工商信息顯示，6月22日，上海聚源聚芯集成電路產(chǎn)業(yè)股權(quán)投資基金中心（有限合伙）（以下簡稱“聚源聚芯”）新增投資盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司。

據(jù)悉，聚源聚芯成立于2016年，其股東包括國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司持股（45.09%）、上海榮芯投資管理合伙企業(yè)（有限合伙）（22.6%）、上海肇芯投資管理中心（有限合伙）（0.68%）、中芯晶圓股權(quán)投資（寧波）有限公司（31.63%）。

目前，聚源聚芯的對外投資企業(yè)達到30家，包括得一微電子、東微半導(dǎo)體、東芯半導(dǎo)體、世紀(jì)金光、杰華特微電子、芯碁微裝、南芯半導(dǎo)體等。

官網(wǎng)顯示，盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司（Semiconductor Global Solutions）由國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金下屬芯鑫租賃（Sino-IC Leasing）、中芯控股（SMIC holding）、韓國Triplecores及芯空間(IC SPACE)共同出資打造，于2018年落戶寧波鄞州。盛吉盛主要從事二手半導(dǎo)體設(shè)備及配件的翻新、改造、安裝、維護及銷售；半導(dǎo)體設(shè)備的開發(fā)，生產(chǎn)及銷售；盛吉盛專注于半導(dǎo)體新設(shè)備的開發(fā)和銷售，并提供半導(dǎo)體制造相關(guān)的備件和技術(shù)服務(wù)，以及持續(xù)改善計劃。

6月21日，蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司（以下簡稱“天準(zhǔn)科技”）發(fā)布公告稱，擬以自有資金或依法籌措的資金，受讓DeutscheEffecten- und Wechsel-Beteiligungsgesellschaft AG公司和Ralph Detert先生合計持有的MueTec Automated Microscopy and Messtechnik GmbH公司(以下簡稱“MueTec公司”)的100%股權(quán)。

根據(jù)公告，天準(zhǔn)科技擬以18,189,203.00歐元的交易價格，通過在德國設(shè)立的全資子公司SLSS Europe GmbH為收購主體，受讓MueTec公司100%股權(quán)，并受讓標(biāo)的公司債權(quán)人的債權(quán)200.00萬歐元。

根據(jù)公告，MueTec公司注冊資本50萬歐元，成立于1991年，主營業(yè)務(wù)系為半導(dǎo)體領(lǐng)域的制造廠商提供針對晶圓類產(chǎn)品的高精度光學(xué)檢測和測量設(shè)備。2018年、2019年MueTec公司實現(xiàn)的凈利潤分別為62.9萬歐元、62.2萬歐元。

天準(zhǔn)科技表示，半導(dǎo)體行業(yè)是一個高速發(fā)展的行業(yè)，其中的半導(dǎo)體檢測設(shè)備有著巨大的市場空間，開拓半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域的業(yè)務(wù)，對于公司具有重要意義。標(biāo)的公司主營業(yè)務(wù)是面向半導(dǎo)體領(lǐng)域的制造廠商，為其提供針對晶圓類產(chǎn)品的高精度光學(xué)檢測和測量設(shè)備，擁有多年服務(wù)于半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶的經(jīng)驗，擁有的技術(shù)及產(chǎn)品可對公司形成有益的補充，幫助公司縮短進入半導(dǎo)體領(lǐng)域的周期，減少不確定性，以更快地為公司形成新的業(yè)績增長點。

6月18日，從電科裝備旗下爍科中科信公司傳來喜訊，公司研發(fā)的12英寸中束流離子注入機順利發(fā)往某集成電路大產(chǎn)線，這臺由客戶直接采購的設(shè)備如期交付，標(biāo)志著公司國產(chǎn)離子注入機市場化進程再上新臺階。

據(jù)介紹，離子注入機是將特定種類離子以指定參數(shù)注入至特定材料中的一種設(shè)備，執(zhí)行的是核心的摻雜工藝。半導(dǎo)體要做成器件，要改變電性能，必須摻入雜質(zhì)，離子注入機就是執(zhí)行摻雜工藝的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備?！懊恳粋€器件生產(chǎn)過程中，需要進行很多次離子注入，注入到器件不同的位置，注入的次數(shù)對于不同器件類型和工藝節(jié)點有差異，例如對于28nm邏輯器件，注入次數(shù)約為40次?！睜q科中科信公司技術(shù)總監(jiān)張叢介紹說。

目前，國內(nèi)集成電路離子注入設(shè)備市場幾乎被國外壟斷，國產(chǎn)設(shè)備市場份額小，爍科中科信是我國目前唯一的一家全系列集成電路離子注入機集研發(fā)、制造、服務(wù)于一體的供應(yīng)商。在研發(fā)過程中，研發(fā)團隊攻克了光路、晶圓傳輸、劑量控制、通用軟件系統(tǒng)等離子注入機共性關(guān)鍵技術(shù)。中束流離子注入機突破了高精度束流角度控制、小發(fā)射度長壽命離子源等關(guān)鍵技術(shù)，大束流離子注入機則進一步突破了低能大流強束流傳輸與控制、支持十余種離子的大流強長壽命離子源等關(guān)鍵技術(shù)，高能離子注入機在高能（MeV）離子加速、高電荷態(tài)離子源等關(guān)鍵技術(shù)上實現(xiàn)了突破。

追平主流只是開始，成體系實現(xiàn)國產(chǎn)替代才是目標(biāo)。“爍科中科信公司已形成全系列離子注入機產(chǎn)品體系，建立了符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求的離子注入機產(chǎn)業(yè)化平臺，年產(chǎn)能達30臺，公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于全球知名芯片制造企業(yè)，并獲客戶高度認(rèn)可?！睆垍舱f，公司自主研制的離子注入機系列產(chǎn)品還斬獲了北京市科學(xué)技術(shù)進步一等獎等多項榮譽，在客戶產(chǎn)線上累計跑片650萬片，穩(wěn)定支撐了客戶量產(chǎn)。除此之外，還建立了一支專業(yè)化的售后服務(wù)團隊，實行7×24小時響應(yīng)機制，持續(xù)提升客戶體驗，加速國產(chǎn)化進程。

公司負責(zé)人說，將進一步圍繞攻克核心關(guān)鍵技術(shù)持續(xù)發(fā)力，推進中束流和大束流離子注入機產(chǎn)業(yè)化，同時，緊跟先進工藝發(fā)展，開展適用于更先進工藝節(jié)點的離子注入機的研發(fā)工作，并不斷拓展離子注入機在新興領(lǐng)域的應(yīng)用。

半導(dǎo)體裝備制造業(yè)是為我國集成電路和半導(dǎo)體器件行業(yè)提供工藝裝備的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，是提升我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造能力的高端裝備制造產(chǎn)業(yè)，也是國家支持的重大技術(shù)裝備產(chǎn)業(yè)。中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會常務(wù)副秘書長金存忠向《中國電子報》記者表示，目前我國光伏設(shè)備以及LED設(shè)備目前已經(jīng)基本上全面本土化，集成電路設(shè)備目前相比較而言依賴于進口較多。如今，如何快速發(fā)展本土半導(dǎo)體設(shè)備也成為人們關(guān)注的焦點。

中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)繼續(xù)保持快速增長

半導(dǎo)體設(shè)備主要包括集成電路設(shè)備、光伏設(shè)備、LED設(shè)備和分立器件設(shè)備。近年來，中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，市場規(guī)模逐步擴大。據(jù)金存忠介紹，在2019年，中國半導(dǎo)體設(shè)備繼續(xù)保持快速增長，根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會對國內(nèi)47家規(guī)模以上（半導(dǎo)體設(shè)備年銷售收入500萬元以上）半導(dǎo)體設(shè)備制造商2019年完成的主要經(jīng)濟指標(biāo)統(tǒng)計顯示：半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入完成161.82億元，同比增長30％；半導(dǎo)體設(shè)備出口交貨值完成16.35億元，同比增長2.6%；半導(dǎo)體設(shè)備制造商實現(xiàn)總利潤（含所有產(chǎn)品）27.13億元，同比增長26.7%。此外，2016年—2019年中國半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入年均增長41.3％，實現(xiàn)總利潤年均增長23.5％，出口交貨值年均增長27.8％。

此外，目前我國集成電路和光伏設(shè)備訂單增長較快，在2019年訂單基本處于飽和狀態(tài)的基礎(chǔ)上，今年上半年依然保持良好。同時，SEMI數(shù)據(jù)顯示，2019年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達到134.5億美元，占比全球半導(dǎo)體設(shè)備市場的22.5%，位居全球第二。此外，在2019年整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)萎縮、全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額下降7%的大背景下，中國半導(dǎo)體設(shè)備市場需求仍然保持3%的增長?？梢娭袊雽?dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模之龐大。

高端設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨三大問題

與此同時，由于集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)具備極高的門檻和壁壘，國產(chǎn)集成電路設(shè)備依然面臨著種種挑戰(zhàn)。金存忠介紹，目前中國集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)主要面臨著三大問題。首先，目前國產(chǎn)集成電路設(shè)備市場占有率較低。2019年中國集成電路設(shè)備在中國大陸市場占有率僅為10%左右。

其次，中國集成電路晶圓生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備（如光刻機）仍需依賴于進口，14nm制程國產(chǎn)集成電路晶圓生產(chǎn)設(shè)備2019年剛剛進入產(chǎn)線量產(chǎn)，落后2019年國際先進的5納米量產(chǎn)生產(chǎn)線設(shè)備二代以上。此外，一些已進入晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備中，有些設(shè)備與國際同類設(shè)備相比依然存在差距。

最后，目前國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵部件本地化進程緩慢，進口依賴度較大，集成電路晶圓生產(chǎn)設(shè)備關(guān)鍵部件進口額占設(shè)備銷售額的30%～40%。例如，干泵、分子泵、機械手（潔凈、真空）、高溫加熱裝置（溫控器）、射頻電源、真空閥門等。

產(chǎn)業(yè)處于較好市場環(huán)境 廠商將提速擴產(chǎn)

然而，隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造能力的提升，在一些問題逐漸迎刃而解的同時也迎來很多新的發(fā)展機遇。金存忠認(rèn)為，2019年國產(chǎn)集成電路晶圓生產(chǎn)線設(shè)備產(chǎn)業(yè)化發(fā)展迅速，集成電路晶圓生產(chǎn)線主要核心工藝設(shè)備已達到14納米量產(chǎn)水平，并且，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司研制的5納米等離子體刻蝕機也通過了生產(chǎn)線的驗證。據(jù)預(yù)計，2020年國產(chǎn)集成電路設(shè)備銷售收入將增長50%左右。

其次，平價上網(wǎng)的到來給太陽能電池設(shè)備也帶了很多新的發(fā)展機遇。2019年是太陽能發(fā)電平價上網(wǎng)的元年，先進的PRCE晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設(shè)備受到市場的追捧成為光伏企業(yè)擴產(chǎn)的首選，全自動、智能化、大產(chǎn)能單晶硅生長和切片設(shè)備銷售也得到快速增長。2019年國產(chǎn)太陽能電池片生產(chǎn)設(shè)備銷售收入將繼續(xù)保持增長態(tài)勢，同比增長40%。

最后，金存忠預(yù)測，盡管受疫情影響，2020年第一季度半導(dǎo)體設(shè)備銷售情況一般，但是集成電路設(shè)備和太陽能電池片制造設(shè)備市場增長趨勢沒有改變，預(yù)計2020年中國主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入將達200億元左右，同比增長20%左右。此外，金存忠認(rèn)為，2020年國內(nèi)集成電路設(shè)備行業(yè)將處于較好的市場環(huán)境，中國大陸本土集成電路晶圓廠將擴產(chǎn)提速，國產(chǎn)裝備將在2020年進入較快發(fā)展時期。預(yù)計2020年集成電路生產(chǎn)設(shè)備將增長30%左右，銷售收入將超過太陽能電池片生產(chǎn)設(shè)備，達到90億元以上。

6月16日，萬業(yè)企業(yè)對上交所就2019年年度報告問詢函進行了回復(fù)，進一步說明公司向集成電路領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的實施情況及產(chǎn)品進展等內(nèi)容。

公告顯示，為提高離子注入機設(shè)備的市場競爭力，凱世通本期開發(fā)的新一代iPV6000光伏離子注入機首臺設(shè)備已在公司組裝并完成初步調(diào)試（即產(chǎn)品下線），目前已進入驗證階段，在客戶工藝產(chǎn)線上進行調(diào)試，待設(shè)備在客戶生產(chǎn)端環(huán)境下滿足客戶產(chǎn)能和質(zhì)量等多項指標(biāo)后，方可完成驗證。

關(guān)于集成電路離子注入機業(yè)務(wù)，萬業(yè)企業(yè)表示，公司收購凱世通后，對集成電路離子注入機的產(chǎn)品定位提出更高要求。凱世通在集成電路領(lǐng)域積極開拓其他業(yè)務(wù)合作伙伴，后續(xù)成功拓展了臺灣主要前道設(shè)備供應(yīng)商，并取得離子注入平臺業(yè)務(wù)訂單，國內(nèi)重要的12英寸晶圓芯片制造廠也啟動了對凱世通集成電路離子注入設(shè)備的認(rèn)證程序。

針對目前集成電路離子注入機業(yè)務(wù)的在手訂單情況，萬業(yè)企業(yè)回復(fù)稱，鑒于目前的國內(nèi)和國際形勢，國產(chǎn)化需求相當(dāng)迫切，國內(nèi)集成電路制造廠正在盡可能采購國內(nèi)設(shè)備，凱世通的集成電路低能大束流離子注入機國內(nèi)市場需求未來會較大。目前國內(nèi)一家重要的12英寸晶圓芯片制造廠與一家存儲器芯片設(shè)計制造廠正在評估凱世通集成電路設(shè)備。

凱世通在集成電路離子注入機業(yè)務(wù)的在手訂單有：2018年與韓國客戶簽署的一臺設(shè)備訂單，與一家國內(nèi)存儲芯片公司簽訂一臺設(shè)備訂單?，F(xiàn)有的在手訂單毛利率有限，但諸多潛在交易對手方都在等待凱世通β機的驗證結(jié)果，一旦驗證結(jié)果符合要求，將填補國內(nèi)技術(shù)空白，建立較高技術(shù)壁壘，對國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)而言，從國產(chǎn)化率和市場規(guī)模等方向判斷，凱世通未來具有較好的成長性。

萬業(yè)企業(yè)表示，凱世通已明確其發(fā)展重心為集成電路離子注入機，“Finfet集成電路離子注入機項目”的研發(fā)成果是公司未來集成電路離子注入機產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)，完成上述研發(fā)項目能夠為公司帶來經(jīng)濟利益。萬業(yè)企業(yè)表示，目前，凱世通Finfet集成電路離子注入機項目所形成的離子注入機已順利進入離子注入晶圓驗證階段。

近期，光刻機的相關(guān)消息鋪天蓋地，在國際貿(mào)易摩擦反復(fù)無常的環(huán)境背景下，業(yè)界對于仍處處受制于他國的光刻機設(shè)備格外關(guān)注。

據(jù)了解，光刻機是通過光學(xué)系統(tǒng)將光掩模版上設(shè)計好的集成電路圖形印制到硅襯底的感光材料上，實現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移，根據(jù)應(yīng)用工序不同，光刻機可以用于集成電路的制造環(huán)節(jié)和封裝環(huán)節(jié)，其中用于封裝環(huán)節(jié)的光刻機在技術(shù)門檻上低于用于制造環(huán)節(jié)的光刻機。

在制造環(huán)節(jié)中，光刻工藝流程決定了芯片的工藝精度及性能水平，對光刻機的技術(shù)要求十分苛刻，因此光刻機也是集成電路制造中技術(shù)門檻最高、價格最昂貴的核心設(shè)備，被譽為集成電路產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠。

01

美日荷光刻機競逐賽

在過去數(shù)十年間，光刻機不斷發(fā)展演進同時推動了集成電路制造工藝不斷發(fā)展演進，集成電路的飛速發(fā)展，光刻技術(shù)起到了極為關(guān)鍵的作用，兩者相輔相成，因而自1947年貝爾實驗室發(fā)明點觸式晶體管，光刻機技術(shù)亦已具備發(fā)展土壤。

光刻機最初從美國發(fā)展起來。1959年，仙童半導(dǎo)體研制出全球首臺“步進重復(fù)”相機，使用光刻技術(shù)在單個晶圓片上制造了許多相同的硅晶體管。20世紀(jì)60年代末，日本企業(yè)尼康和佳能開始進入光刻機領(lǐng)域并逐步崛起，但70年代主要是美國公司的競逐賽。

70年代初，美國Kasper公司推出接觸式光刻設(shè)備；1973年，Perkin Elmer公司推出了投影式光刻系統(tǒng)并迅速占領(lǐng)市場，在一段時間里處于主導(dǎo)地位；1978年，GCA公司推出了真正現(xiàn)代意義的自動化步進式光刻機（Stepper），但產(chǎn)量效率相對較低。

80年代日本企業(yè)開始發(fā)力，尼康推出首臺商用Stepper NSR-1010G，隨后尼康一度占據(jù)光刻機過半市場份額，佳能亦在市場上占有一席之地。值得一提的是，1984年4月，飛利浦與荷蘭公司ASMI正式合資成立ASML，ASML脫胎于飛利浦光刻設(shè)備研發(fā)小組，該小組于1973年已推出其新型光刻設(shè)備。

80年代末到90年代，美國初代光刻機公司走向衰落，GCA被收購后關(guān)閉、Perkin Elmer光刻部也被出售，日企尼康處于市場主導(dǎo)地位。同時，ASML亦在逐步發(fā)展，1991年推出了PAS 5000光刻機；1995年，ASML在阿姆斯特丹和納斯達克交易所上市。

進入21世紀(jì)，ASML強勢崛起。2000年，ASML推出其首臺Twinscan系統(tǒng)光刻機；隨后，ASML相繼發(fā)布首臺量產(chǎn)浸入式設(shè)備TWINSCAN XT:1700i、首臺193nm浸入式設(shè)備TWINSCAN XT:1900i，一舉力壓尼康、佳能成為全球光刻機市場新霸主。

如今，ASML已成為全球光刻機領(lǐng)域的絕對龍頭企業(yè)，壟斷高端EUV（極紫外）光刻機市場，是全球唯一一家可提供EUV光刻機的企業(yè)。

02

國產(chǎn)光刻機攻關(guān)歷程

在歐美日光刻機市場風(fēng)云變幻的數(shù)十年間，我國也在通過各種努力研制國產(chǎn)光刻機設(shè)備。據(jù)了解，20世紀(jì)70年代我國就開始有清華大學(xué)精密儀器系、中科院光電技術(shù)研究所、中電科四十五所等機構(gòu)投入光刻機設(shè)備研制。

除了上述提及的高校/科研單位，國內(nèi)從事光刻機及相關(guān)研究生產(chǎn)的企業(yè)/單位還有上海微電子裝備、中科院長春光機所、合肥芯碩半導(dǎo)體、江蘇影速集成電路裝備，以及光刻機雙工件臺系統(tǒng)企業(yè)北京華卓精科等。

2001年，國務(wù)院正式批準(zhǔn)在“十五”期間繼續(xù)實施國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃（863計劃），國家科技部和上海市于2002年共同推動成立上海微電子裝備公司，承擔(dān)國家“863計劃”項目研發(fā)100nm高端光刻機。據(jù)悉，中電科四十五所當(dāng)時將其從事分步投影光刻機團隊整體遷至上海參與其中。

2006年，國務(wù)院發(fā)布《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）》確定發(fā)展16個重大專項，其中包括“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（02專項）。2008年，國務(wù)院批準(zhǔn)實施02專項，200多家企事業(yè)單位和2萬多名科研人員參與攻關(guān)，其中EUV光刻技術(shù)列被為“32-22nm裝備技術(shù)前瞻性研究”重要攻關(guān)任務(wù)。

當(dāng)時，中科院長春光機所作為牽頭單位，聯(lián)合中科院光電技術(shù)研究所、中科院上海光學(xué)精密機械研究所、中科院微電子研究所、北京理工大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、華中科技大學(xué)，承擔(dān)“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項目研究工作。

隨后，清華大學(xué)牽頭，聯(lián)合華中科技大學(xué)、上海微電子裝備和成都工具所承擔(dān)02專項“光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機研發(fā)”，以研制光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機為目標(biāo)，力爭為研發(fā)65-28nm雙工件臺干式及浸沒式光刻機提供具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品級技術(shù)。

可見，在國產(chǎn)光刻機研發(fā)歷程上，國家在政策上予以支持，并動員了高校、科研機構(gòu)、企業(yè)等科技力量共同進行技術(shù)攻關(guān)。

03

階段性突破與差距

歷經(jīng)多年努力過，那么國產(chǎn)光刻機研發(fā)方面有何成果？與國際先進水平還有多大差距？

2016年4月，清華大學(xué)牽頭的02專項“光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機研發(fā)”項目成功通過驗收，標(biāo)志中國在雙工件臺系統(tǒng)上取得技術(shù)突破。

2017年6月，中科院長春光機所牽頭的02專項“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項目通過驗收，該項目成功研制了波像差優(yōu)于0.75 nm RMS的兩鏡EUV光刻物鏡系統(tǒng)，構(gòu)建了EUV光刻曝光裝置，國內(nèi)首次獲得EUV投影光刻32 nm線寬的光刻膠曝光圖形。

2018年11月，中科院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的“超分辨光刻裝備研制”項目通過驗收，該裝備在365nm光源波長下，單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，項目在原理上突破分辨力衍射極限，建立了一條高分辨、大面積的納米光刻裝備研發(fā)新路線……

然而，盡管多個光刻機項目取得成果并通過驗收，這些技術(shù)在助力國產(chǎn)光刻機發(fā)展突破上也起到重要作用，但真正實現(xiàn)量產(chǎn)并應(yīng)用于生產(chǎn)線上卻又是另一回事，如上述超分辨光刻裝備要想應(yīng)用于芯片生產(chǎn)還需要攻克一系列技術(shù)難關(guān)，距離國際先進水平還相當(dāng)遙遠。目前，上海微電子裝備的90nm光刻機仍代表著國產(chǎn)光刻機最高水平。

據(jù)了解，隨著光源的改進和工藝的創(chuàng)新，光刻機已經(jīng)歷了五代產(chǎn)品的更新替代。第一代為光源g-Line，波長436nm，最小工藝節(jié)點0.8-0.25微米；第二代為光源i-Line、波長365nm，最小工藝節(jié)點0.8-0.25微米；第三代為光源KrF、波長248nm，最小工藝節(jié)點180-130nm；第四代為光源ArF、波長193nm，最小工藝節(jié)點45-22nm；第五代為光源EUV、波長13.5nm，最小工藝節(jié)點22-7nm。

第五代EUV光刻機是目前全球光刻機最先進水平，ASML是唯一一家可量產(chǎn)EUV光刻機的廠商。財報資料顯示，2019年ASML出售了26臺EUV光刻機，主要用于臺積電、三星的7nm及今年開始量產(chǎn)的5nm工藝。近期媒體報道稱，目前ASML正在研發(fā)新一代EUV光刻機，主要面向3nm制程，最快將于2021年問世。

日本企業(yè)尼康方面，官網(wǎng)顯示其最新的光刻機產(chǎn)品為ArF液浸式掃描光刻機NSR-S635E，搭載高性能對準(zhǔn)站inline Alignment Station（iAS），曝光光源ArF excimer laser、波長193nm，分辨率≦38nm，官方介紹稱這款光刻機“專為5nm工藝制程量產(chǎn)而開發(fā)”。

而上海微電子裝備方面，官網(wǎng)顯示其目前量產(chǎn)的光刻機包括200系列光刻機（TFT曝光）、300系列光刻機（LED、MEMS、Power Devices制造）、500系列光刻機（IC后道先進封裝）、600系列光刻機（IC前道制造）。其中，用于IC前道制造用的600系列光刻機共有3款，性能最好的是SSA600/20，曝光光源ArF excimer laser、分辨率90nm。

相較于ASML的EUV光刻機，上海微電子裝備的90nm光刻機無疑落后了多個世代，與尼康相比亦有所落后；再者，目前國內(nèi)晶圓代工廠龍頭企業(yè)中芯國際已可量產(chǎn)14nm制程工藝，根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備要超前半導(dǎo)體產(chǎn)品制造開發(fā)新一代產(chǎn)品的規(guī)律，90nm光刻機已遠不能滿足國內(nèi)晶圓制造的需求。

不過值得一提的是，近期有媒體報道稱，上海微電子裝備披露將于年底量產(chǎn)28nm的immersion式光刻機，在2021年至2022年交付國產(chǎn)第一臺SSA/800-10W光刻機設(shè)備。雖然業(yè)界對此消息頗有爭議，但若該消息屬實，那對于國產(chǎn)光刻機而言不得不說是一重大突破。

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迎來發(fā)展好時代？

由于技術(shù)嚴(yán)重落后于國際先進水平，國內(nèi)光刻機市場長期被ASML、尼康、佳能等企業(yè)所占據(jù)，但隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展，國產(chǎn)光刻機迎來發(fā)展機遇。

近年來，全球半導(dǎo)體產(chǎn)能向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線不斷擴產(chǎn)或新增，成為全球新建晶圓廠最積極的地區(qū)，為國產(chǎn)設(shè)備提供了巨大的市場空間。根據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)信息，長江存儲、華虹無錫等近年新建晶圓廠招標(biāo)設(shè)備國產(chǎn)化率已顯著提升，包括北方華創(chuàng)、中微公司、屹唐半導(dǎo)體等企業(yè)均有中標(biāo)。

再者，過去兩年國際貿(mào)易摩擦態(tài)勢反復(fù)，美國對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)限制愈加嚴(yán)格。

在此環(huán)境背景下，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代迫在眉睫，國家高度重視和大力支持行業(yè)發(fā)展，相繼出臺了多項政策，推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和加速國產(chǎn)化進程，國產(chǎn)光刻機的發(fā)展情況更是受到了業(yè)界重點關(guān)注。國家的重視與支持以及產(chǎn)業(yè)與市場的迫切需求，將有望促使國產(chǎn)光刻機加快發(fā)展步伐。

還有一個較好的發(fā)展勢頭是在資金方面。半導(dǎo)體設(shè)備投資周期長、研發(fā)投入大，是典型的資本密集型行業(yè)，尤其是光刻機領(lǐng)域。此前，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的主要資金來源于股東投入與政府支持，融資渠道單一，近年來國家大基金、地方性投資基金及民間資本以市場化的投資方式進入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，豐富了半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的資金來源，不少企業(yè)也正在尋求上市。

目前，北方華創(chuàng)、晶盛機電、長川科技等企業(yè)早已登陸資本市場，中微公司、華峰測控、芯源微等半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)亦集中在去年以及今年于科創(chuàng)板上市。光刻機企業(yè)方面，上海微電子裝備于2017年12月已進行輔導(dǎo)備案，光刻機雙工件臺企業(yè)華卓精科亦擬闖關(guān)科創(chuàng)板，近日江蘇影速亦宣布已進入上市輔導(dǎo)階段。

此外，隨著市場資本進入半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，近兩年來亦新增了一些光刻機相關(guān)項目。如今年6月5日，上海博康光刻設(shè)備及光刻材料項目簽約落戶西安高陵，據(jù)西安晚報報道，該項目總占地200畝，總投資13億元；今年4月，埃眸科技納米光刻機項目落戶常熟高新區(qū)，計劃總投資10億元，主要方向為納米壓印光刻機的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及運營。

有人說，對于半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)而言，這是最好的時代、也是最壞的時代。面對與國際先進水平的差距以及技術(shù)封鎖，國產(chǎn)光刻機仍有很長的路要走。除去外部因素，自身人才匱乏、技術(shù)欠缺亦是發(fā)展難題，光刻機研制出來后產(chǎn)線驗證難更是制約國產(chǎn)光刻機進入生產(chǎn)線的主要瓶頸之一，種種問題亟待解決。

不過，國內(nèi)越來越多的新增晶圓生產(chǎn)線走向穩(wěn)定，將有望給予國產(chǎn)光刻機等更多“試錯”機會。對于國產(chǎn)光刻機，我們需要承認(rèn)差距，亦要寄予希望，上海微電子裝備等已燃起了星星之火，我們期待其早日燎原。

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據(jù)上交所發(fā)布消息，6月8日，深圳市燕麥科技股份有限公司（以下簡稱“燕麥科技”）成功登陸科創(chuàng)板。報道指出，燕麥科技本次公開發(fā)行股票3587萬股，發(fā)行價格19.68元/股，新股募集資金總額7.06億元，發(fā)行后總股本14347.87萬股。

資料顯示，資料顯示，燕麥科技是一家專注于自動化、智能化測試設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，為客戶自動化、智能化生產(chǎn)提供系統(tǒng)解決方案。其測試設(shè)備目前主要應(yīng)用于柔性線路板測試領(lǐng)域，客戶覆蓋全球前十大FPC企業(yè)中的前七家，并已經(jīng)發(fā)展成為全球消費電子領(lǐng)先品牌蘋果、谷歌等公司的供應(yīng)商，已成為FPC行業(yè)頭部企業(yè)的核心供應(yīng)商。

近年來，燕麥科技營收及凈利潤均實現(xiàn)穩(wěn)定增長。招股書顯示，燕麥科技2017年、2018年、2019年營收分別為2.42億元、2.44億元、2.7億元；研發(fā)投入占營收比分別為14.76%、16.91%、16.13%。

報告期內(nèi)，燕麥科技銷售的最終用于檢測蘋果公司產(chǎn)品FPC的測試設(shè)備收入占營業(yè)收入的占比分別為85.73%、89.74%、89.79%、79.02%。其中，燕麥科技直接來源于蘋果公司及其指定的采購訂單所對應(yīng)的銷售收入占其各期營業(yè)收入的比例分別為45.90%、49.72%、41.31%、27.91%。

燕麥科技表示，目前及短期內(nèi)，收入仍將主要集中于以蘋果公司為主的消費電子領(lǐng)域。

日前，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）發(fā)布公告，公司擬向上海芯元基半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡稱“芯元基”）轉(zhuǎn)讓其所持有上海創(chuàng)徒光電技術(shù)服務(wù)有限公司（以下簡稱“創(chuàng)徒光電”）全部股權(quán)并擬對芯元基增資。

公告顯示，芯元基擬以570萬元現(xiàn)金收購中微公司所持創(chuàng)徒光電全部股權(quán)，并以現(xiàn)金收購上海創(chuàng)徒科技創(chuàng)業(yè)服務(wù)有限公司所持創(chuàng)徒光電全部股權(quán)。后續(xù)，芯元基擬以投前整體估值1.18億元為基礎(chǔ)，新增注冊資本37.47萬元，其中：中微公司投資570萬元認(rèn)購芯元基新增注冊資本中的24.55萬元；湖州創(chuàng)徒創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）投資300萬元認(rèn)購芯元基新增注冊資本中的12.92萬元。

上述交易完成后，創(chuàng)徒光電變?yōu)樾驹娜Y子公司，中微公司不再直接持有創(chuàng)徒光電的股權(quán)；芯元基注冊資本增加至545.65萬元，中微公司持股比例由8.4746%增加至12.3915%。

資料顯示，芯元基基成立于2014年10月，注冊資本508.1867萬元。據(jù)了解，芯元基主要從事以GaN為主的第三代半導(dǎo)體材料和器件開發(fā)，擁有LED芯片DPSS復(fù)合襯底、藍寶石襯底化學(xué)剝離和WLP晶圓級封裝等系列LED芯片創(chuàng)新技術(shù)。

今年3月，張江頭條消息顯示，芯元基在氮化鎵材料領(lǐng)域取得重大創(chuàng)新突破，基于其獨創(chuàng)的DPSS襯底技術(shù)（藍寶石復(fù)合圖形襯底），開發(fā)出了低位錯密度的高阻GaN（氮化鎵）材料，可用于電子功率器件和微波射頻器件等的制備。

因芯元基系本公司董事杜志游（ZHIYOU DU）擔(dān)任董事的企業(yè)，故中微公司向芯元基轉(zhuǎn)讓創(chuàng)徒光電的股權(quán)以及中微公司對芯元基增資事項構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易，但未構(gòu)成重大資產(chǎn)重組。

公告表示，本次股權(quán)轉(zhuǎn)讓及對外投資，系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進行，該事項的發(fā)生有其必要性和合理性，符合公司經(jīng)營發(fā)展的需要，不會對公司財務(wù)和經(jīng)營產(chǎn)生不利影響，不存在損害上市公司及全體股東特別是中小股東利益的情形。

近日，西安市高陵區(qū)引進國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)、推動高質(zhì)量發(fā)展取得新突破，6月5日，上海博康項目正式簽約落戶高陵。

據(jù)西安晚報報道，上海博康光刻設(shè)備及光刻材料項目總占地200畝，總投資13億元，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值20億元以上，年貢獻稅收1億元以上。

博康落戶高陵，既填補了全市半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)的空白，也將吸引電子信息產(chǎn)業(yè)聚集，拉伸先進制造產(chǎn)業(yè)鏈條，為西安產(chǎn)業(yè)動能轉(zhuǎn)換和經(jīng)濟結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級做出積極貢獻。

資料顯示，博康集團成立于2018年，注冊資本1億元，主要從事化工科技、生物科技、材料科技、機電科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)，光刻材料、半導(dǎo)體新型材料的研發(fā)及銷售，化學(xué)試劑（除醫(yī)療、診斷試劑）、化工原料及產(chǎn)品（除危險化學(xué)品、監(jiān)控化學(xué)品、煙花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化學(xué)品）、包裝材料、橡膠制品、塑料制品、機電設(shè)備、集成電路軟件、實驗室設(shè)備的銷售，集成電路生產(chǎn)設(shè)備研發(fā)、設(shè)計、制造及售后技術(shù)服務(wù)等業(yè)務(wù)。

據(jù)悉，為確保項目順利落地，高陵區(qū)將嚴(yán)格落實重點項目包抓責(zé)任制，成立由區(qū)委書記、區(qū)長牽頭的項目服務(wù)保障專班，對項目落地和建設(shè)中不重視不積極、工作措施不力、進展緩慢甚至遲遲沒有進展的，高陵區(qū)委區(qū)政府將實行重點督辦和約談問責(zé)，確保項目年底前開工建設(shè)、早日投產(chǎn)達效。