5月13日，上交所受理了芯碁微裝的科創(chuàng)板上市申請(qǐng)，并披露了該公司首次公開發(fā)行股票并在科創(chuàng)板上市招股說明書（申報(bào)稿）。

據(jù)悉，芯碁微裝主要從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售以及相應(yīng)的維保服務(wù)，主要產(chǎn)品及服務(wù)包括PCB直接成像設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、泛半導(dǎo)體直寫光刻設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、其他激光直接成像設(shè)備以及上述產(chǎn)品的售后維保服務(wù)，產(chǎn)品功能涵蓋微米到納米的多領(lǐng)域光刻環(huán)節(jié)。

招股書披露，2017年度、2018年度和2019年度，公司營(yíng)業(yè)收入分別為2,218.04萬(wàn)元、8,729.53萬(wàn)元和20,226.12萬(wàn)元，凈利潤(rùn)分別為-684.67萬(wàn)元、1,729.27萬(wàn)元和4,762.51萬(wàn)元。報(bào)告期內(nèi)，搞公司業(yè)務(wù)規(guī)模逐年擴(kuò)大，凈利潤(rùn)由負(fù)轉(zhuǎn)正，并呈現(xiàn)增長(zhǎng)趨勢(shì)。

而近年來(lái)，芯碁微裝的研發(fā)資金投入也是逐年增加，2017-2019年，芯碁微裝投入的研發(fā)費(fèi)用分別為791.80萬(wàn)元、1,698.10萬(wàn)元和2,854.95萬(wàn)元。

申報(bào)稿顯示，芯碁微裝本次擬募集資金不超過3,020.2448萬(wàn)股，在扣除發(fā)行相關(guān)費(fèi)用后擬用于高端PCB激光直接成像（LDI）設(shè)備升級(jí)迭代項(xiàng)目、晶圓級(jí)封裝（WLP）直寫光刻設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、平板顯示（FPD）光刻設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目和微納制造技術(shù)研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目。

其中，高端PCB激光直接成像（LDI）設(shè)備升級(jí)迭代項(xiàng)目擬在合肥市高新區(qū)進(jìn)行高端PCB制造LDI設(shè)備的迭代升級(jí)項(xiàng)目的建設(shè)，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，將具有年產(chǎn)200臺(tái)LDI產(chǎn)品的生產(chǎn)能力。通過本項(xiàng)目實(shí)施將進(jìn)一步拓展發(fā)行人LDI系列設(shè)備產(chǎn)品的市場(chǎng)空間，推動(dòng)發(fā)行人主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的持續(xù)增長(zhǎng)。

晶圓級(jí)封裝（WLP）直寫光刻設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目擬在合肥市高新區(qū)進(jìn)行晶圓級(jí)封裝（WLP）直寫光刻設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的建設(shè)，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，芯碁微裝將具有年產(chǎn) 6 臺(tái) WLP 直寫光刻設(shè)備產(chǎn)品的生產(chǎn)能力。

平板顯示（FPD）光刻設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目擬在合肥市高新區(qū)進(jìn)行項(xiàng)目的建設(shè)。在現(xiàn)有OLED中低端產(chǎn)線直寫光刻設(shè)備的核心技術(shù)、產(chǎn)品開發(fā)積累的基礎(chǔ)上，對(duì)OLED高端產(chǎn)線直寫光刻設(shè)備進(jìn)行研發(fā)，為芯碁微裝將來(lái)發(fā)行OLED高端產(chǎn)線直寫光刻設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，同時(shí)也為未來(lái)主營(yíng)業(yè)務(wù)在 FPD 領(lǐng)域的拓展奠定良好的基礎(chǔ)。

至于微納制造技術(shù)研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目，將建設(shè)微納制造技術(shù)研發(fā)中心，通過該項(xiàng)目的實(shí)施，能進(jìn)一步滿足下游不斷發(fā)展的光刻設(shè)備應(yīng)用需求，助力發(fā)行人未來(lái)收入規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)與產(chǎn)品服務(wù)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)，為發(fā)行人未來(lái)的主營(yíng)業(yè)務(wù)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。

5月11日，臨港區(qū)與韓國(guó)VPS株式會(huì)社成功簽約半導(dǎo)體真空泵項(xiàng)目，預(yù)計(jì)投資1000萬(wàn)美元，擬生產(chǎn)半導(dǎo)體光伏產(chǎn)業(yè)用真空泵，投產(chǎn)后，預(yù)計(jì)年產(chǎn)可生產(chǎn)真空泵4000臺(tái)套，產(chǎn)值達(dá)到5億元。

據(jù)悉，本次簽約的韓國(guó)VPS株式會(huì)社是一家專業(yè)從事各種干式螺桿真空泵及真空機(jī)組研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，是目前世界上生產(chǎn)干式螺桿真空泵產(chǎn)品系列最全的公司之一。

“疫情期間，我們也沒放松，積極通過網(wǎng)上與企業(yè)家溝通、交流，及時(shí)共享我區(qū)的最新動(dòng)態(tài)，穩(wěn)定項(xiàng)目方投資預(yù)期，在2月份就與項(xiàng)目方達(dá)成合作意向，并在網(wǎng)上簽訂了合作框架協(xié)議。”臨港區(qū)商務(wù)局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹道，達(dá)成合作意向后，安排專人專線服務(wù)，緊盯靠上，最終推動(dòng)該項(xiàng)目成功落地簽約。

據(jù)悉，今年疫情以來(lái)，臨港區(qū)主動(dòng)轉(zhuǎn)換招商思路，通過線上新方式，主動(dòng)對(duì)接500強(qiáng)、央企、強(qiáng)企項(xiàng)目資源，搜集儲(chǔ)備了一批好項(xiàng)目、大項(xiàng)目，累計(jì)簽約引進(jìn)了13個(gè)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。

“下步我們將繼續(xù)堅(jiān)持產(chǎn)業(yè)高端化、集群化、國(guó)際化的招商思路，利用好市領(lǐng)導(dǎo)帶隊(duì)出訪長(zhǎng)三角、京津冀活動(dòng)機(jī)會(huì)，進(jìn)一步夯實(shí)鞏固項(xiàng)目方投資信心，推動(dòng)在談項(xiàng)目加速‘成果轉(zhuǎn)化’?！迸R港區(qū)商務(wù)局相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。

近日，由沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯源微”）生產(chǎn)的前道涂膠顯影機(jī)到位中芯北方進(jìn)行驗(yàn)證。據(jù)沈陽(yáng)日?qǐng)?bào)報(bào)道，這意味著國(guó)產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備開始大批量走向市場(chǎng)。

資料顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，目前主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），產(chǎn)品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環(huán)節(jié)）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）。

2019年12月16日，芯源微在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，成為了遼寧省科創(chuàng)板“第一股”和中科院第一家科創(chuàng)板上市企業(yè)。根據(jù)此前的招股書披露，芯源微擬向社會(huì)公開發(fā)行不超過2,100萬(wàn)股，計(jì)劃募集資金3.78億元投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、高端晶圓處理設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目?jī)纱箜?xiàng)目。

2019年度報(bào)告顯示，芯源微生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備于2018年下半年分別發(fā)往上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，其中上海華力機(jī)臺(tái)為前道Barc（抗反射層）涂覆設(shè)備，已于2019年9月通過工藝驗(yàn)證并確認(rèn)收入；長(zhǎng)江存儲(chǔ)機(jī)臺(tái)為前道涂膠顯影設(shè)備，目前仍在驗(yàn)證中。通過在上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)的驗(yàn)證與改進(jìn)，公司光刻工序前道涂膠顯影設(shè)備在多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破，技術(shù)成果已應(yīng)用到新產(chǎn)品、新客戶，截至目前，已陸續(xù)獲得了株洲中車、青島芯恩、上海積塔、寧波中芯、昆明京東方、廈門士蘭等多個(gè)前道大客戶的訂單。

而集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用清洗機(jī)Spin Scrubber設(shè)備的各項(xiàng)指標(biāo)均得到明顯改善或提升，已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該類設(shè)備已在中芯國(guó)際、上海華力等多個(gè)客戶處通過工藝驗(yàn)證，截至目前已獲得國(guó)內(nèi)多家晶圓廠商的重復(fù)訂單。

此外，芯源微生產(chǎn)的光刻工序涂膠顯影設(shè)備與單片式濕法設(shè)備，已經(jīng)從傳統(tǒng)的先進(jìn)封裝領(lǐng)域、LED領(lǐng)域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領(lǐng)域，截至目前已累計(jì)銷售800余臺(tái)套，已作為主流機(jī)型應(yīng)用于臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等國(guó)內(nèi)一線大廠。

沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯源微”）生產(chǎn)的前道涂膠顯影機(jī)，通過了北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司的驗(yàn)證。據(jù)人民網(wǎng)報(bào)道，這意味著，打破國(guó)外壟斷、填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白的國(guó)產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備開始大批量走向市場(chǎng)。

資料顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，目前主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），產(chǎn)品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環(huán)節(jié)）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）。

2019年12月16日，芯源微在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，成為了遼寧省科創(chuàng)板“第一股”和中科院第一家科創(chuàng)板上市企業(yè)。根據(jù)此前的招股書披露，芯源微擬向社會(huì)公開發(fā)行不超過2,100萬(wàn)股，計(jì)劃募集資金3.78億元投入高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、高端晶圓處理設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目?jī)纱箜?xiàng)目。

2019年度報(bào)告顯示，芯源微生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備于2018年下半年分別發(fā)往上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，其中上海華力機(jī)臺(tái)為前道Barc（抗反射層）涂覆設(shè)備，已于2019年9月通過工藝驗(yàn)證并確認(rèn)收入；長(zhǎng)江存儲(chǔ)機(jī)臺(tái)為前道涂膠顯影設(shè)備，目前仍在驗(yàn)證中。通過在上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)的驗(yàn)證與改進(jìn)，公司光刻工序前道涂膠顯影設(shè)備在多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破，技術(shù)成果已應(yīng)用到新產(chǎn)品、新客戶，截至目前，已陸續(xù)獲得了株洲中車、青島芯恩、上海積塔、寧波中芯、昆明京東方、廈門士蘭等多個(gè)前道大客戶的訂單。

而集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用清洗機(jī)Spin Scrubber設(shè)備的各項(xiàng)指標(biāo)均得到明顯改善或提升，已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該類設(shè)備已在中芯國(guó)際、上海華力等多個(gè)客戶處通過工藝驗(yàn)證，截至目前已獲得國(guó)內(nèi)多家晶圓廠商的重復(fù)訂單。

此外，芯源微生產(chǎn)的光刻工序涂膠顯影設(shè)備與單片式濕法設(shè)備，已經(jīng)從傳統(tǒng)的先進(jìn)封裝領(lǐng)域、LED領(lǐng)域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領(lǐng)域，截至目前已累計(jì)銷售800余臺(tái)套，已作為主流機(jī)型應(yīng)用于臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等國(guó)內(nèi)一線大廠。

近日，上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司與江蘇省太倉(cāng)市高新區(qū)進(jìn)行半導(dǎo)體設(shè)備項(xiàng)目投資協(xié)議簽約。

據(jù)太倉(cāng)日?qǐng)?bào)報(bào)道，該項(xiàng)目為12吋納米級(jí)離子化學(xué)氣相沉積PECVD和8吋微米級(jí)反應(yīng)離子物理濺射沉積RiD的先進(jìn)工藝及裝備研發(fā)和制造基地，專注于開發(fā)與發(fā)展半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的高端設(shè)備制造。

據(jù)悉，陛通太倉(cāng)項(xiàng)目總投資10億元，2022年可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值5億元，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)值10億元，將在太倉(cāng)建設(shè)研發(fā)中心、生產(chǎn)中心和銷售中心。

Source：視頻截圖

資料顯示，上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司成立于2008年，主要研發(fā)、生產(chǎn)高端半導(dǎo)體設(shè)備，主營(yíng)業(yè)務(wù)包括高端集成電路制造設(shè)備及相關(guān)關(guān)鍵部件的研發(fā)和銷售；高端集成電路制造、液晶面板、LED、光伏制造設(shè)備的改造、升級(jí)、重新布局、遷移等服務(wù)；以及整套集成電路制造生產(chǎn)線及生產(chǎn)段的設(shè)備運(yùn)行維護(hù)服務(wù)等。

上海陛通半導(dǎo)體公司董事長(zhǎng)宋維聰表示，陛通公司擁有強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和研發(fā)實(shí)力，借助太倉(cāng)良好的發(fā)展環(huán)境，有信心在太倉(cāng)打造全國(guó)為數(shù)不多的半導(dǎo)體整體裝備研發(fā)和制造基地。?

4月28日，中微公司發(fā)布《關(guān)于擬簽署投資協(xié)議暨購(gòu)買土地并進(jìn)行項(xiàng)目建設(shè)的公告》，進(jìn)一步落實(shí)公司在中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)（以下簡(jiǎn)稱“臨港新片區(qū)”）的布局。

公告顯示，今年2月，中微公司與臨港新片區(qū)管理委員會(huì)簽署《合作意向協(xié)議書》，擬使用自有或自籌資金在建設(shè)高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。就這次投資合作相關(guān)事宜，經(jīng)進(jìn)一步磋商，中微公司擬與相關(guān)合作方簽署正式投資協(xié)議，在臨港新片區(qū)競(jìng)拍土地建設(shè)中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地及中微臨港總部和研發(fā)基地，投資主體為本公司或本公司在臨港新片區(qū)新設(shè)立的全資子公司。

根據(jù)投資協(xié)議，該項(xiàng)目擬下設(shè)中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地及中微臨港總部和研發(fā)基地，中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地用地選址的目標(biāo)地塊位于臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)閔聯(lián)臨港園區(qū)內(nèi)，土地面積預(yù)計(jì)為151544平方米，約折合227.3畝。中微臨港總部和研發(fā)基地用地選址的目標(biāo)地塊位于臨港科技城園區(qū)內(nèi)，土地面積預(yù)計(jì)為16700平方米，約折合25.05畝。

中微公司表示，隨著公司規(guī)模及業(yè)務(wù)的擴(kuò)張，公司在現(xiàn)有上?？偛繌S區(qū)的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)與 研發(fā)將會(huì)出現(xiàn)瓶頸，本次選址在臨港新片區(qū)進(jìn)行項(xiàng)目投資，能夠充分利用該區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢(shì)，將有利于完善公司的產(chǎn)業(yè)鏈布局，進(jìn)一步做好公司半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的中長(zhǎng)期發(fā)展規(guī)劃，提升公司整體實(shí)力，推動(dòng)公司半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，進(jìn)一步提升公司的盈利能力和綜合競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力。

中微公司董事會(huì)已審議通過了本次投資的相關(guān)議案，董事會(huì)提請(qǐng)股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)全權(quán)負(fù)責(zé)本次投資相關(guān)事宜，相關(guān)議案尚需提交股東大會(huì)審議。本次投資涉及的項(xiàng)目投資金額、建設(shè)周期以及實(shí)施進(jìn)度存在不確定性。

據(jù)了解，臨港新片區(qū)于2019年8月正式揭牌，對(duì)標(biāo)國(guó)際上公認(rèn)的競(jìng)爭(zhēng)力最強(qiáng)的自由貿(mào)易園區(qū)，打造更具國(guó)際市場(chǎng)影響力和競(jìng)爭(zhēng)力的特殊經(jīng)濟(jì)功能區(qū)。臨港新片區(qū)總體方案提出將建立以關(guān)鍵核心技術(shù)為突破口的前沿產(chǎn)業(yè)集群，包括建設(shè)集成電路綜合性產(chǎn)業(yè)基地，推動(dòng)核心芯片、特色工藝、關(guān)鍵裝備和基礎(chǔ)材料等重點(diǎn)領(lǐng)域發(fā)展等。

去年年底，中微公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯在首屆臨港新片區(qū)投資論壇上表示，臨港新片區(qū)承載國(guó)家戰(zhàn)略使命，立足“卡脖子”和新興產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)的創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)政策支持力度非常大，這里將成為世界級(jí)先進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)高地。

尹志堯當(dāng)時(shí)披露，中微公司希望建立一個(gè)臨港半導(dǎo)體設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)基地，其中有研發(fā)中心、大規(guī)模生產(chǎn)基地、銷售和結(jié)算中心、產(chǎn)品投資平臺(tái)，集成電路工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)。

以5G、人工智能、IoT為代表的新一代信息技術(shù)以及近期被熱議的“新型基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)”為集成電路提供了新的增量市場(chǎng)，也為處于產(chǎn)業(yè)鏈上游的半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)帶來(lái)更多機(jī)遇。對(duì)此，國(guó)內(nèi)最大的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司董事長(zhǎng)趙晉榮日前在接受《中國(guó)電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，面對(duì)數(shù)字時(shí)代帶來(lái)的紅利，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在加強(qiáng)提高自身創(chuàng)新能力的同時(shí)，更重要的是積極與客戶建立緊密的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，全面支撐中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化需求。

集贊譽(yù)，獲首肯

支撐設(shè)備國(guó)產(chǎn)化發(fā)展需求

半導(dǎo)體設(shè)備是完成晶圓制造、封裝測(cè)試和實(shí)現(xiàn)集成電路技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵。有數(shù)據(jù)表明，半導(dǎo)體設(shè)備是晶圓代工廠的最大投資項(xiàng)，約占整體投資的70%。趙晉榮告訴《中國(guó)電子報(bào)》記者，近年來(lái)，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)取得了長(zhǎng)足發(fā)展，已成為全球規(guī)模最大、增速最快的區(qū)域市場(chǎng)。芯思想研究院數(shù)據(jù)顯示，國(guó)內(nèi)計(jì)劃新建的20家Fab投資總計(jì)將超過1000億元，將會(huì)帶來(lái)超過700億元設(shè)備需求。

考慮到晶圓廠對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的逐步認(rèn)可和性價(jià)比優(yōu)勢(shì)，在接下來(lái)的產(chǎn)能擴(kuò)張中，國(guó)產(chǎn)設(shè)備將會(huì)有更大的機(jī)會(huì)。趙晉榮向記者表示：“受中國(guó)市場(chǎng)需求旺盛以及國(guó)際環(huán)境的影響，存儲(chǔ)芯片、2.5D/3D封裝、CIS、第三代半導(dǎo)體、Micro/Mini-LED等產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化熱潮涌動(dòng)，驅(qū)動(dòng)國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體裝備業(yè)快速發(fā)展。作為國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)，北方華創(chuàng)已經(jīng)有包括刻蝕機(jī)、PVD、CVD、外延設(shè)備、濕法清洗、爐管等在內(nèi)的30多種成熟設(shè)備在國(guó)內(nèi)集成電路生產(chǎn)線上量產(chǎn)使用，隨著越來(lái)越多的評(píng)估工作逐步開展，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備企業(yè)將迎來(lái)歷史性的發(fā)展契機(jī)?！?/p>

同進(jìn)退，共抗疫

增強(qiáng)客戶對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的信任

去年年底開始的新冠肺炎疫情使得全球三大經(jīng)濟(jì)體與重要制造業(yè)地區(qū)受到嚴(yán)重影響，半導(dǎo)體整體市場(chǎng)需求的下滑，倒逼產(chǎn)業(yè)上游廠商設(shè)備支出同時(shí)縮減。SEMI于近期下調(diào)了今年全球晶圓廠設(shè)備支出的預(yù)估。趙晉榮告訴記者：“對(duì)于北方華創(chuàng)來(lái)說，公司業(yè)務(wù)涉及的國(guó)內(nèi)外供應(yīng)商部分停工、減產(chǎn)，對(duì)整體供應(yīng)鏈的到貨時(shí)效產(chǎn)生了一些影響。但是北方華創(chuàng)通過積極協(xié)調(diào)、緊急備貨，使得整體生產(chǎn)工作得以有序進(jìn)行。”

但從另一方面看，本次疫情對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的長(zhǎng)期發(fā)展起到了一定的促進(jìn)作用。趙晉榮表示，由于國(guó)外疫情逐漸惡化，國(guó)外主流設(shè)備公司停工或居家遠(yuǎn)程辦公，與客戶的溝通和交流處于暫停狀態(tài)，尤其是針對(duì)國(guó)內(nèi)客戶的服務(wù)和響應(yīng)不及時(shí)的問題突出。疫情期間，國(guó)外原廠支持工程師很難到位，這給客戶的排產(chǎn)造成較大影響?！霸谶@種情形下，北方華創(chuàng)作為本土供應(yīng)商優(yōu)勢(shì)凸顯。疫情期間，我們一直持續(xù)提供服務(wù)，積極采取防疫措施，在保證人員健康安全的前提下，快速響應(yīng)客戶需求。舉例來(lái)說，公司專門為身處武漢疫區(qū)工作的客服人員租住了酒店，租了專車往返于酒店與客戶工廠之間，對(duì)關(guān)鍵客服人員，直接就近住在客戶的員工宿舍，更‘貼身’地滿足客戶需求。疫情期間，與客戶‘同進(jìn)退，共抗疫’的情誼，也極大地增強(qiáng)了客戶對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的信任。從長(zhǎng)遠(yuǎn)看，相信這對(duì)中國(guó)高端半導(dǎo)體裝備業(yè)的自主發(fā)展是十分有利的?！?/p>

新基建，新機(jī)遇

進(jìn)一步深化客戶戰(zhàn)略合作

談到未來(lái)，趙晉榮表示，半導(dǎo)體在中國(guó)作為戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的地位不會(huì)改變，中國(guó)繼續(xù)發(fā)展本地化裝備能力的趨勢(shì)也不會(huì)改變，受疫情催生的“宅”經(jīng)濟(jì)和工廠自動(dòng)化的需求，將為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)帶來(lái)持續(xù)的機(jī)會(huì)。5G、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、AI、高性能運(yùn)算、工業(yè)機(jī)器人、智能穿戴等新一代信息技術(shù)的發(fā)展，尤其是最近中央提出的“新型基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)”，進(jìn)一步提高了對(duì)集成電路的需求，從而也為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展帶來(lái)新的機(jī)遇。

一代器件，一代工藝，一代設(shè)備，已經(jīng)成為業(yè)內(nèi)共識(shí)。而業(yè)內(nèi)專家也多次強(qiáng)調(diào)要完善國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)，全面提升國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力。趙晉榮認(rèn)為，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的國(guó)產(chǎn)化發(fā)展將是大勢(shì)所趨，國(guó)內(nèi)廠商應(yīng)該看到這個(gè)趨勢(shì)，進(jìn)一步加深與客戶的合作，爭(zhēng)取讓客戶研發(fā)之初就接納國(guó)產(chǎn)設(shè)備。國(guó)產(chǎn)設(shè)備商應(yīng)致力于與客戶形成更加緊密的、互相綁定的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，抓住中國(guó)半導(dǎo)體當(dāng)前迅猛發(fā)展的契機(jī)，抓住存儲(chǔ)器、IGBT、3D IC、Micro LED等應(yīng)用機(jī)會(huì)，發(fā)揮國(guó)產(chǎn)設(shè)備速度快、服務(wù)好、成本低的優(yōu)勢(shì)，在業(yè)內(nèi)建立良好的口碑，從而開辟國(guó)產(chǎn)設(shè)備新領(lǐng)空。

隨著年報(bào)密集披露期到來(lái)，各上市公司近日相繼發(fā)布其2019年業(yè)績(jī)報(bào)告。作為科創(chuàng)板首批上市企業(yè)以及國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備重要廠商之一，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”）一直備受關(guān)注，那么，過去一年里其交出了怎樣一份答卷？

4月16日，中微公司發(fā)布其2019年年報(bào)，并于4月17上午召開了業(yè)績(jī)說明會(huì)。年報(bào)顯示，2019年中微公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入19.47億元，同比增長(zhǎng)18.77%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)1.89億元，同比增長(zhǎng)107.51%。按季度分，中微公司2019年第一季度到第四季度分別實(shí)現(xiàn)營(yíng)收為3.76億元、4.24億元、4.16億元、7.29億元，其中第四季度營(yíng)收增長(zhǎng)明顯。

毛利率方面，中微公司2019年度毛利率為34.93%，較上年度減少0.57個(gè)百分點(diǎn)。對(duì)于毛利率下降，中微公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理尹志堯在業(yè)績(jī)說明會(huì)中表示，公司刻蝕設(shè)備的毛利率已達(dá)到國(guó)際同行的水平，但MOCVD設(shè)備的毛利率在公司設(shè)備進(jìn)入市場(chǎng)之前，由于美國(guó)和德國(guó)設(shè)備公司的激烈競(jìng)爭(zhēng)，已經(jīng)降到很低的水平。由于中微的MOCVD設(shè)備的銷售占公司銷售相當(dāng)?shù)谋壤?，所以公司的總毛利率相比偏低?/p>

研發(fā)方面，2019年度中微公司的研究開發(fā)支出共計(jì)4.25億元，占營(yíng)業(yè)收入21.81%，較上年度的24.65%減少2.84個(gè)百分點(diǎn)。截至2019年12月31日，公司已申請(qǐng)1467項(xiàng)專利，其中發(fā)明專利1297項(xiàng)；已獲授權(quán)專利1015項(xiàng)，其中發(fā)明專利859項(xiàng)。

5納米刻蝕設(shè)備獲批量訂單

尹志堯在業(yè)績(jī)說明會(huì)中披露，截至2019年底，中微公司1300多臺(tái)刻蝕機(jī)和MOCVD設(shè)備的反應(yīng)臺(tái)已在40多條亞洲、歐洲和國(guó)內(nèi)先進(jìn)生產(chǎn)線量產(chǎn)。

年報(bào)顯示，在邏輯集成電路制造環(huán)節(jié)，中微公司開發(fā)的高端刻蝕設(shè)備已運(yùn)用在國(guó)際知名客戶65納米到7納米的芯片生產(chǎn)線上；同時(shí)，公司根據(jù)先進(jìn)集成電路廠商的需求，已開發(fā)出5納米刻蝕設(shè)備用于若干關(guān)鍵步驟的加工，并已獲得行業(yè)領(lǐng)先客戶的批量訂單。目前公司正在配合客戶需求，開發(fā)新一代刻蝕設(shè)備和包括更先進(jìn)大馬士革在內(nèi)的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關(guān)鍵應(yīng)用的設(shè)備。

在3D NAND芯片制造環(huán)節(jié)，中微公司的電容性等離子體刻蝕設(shè)備可應(yīng)用于64層的量產(chǎn)，同時(shí)根據(jù)存儲(chǔ)器廠商的需求正在開發(fā)新一代能夠涵蓋128層關(guān)鍵刻蝕應(yīng)用以及相對(duì)應(yīng)的極高深寬比的刻蝕設(shè)備和工藝。

此外，中微公司的電感性等離子刻蝕設(shè)備已在多個(gè)邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片廠商的生產(chǎn)線上量產(chǎn)，根據(jù)客戶的技術(shù)發(fā)展需求，正在進(jìn)行下一代產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā)，以滿足7納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產(chǎn)品的ICP刻蝕需求，并進(jìn)行高產(chǎn)出的ICP刻蝕設(shè)備的研發(fā)。

MOCVD設(shè)備方面，中微公司研發(fā)的用于制造深紫外光LED的MOCVD設(shè)備已在行業(yè)領(lǐng)先客戶端驗(yàn)證成功。用于Mini LED生產(chǎn)的 MOCVD設(shè)備的研發(fā)工作正在有序進(jìn)行中。制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設(shè)備也在開發(fā)中。

中微公司指出，目前公司雖然已有了長(zhǎng)足的發(fā)展，但距離公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)目標(biāo)、距離行業(yè)和資本市場(chǎng)的期望還有很大的改進(jìn)、發(fā)展空間。

國(guó)際貿(mào)易摩擦及新冠疫情影響

近年來(lái)國(guó)際貿(mào)易和科技方面的摩擦不斷，今年以來(lái)新型冠狀病毒疫情持續(xù)蔓延，對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)產(chǎn)生了不同程度的影響，尹志堯在業(yè)績(jī)說明會(huì)上對(duì)相關(guān)問題作出了回應(yīng)。

關(guān)于新冠疫情對(duì)生產(chǎn)、銷售及原材料供應(yīng)方面的影響，尹志堯表示，中微公司有400多家材料和零部件供應(yīng)廠商，疫情期間公司一直緊密跟蹤供應(yīng)廠商的供貨情況，有問題及時(shí)解決，保持了100%的材料按時(shí)供應(yīng)率和100%設(shè)備的按時(shí)運(yùn)出率。有極少數(shù)供應(yīng)商提供的極個(gè)別零部件，由于疫情影響產(chǎn)能調(diào)整，到今年中期有一定供貨風(fēng)險(xiǎn)，中微公司正和這幾家供應(yīng)廠商及時(shí)溝通，要求零部件按時(shí)到位。

生產(chǎn)線方面，尹志堯表示公司在2月下旬生產(chǎn)線已完全恢復(fù)，公司各方面生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)情況都已走入正軌。在設(shè)備按計(jì)劃運(yùn)出方面，除武漢地區(qū)客戶有些推遲，其他地區(qū)情況都按計(jì)劃進(jìn)行。至于今年的訂單方面，尹志堯表示訂單整體向好，但下半年還得看疫情影響情況。

至于國(guó)際貿(mào)易和科技方面的摩擦，尹志堯表示，近年來(lái)國(guó)際貿(mào)易和科技方面的摩擦不斷，對(duì)國(guó)內(nèi)部分企業(yè)已經(jīng)有相當(dāng)?shù)挠绊?，但中微公司從成立開始就嚴(yán)格遵守相關(guān)法律法規(guī)，一直保持與相關(guān)國(guó)家和地區(qū)政府部門的及時(shí)溝通。到目前為止，中微的業(yè)務(wù)尚未受到實(shí)質(zhì)性的影響。

尹志堯指出，如果全球貿(mào)易和科技的摩擦繼續(xù)惡化，國(guó)際化的高科技公司都會(huì)受到更大影響。中微公司正密切關(guān)注國(guó)際形勢(shì)的變化，對(duì)潛在的不利因素和負(fù)面影響持續(xù)進(jìn)行評(píng)估，并制定相應(yīng)的防范預(yù)案。

將通過投資并購(gòu)?fù)卣拱鎴D

在未來(lái)發(fā)展方面，中微公司在年報(bào)中表示，未來(lái)公司將通過投資、并購(gòu)等外延式成長(zhǎng)途徑擴(kuò)大在集成電路領(lǐng)域及泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)品和市場(chǎng)覆蓋，并繼續(xù)探索核心技術(shù)在國(guó)計(jì)民生中創(chuàng)新性的應(yīng)用，不斷推動(dòng)企業(yè)健康發(fā)展。

中微公司進(jìn)一步指出，在高度競(jìng)爭(zhēng)的產(chǎn)業(yè)形勢(shì)下，公司考慮在有機(jī)成長(zhǎng)的同時(shí)，通過投資并購(gòu)國(guó)內(nèi)外高端的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，使公司能夠覆蓋更多的產(chǎn)品品類、占領(lǐng)更多細(xì)分市場(chǎng)，會(huì)重點(diǎn)考慮并購(gòu)等離子體刻蝕、薄膜沉積設(shè)備和測(cè)量設(shè)備等領(lǐng)域的集成電路前道設(shè)備公司，以及其他泛半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備公司。

據(jù)了解，中微公司已參投了沈陽(yáng)拓荊、Solayer、洪樸科技等企業(yè)，目前在上述三家企業(yè)的持股比例分別為11.20%、15.38%、23.73%。

尹志堯表示，今后公司計(jì)劃繼續(xù)通過有機(jī)生長(zhǎng)，不斷開發(fā)新的產(chǎn)品，不斷提高市場(chǎng)占有率；同時(shí)將在適當(dāng)時(shí)機(jī)，通過投資、并購(gòu)等外延式生長(zhǎng)途徑，擴(kuò)大產(chǎn)品和市場(chǎng)覆蓋，力爭(zhēng)在未來(lái)十年內(nèi)，發(fā)展成為在規(guī)模上和市場(chǎng)占有率上成為國(guó)際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司。

自科創(chuàng)板創(chuàng)建以來(lái)，已經(jīng)獲得多家半導(dǎo)體企業(yè)的青睞。

江蘇無(wú)錫作為國(guó)內(nèi)老牌集成電路重鎮(zhèn)，也有多家企業(yè)已經(jīng)完成科創(chuàng)板上市或計(jì)劃沖刺科創(chuàng)板，如華潤(rùn)微已經(jīng)成功闖關(guān)科創(chuàng)板，而無(wú)錫芯朋微電子的科創(chuàng)板IPO申請(qǐng)也已經(jīng)獲得上交所受理。

此外，無(wú)錫另一家半導(dǎo)體企業(yè)江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“微導(dǎo)納米”）也計(jì)劃沖刺科創(chuàng)板。

據(jù)江蘇省證監(jiān)局官網(wǎng)此前公開披露的信息顯示，微導(dǎo)納米上市輔導(dǎo)申請(qǐng)已獲省證監(jiān)局受理備案，擬申報(bào)科創(chuàng)板上市，保薦券商為中信證券股份有限公司。

資料顯示，微導(dǎo)納米于2015年12月成立于無(wú)錫市新吳區(qū)，是一家高端裝備制造商，主要從事先進(jìn)的原子層沉積(ALD)和反應(yīng)離子刻蝕(RIE)裝備的研發(fā)生產(chǎn)銷售，業(yè)務(wù)涵蓋新能源、柔性電子、半導(dǎo)體和納米技術(shù)等工業(yè)領(lǐng)域。

據(jù)無(wú)錫高新科技指出：下一階段，無(wú)錫高新區(qū)將繼續(xù)協(xié)同推進(jìn)，精準(zhǔn)服務(wù)好芯朋微、微導(dǎo)納米等擬上市企業(yè)，解決建好上市培育梯隊(duì)，通過資本市場(chǎng)直接融資推動(dòng)區(qū)域經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展。

據(jù)了解，在集成電路領(lǐng)域，盡管沖刺科創(chuàng)板的企業(yè)以IC設(shè)計(jì)領(lǐng)域居多，但在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，也已經(jīng)有成功闖關(guān)，如中微公司和芯源微。

作為高新技術(shù)企業(yè)，靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司自成立以來(lái)，始終瞄準(zhǔn)大規(guī)模集成電路關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化目標(biāo)，不斷加大研發(fā)投入力度，實(shí)施智能車間改造，提升生產(chǎn)工藝水平，在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中成功突圍。為了滿足不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求，企業(yè)于2019年啟動(dòng)了新廠區(qū)建設(shè)，目前基建工程主體已經(jīng)完工，預(yù)計(jì)6月份投產(chǎn)。

當(dāng)天上午，在先鋒半導(dǎo)體新廠區(qū)車間內(nèi)，工作人員正在對(duì)新引進(jìn)的五軸加工設(shè)備、表面激光落塵量測(cè)儀等設(shè)備進(jìn)行調(diào)試。

靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司人事部經(jīng)理朱燕娟表示，新廠區(qū)是從2019年2、3月份的時(shí)候開始籌建的，原來(lái)我們預(yù)計(jì)不受疫情的影響，會(huì)在4、5月份的時(shí)候整體搬遷，但是因?yàn)橐咔榈挠绊懣赡芤雍笠坏絻蓚€(gè)月的時(shí)間，目前整個(gè)基礎(chǔ)的建設(shè)已經(jīng)基本完成，我們正在進(jìn)行內(nèi)部裝修，還有一些國(guó)際上新的五軸加工中心設(shè)備的引進(jìn)，后面自動(dòng)生產(chǎn)處理線的工作，正在緊鑼密鼓的進(jìn)行。

謀取國(guó)際市場(chǎng)話語(yǔ)權(quán)

隨著企業(yè)市場(chǎng)占有率的持續(xù)提升，企業(yè)現(xiàn)有廠區(qū)的生產(chǎn)能力已不能滿足市場(chǎng)需及未來(lái)發(fā)展需要。2019年3月，企業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)充項(xiàng)目在開發(fā)區(qū)啟動(dòng)建設(shè)，計(jì)劃投入2.5億元打造全新的智能工廠，進(jìn)一步謀取在國(guó)際市場(chǎng)的話語(yǔ)權(quán)。

朱燕娟 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司人事部經(jīng)理：本身老廠區(qū)占地面積比較小，原來(lái)整個(gè)不足一萬(wàn)平方，鑒于目前半導(dǎo)體行業(yè)一個(gè)飛速的發(fā)展?fàn)顟B(tài)，整個(gè)老廠區(qū)已經(jīng)不能滿足我們產(chǎn)能的發(fā)展，第二產(chǎn)業(yè)緊密性的要求越來(lái)越高，也要求我們進(jìn)行持續(xù)不斷的研發(fā)投入，所以我們進(jìn)行了一個(gè)更大層面的改擴(kuò)建工作，新的廠區(qū)面積是原來(lái)老廠區(qū)的六倍大，廠區(qū)投建后對(duì)我們行業(yè)的發(fā)展有很大的助推。

5納米核心零部件

半導(dǎo)體行業(yè)空間廣闊，但長(zhǎng)久以來(lái)大量產(chǎn)品都依賴進(jìn)口。近年來(lái)，隨著國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求增長(zhǎng)和國(guó)家扶持政策的出臺(tái)，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體替代趨勢(shì)明確。聚焦半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備關(guān)鍵零部件生產(chǎn)， 先鋒半導(dǎo)體在不斷更新設(shè)備的基礎(chǔ)上，搭建了專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍，通過加大技術(shù)攻關(guān)力度，逐步向高端客戶和大規(guī)模項(xiàng)目發(fā)展突破，穩(wěn)步提高市場(chǎng)占有率，確立了國(guó)內(nèi)行業(yè)龍頭地位。目前，企業(yè)新研發(fā)的用于5納米芯片工藝的刻蝕機(jī)核心零部件已經(jīng)研發(fā)成功，在新廠區(qū)投用后即將投入生產(chǎn)。

朱燕娟 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司人事部經(jīng)理：因?yàn)槲覀冞@個(gè)行業(yè)本身是取代國(guó)外進(jìn)口的過程，芯片是國(guó)家大力發(fā)展的項(xiàng)目，要求我們不斷精進(jìn)的工作，原來(lái)我們國(guó)內(nèi)生產(chǎn)64納米的芯片，現(xiàn)在我們已經(jīng)經(jīng)過不斷的研發(fā)投入，已經(jīng)有越來(lái)越新的設(shè)備，更高端的人才進(jìn)行這塊的開發(fā)工作，已經(jīng)從64一直進(jìn)行國(guó)內(nèi)5納米的研發(fā)，這是在國(guó)際上也是了不起的工業(yè)進(jìn)程。

打破壟斷

下一步，企業(yè)也將始終堅(jiān)持以智能制造為引領(lǐng)， 積極走“專精特新”之路,不斷加大市場(chǎng)話語(yǔ)權(quán)，加快構(gòu)建產(chǎn)業(yè)新優(yōu)勢(shì)，全力打造國(guó)內(nèi)集成電路高端裝備制造企業(yè)。

靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司人事部經(jīng)理朱燕娟表示：未來(lái)我們是想把中國(guó)的刻蝕機(jī)帶到世界去，參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，就像原來(lái)我們的光刻機(jī)，被國(guó)外的阿斯麥爾壟斷，現(xiàn)在我們的刻蝕機(jī)，中國(guó)能夠參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，應(yīng)該是一個(gè)了不起的進(jìn)程。未來(lái)的產(chǎn)能應(yīng)該會(huì)比原來(lái)提高三到四倍。原來(lái)我們可能在1.5到2個(gè)億，未來(lái)至少在3、4個(gè)億。