以下簡稱“北京電控”）旗下，是一家涵蓋集成電路設(shè)計(jì)、制造、銷售于一體的IDM企業(yè)、模擬集成電路及分立器件制造商，已擁有一座月產(chǎn)6英寸晶圓3萬片的制造廠房、一條年產(chǎn)能80億只的超小型塑封生產(chǎn)線、一條年產(chǎn)2.4億只的射頻MCM/SIP集成電路封測生產(chǎn)線。

2016年9月，燕東微電子正式啟動(dòng)8英寸集成電路研發(fā)產(chǎn)業(yè)化及封測平臺建設(shè)項(xiàng)目。該項(xiàng)目總投資48億元，以研發(fā)自主可控的8英寸LCD驅(qū)動(dòng)IC、?LDMOS、IGBT等產(chǎn)品為主要目標(biāo),建成后將形成月產(chǎn)5萬片晶圓芯片、年封裝超過23億只集成電路產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化能力。

2018年6月，燕東微電子8英寸生產(chǎn)線項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)FAB1廠房封頂，同月燕東微電子亦宣布該項(xiàng)目完成融資工作。此次融資完全采用市場化方式，引入了國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、亦莊國投、京國瑞基金等4家外部戰(zhàn)略投資者，共募集資金40億元。

北京電控董事長王巖表示，燕東微電子8英寸線首臺設(shè)備搬入這一工作節(jié)點(diǎn)具有里程碑式的重要意義，而該項(xiàng)目不僅僅對燕東，也對北京電控乃至北京的集成電路發(fā)展都具有十分重要的意義。

近日，北方華創(chuàng)總經(jīng)理趙晉榮，副總經(jīng)理張國銘等接待了上百家投資機(jī)構(gòu)的調(diào)研。

作為國內(nèi)知名的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，近年來北方華創(chuàng)半導(dǎo)體裝備新產(chǎn)品開發(fā)與市場拓展在集成電路、先進(jìn)封裝、LED、新型顯示、光伏等細(xì)分領(lǐng)域均取得了顯著進(jìn)步，以集成電路和先進(jìn)封裝為例。

在集成電路領(lǐng)域，由北方華創(chuàng)自主研發(fā)的14nm等離子硅刻蝕機(jī)、單片退火系統(tǒng)、LPCVD已成功進(jìn)入集成電路主流代工廠；28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD設(shè)備已率先進(jìn)入國際供應(yīng)鏈體系；12英寸清洗機(jī)累計(jì)流片量已突破60萬片大關(guān)；深硅刻蝕設(shè)備也于去年一舉告捷東南亞市場。

北方華創(chuàng)表示，公司多款14nm設(shè)備在生產(chǎn)線評估驗(yàn)證，多款10nm設(shè)備處于研發(fā)中。

在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，北方華創(chuàng)表示，在公司集成電路各細(xì)分領(lǐng)域中，先進(jìn)封裝占比最高，功率器件占比次之，邏輯與存儲(chǔ)等先進(jìn)制程領(lǐng)域占比較低。

據(jù)悉，北方華創(chuàng)應(yīng)用于Bumping制程的Descum設(shè)備于2016年一經(jīng)推出便收獲了市場的積極關(guān)注。此外，目前北方華創(chuàng)微電子開發(fā)的刻蝕機(jī)和PVD設(shè)備已在全球主要先進(jìn)封裝企業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用；先進(jìn)封裝PVD機(jī)臺也在全球CIS封裝企業(yè)中名列前茅；所開發(fā)的TSV刻蝕設(shè)備在大陸地區(qū)最近幾年的新增市場中亦實(shí)現(xiàn)了較高的市場占有率。

盡管邏輯與存儲(chǔ)等先進(jìn)制程在北方華創(chuàng)集成電路領(lǐng)域中占比較較低，但值得注意的是，當(dāng)前國內(nèi)存儲(chǔ)器廠商產(chǎn)能擴(kuò)張?zhí)嵘藢呻娐吩O(shè)備采購，而北方華創(chuàng)已經(jīng)有多款設(shè)備進(jìn)入存儲(chǔ)器生產(chǎn)線應(yīng)用。

對于下游晶圓廠擴(kuò)建的進(jìn)度和規(guī)模預(yù)期，北方華創(chuàng)表示，外資廠在國內(nèi)建線，一般是按原廠設(shè)備拷貝方案進(jìn)行配置，對國產(chǎn)設(shè)備采購比例相對較低；

對于國內(nèi)晶圓廠成熟技術(shù)節(jié)點(diǎn)的擴(kuò)產(chǎn)，由于海外晶圓廠設(shè)備折舊基本完成，導(dǎo)致國內(nèi)廠家成本壓力較大，評估和采購國產(chǎn)設(shè)備的意愿較強(qiáng)；

對于國內(nèi)先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)，能采用多少國產(chǎn)設(shè)備，需要看國產(chǎn)設(shè)備的成熟程度，還需要時(shí)間去突破；

國內(nèi)存儲(chǔ)晶圓廠，初期驗(yàn)證的時(shí)候采用進(jìn)口成熟設(shè)備比例較大，待其技術(shù)突破產(chǎn)能爬坡時(shí)，會(huì)逐步增加國產(chǎn)設(shè)備的配置比例以降低整線采購成本。

北方華創(chuàng)認(rèn)為，存儲(chǔ)器產(chǎn)品工藝單一，追求更低成本，不受設(shè)計(jì)公司約束，因此比較適合國產(chǎn)廠商切入。

北方華創(chuàng)預(yù)期，公司元器件業(yè)務(wù)將保持平穩(wěn)增長；電子專用設(shè)備業(yè)務(wù)總體保持增長態(tài)勢，其中鋰電設(shè)備領(lǐng)域競爭比較激烈，增幅較小；真空設(shè)備，受到客戶擴(kuò)產(chǎn)影響，業(yè)務(wù)量應(yīng)該和去年相仿；LED設(shè)備，最近行業(yè)擴(kuò)產(chǎn)明顯放緩，后續(xù)隨著新技術(shù)出現(xiàn)，可能帶來機(jī)會(huì)；光伏設(shè)備發(fā)展勢頭良好，訂單增長將較快；集成電路設(shè)備，總體保持增長。

日前，華虹半導(dǎo)體（無錫）有限公司12英寸生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目（以下簡稱“華虹無錫項(xiàng)目”）迎來了首臺工藝設(shè)備搬入。根據(jù)計(jì)劃，該項(xiàng)目將于6月5日進(jìn)行首批光刻機(jī)搬入，這將是整個(gè)項(xiàng)目建設(shè)新的里程。

華虹無錫項(xiàng)目聯(lián)合體總包單位十一科技官方消息顯示，5月24日，華虹無錫項(xiàng)目舉行第十一次推進(jìn)會(huì)暨首臺工藝設(shè)備搬入儀式，并進(jìn)行了華虹七廠授牌儀式。

值得一提的是，華虹宏力總裁、黨委書記唐均君提到，華虹無錫項(xiàng)目將于6月5日迎來首批光刻機(jī)搬入，“在項(xiàng)目建設(shè)新的里程——6月5日光刻機(jī)搬入后，整個(gè)項(xiàng)目即將達(dá)到新的高度?！?/p>

華虹無錫的第一臺設(shè)備正式搬入標(biāo)志著華虹無錫項(xiàng)目進(jìn)入一個(gè)新階段，為6月5日光刻機(jī)的搬入奠定了基礎(chǔ)。

根據(jù)此前官方介紹，華虹無錫項(xiàng)目占地約700畝，總投資100億美元，一期投資25億美元，新建一條工藝等級90～65納米、月產(chǎn)能約4萬片的12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線，支持5G和物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的應(yīng)用。

該項(xiàng)目于2018年3月正式開工建設(shè)，計(jì)劃將于2019年上半年完成土建施工，下半年完成凈化廠房建設(shè)和動(dòng)力機(jī)電設(shè)備安裝、通線并逐步實(shí)現(xiàn)達(dá)產(chǎn)。自開建以來，華虹無錫項(xiàng)目一直加速前進(jìn)，主要工程節(jié)點(diǎn)均提前完成。

今年3月，華虹半導(dǎo)體在其年報(bào)上表示，華虹無錫已于2018年底主體結(jié)構(gòu)全面封頂，預(yù)計(jì)將于2019年第二季度末完成廠房和潔凈室的建設(shè)，下半年開始搬入設(shè)備，并于2019年第四季度開始300mm晶圓的量產(chǎn)。

如今首臺設(shè)備已搬入，在時(shí)間上較計(jì)劃又有所提前，項(xiàng)目推進(jìn)看來頗為順利。隨著接下來下個(gè)月首批光刻機(jī)的搬入，如無意外，華虹無錫項(xiàng)目很快將迎來量產(chǎn)，業(yè)業(yè)界預(yù)計(jì)設(shè)備搬入后3個(gè)月左右。

據(jù)悉，為加快實(shí)現(xiàn)華虹無錫的順利投產(chǎn)、風(fēng)險(xiǎn)量產(chǎn)和上量，華虹半導(dǎo)體在2018年啟動(dòng)了55nm邏輯工藝及相關(guān)IP的研發(fā)，預(yù)計(jì)2019年下半年開始導(dǎo)入客戶，同時(shí)開始研發(fā)55納米嵌入式閃存工藝的存儲(chǔ)單元，功能驗(yàn)證已通過，為未來55納米嵌入式閃存技術(shù)量產(chǎn)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

對于華虹半導(dǎo)體來說，華虹無錫的量產(chǎn)意義重大，將是其產(chǎn)能的升級以及發(fā)展的新階段、新里程碑。某不具名業(yè)內(nèi)人士分析認(rèn)為，目前華虹的產(chǎn)能已然滿產(chǎn)，如今正值國產(chǎn)替代化大潮將至，華虹無錫帶來的產(chǎn)能將有望解其產(chǎn)能燃眉之急以及提升競爭力。

上述業(yè)內(nèi)人士還指出，由于下游需求的快速增長，8英寸產(chǎn)能已經(jīng)連續(xù)多季處于供應(yīng)緊張的狀態(tài)，在目前8吋產(chǎn)線由于設(shè)備較少新開和擴(kuò)建難度較大的情況下，8英寸產(chǎn)品或?qū)⒓铀傧?2英寸轉(zhuǎn)移，同時(shí)12英寸的經(jīng)濟(jì)效應(yīng)也比8英寸好、單顆成本更低。

隨著國內(nèi)2015年以來新建的8英寸和12英寸特色工藝產(chǎn)線如華虹無錫項(xiàng)目等相繼投產(chǎn)，相關(guān)產(chǎn)品晶圓制造產(chǎn)能供應(yīng)緊張的局面會(huì)得到緩解。

5月7日，至純科技發(fā)布《公開發(fā)行A股可轉(zhuǎn)換公司債券預(yù)案》，擬公開發(fā)行總額不超過人民幣3.56億元的可轉(zhuǎn)換公司債券，募集資金投資建設(shè)半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項(xiàng)目和晶圓再生基地項(xiàng)目。

根據(jù)可行性分析報(bào)告，半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項(xiàng)目計(jì)劃投資總額1.8億元，擬投入募集資金金額1.2億元。該項(xiàng)目主要開展批次式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備和單片式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備的生產(chǎn)制造，建設(shè)周期為2年，達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)批次式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備30臺，單片式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備10臺的生產(chǎn)能力。

據(jù)介紹，濕法清洗是芯片制造過程中最頻繁的步驟，通過化學(xué)藥液或去離子水去除制造過程中的顆粒、自然氧化層、有機(jī)物、金屬污染、拋光殘留物等物質(zhì)。

晶圓再生基地項(xiàng)目計(jì)劃投資總額為3.2億元，擬投入募集資金金額2.36億元，建設(shè)內(nèi)容主要包括生產(chǎn)車間建設(shè)及設(shè)備購置。該項(xiàng)目主要開展再生晶圓的加工服務(wù)，建設(shè)周期為2年，達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)12英寸硅再生晶圓168萬片的產(chǎn)出能力。

晶圓再生是對晶圓制程所需測試片和擋控片進(jìn)行回收加工，使得晶圓能循環(huán)再利用。晶圓廠為縮減成本通常會(huì)將使用過的控片、擋片委托給開展晶圓再生服務(wù)的外部公司進(jìn)行加工，實(shí)現(xiàn)其循環(huán)再利用。

資料顯示，至純科技長期從事于提供高純工藝系統(tǒng)的整體解決方案，主要產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。2015年，至純科技開始濕法工藝設(shè)備的研發(fā)，并于2017年成立半導(dǎo)體濕法事業(yè)部，致力于打造高端濕法設(shè)備制造開發(fā)平臺。

至純科技分析認(rèn)為，我國不斷新建并逐步投產(chǎn)的晶圓廠拉動(dòng)了對半導(dǎo)體清洗設(shè)備需求的強(qiáng)勁增長，該市場規(guī)模存在著廣闊的發(fā)展空間；基于降低不必要的損耗以及減少運(yùn)輸在途時(shí)間考慮，晶圓廠通常優(yōu)先選擇本地供應(yīng)商，進(jìn)一步刺激了國內(nèi)晶圓再生市場的持續(xù)增長，我國晶圓再生的市場規(guī)模亦較為可觀。

由于缺乏相關(guān)工藝技術(shù)，目前半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造及晶圓再生的國產(chǎn)化率較低，產(chǎn)業(yè)替代市場空間廣闊。隨著國家對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的各項(xiàng)政策順利落地實(shí)施，越來越多資本將逐漸參與到半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造及晶圓再生服務(wù)領(lǐng)域，彌補(bǔ)市場空缺。

近日，中國電科黨組成員、副總經(jīng)理黃興東一行來到湖南長沙高新區(qū)調(diào)研。他們實(shí)地走訪了集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗(yàn)證平臺項(xiàng)目現(xiàn)場，了解項(xiàng)目建設(shè)情況。電科裝備副總經(jīng)理、48所所長龔杰洪，長沙高新區(qū)黨工委書記周慶年、管委會(huì)副主任陳大慶參加調(diào)研。

集成電路是國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的先導(dǎo)性、支柱性產(chǎn)業(yè)，近年來我國集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了快速發(fā)展。集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗(yàn)證平臺項(xiàng)目，位于青山路與雷高路交會(huì)處的東北角，占地183畝，總建筑面積為12.7萬平方米，總投資25億元。

該項(xiàng)目于2018年11月28日開工建設(shè)，主要建設(shè)一條8英寸集成電路裝備驗(yàn)證工藝線，打造國家集成電路裝備創(chuàng)新中心，建立并提供裝備技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。該項(xiàng)目建成后將為國內(nèi)提供標(biāo)準(zhǔn)化集成電路裝備，并為軍民用芯片提供可信代工。據(jù)了解，該項(xiàng)目主要成果為集成電路裝備、整線集成和軍民用芯片。

據(jù)該項(xiàng)目建設(shè)方介紹，集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗(yàn)證平臺項(xiàng)目將在2021年竣工并投產(chǎn)，達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)年產(chǎn)值超過10億元，年創(chuàng)稅收1.2億元。