近日，江蘇南大光電材料股份有限公司（以下簡稱“南大光電”）在股票交易異常波動的公告中披露了其光刻膠項目最新進展。

公告顯示，南大光電承接的國家“02專項”之“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”的基礎建設按計劃進行；2019年底完成一條生產(chǎn)線的安裝，正在調試階段。2020年4月，公司采購的用于檢測ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機運入寧波南大光電工廠，5月開始進行安裝調試，預計安裝調試需要4-5個月的時間。公司制備ArF(193nm)光刻膠用的高純原材料來源于自主研發(fā)，研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測試。

目前“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”正處于光刻膠樣品驗證階段，驗證過程預計需要12-18個月，甚至更長的時間。南大光電還指出，ArF(193nm)光刻膠產(chǎn)品開發(fā)技術突破難度大、工藝要求高，且實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)周期較長，后續(xù)是否能取得下游客戶的訂單，能否大規(guī)模進入市場仍存在較多的不確定性。

據(jù)了解，南大光電ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目總投資額為6.56億元，其中，國撥資金1.93億元，地方配套資金1.97億元，項目實施主體為南大光電全資子公司寧波南大光電。

2019年12月14日，南大光電再次發(fā)布公告稱，通過增資擴股的方式寧波南大光電進行增資2.6億元，增資事項完成后，寧波南大光電的注冊資本由4000萬元增加到3億元。對于寧波南大光電增資擴股并引入外部投資者，南大光電稱，有利于加快公司ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目的建設進度，推動光刻膠板塊的戰(zhàn)略布局。

根據(jù)最初規(guī)劃，ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目擬通過3年的建設、投產(chǎn)及實現(xiàn)銷售，達到年產(chǎn)25噸193nm（ArF干式和浸沒式）光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模，產(chǎn)品滿足集成電路行業(yè)需求標準。同時建成先進光刻膠分析測試中心和高分辨率光刻膠研發(fā)中心。

4月21日，南大光電發(fā)布公告，擬變更公司轉讓參股公司北京科華微電子材料有限公司（以下簡稱“北京科華”）股權受讓方。

去年6月，南大光電宣布擬將北京科華31.39%股權轉讓給深投控、疌盛投資、高盟新材、四川潤資、弘坤創(chuàng)投、西藏漢普森、沃燕創(chuàng)投共7家公司。上述交易同時，北京科華的其他股東美國Meng Tech公司和杭州誠和創(chuàng)業(yè)投資有限公司自愿支付公司股權轉讓差價款1619萬元。該交易完成后，南大光電不再持有北京科華的股權。

截至公告日，南大光電已收到疌盛投資、高盟新材、弘坤創(chuàng)投和沃燕創(chuàng)投支付的全部股權轉讓對價款；收到四川潤資支付的第一期股權轉讓款400萬元；收到西藏漢普森支付的第一期股權轉讓款601.02萬元。截至目前，南大光電累計收到6家交易對手方支付的股權轉讓款共計9999.02萬元。

北京科華就上述6家已履行付款義務的交易方對應的股權，完成了股權轉讓的工商變更登記手續(xù)。截至目前，南大光電與深投控的股權轉讓協(xié)議（對應股權對價款5000萬元）尚未履行，公司仍持有北京科華9.18%的股權。

鑒于深投控未按股權轉讓協(xié)議履行付款義務，南大光電采納變更受讓方的方案，現(xiàn)在擬將董事會、股東大會審議通過的原股權轉讓方案中，“以5000萬元人民幣將持有的北京科華9.1836%的股權轉讓給深投控”，變更為“以5000萬元人民幣將持有的北京科華9.1836%的股權轉讓給浙江自貿區(qū)靜遠投資合伙企業(yè)（有限合伙）”。

南大光電表示，本次交易若順利實施，將有效解決公司對于北京科華剩余股權的處置，增加公司的營運資金，有利于優(yōu)化公司資產(chǎn)結構，不存在損害公司及全體股東利益的情形。本次交易受讓方變更后，若公司持有北京科華剩余的9.18%股權順利轉讓，預計獲得股權轉讓款 5000萬元，公司預計增加投資收益約1600萬元，將對公司2020年度經(jīng)營業(yè)績產(chǎn)生積極影響。

資料顯示，北京科華成立于2004年，是一家產(chǎn)品覆蓋KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑供應商與服務商。2015年，南大光電通過受讓以及增資方式獲取北京科華31.39%的股份，并表示雙方將共同開展193nm光刻膠的研究與產(chǎn)品開發(fā)，后來雙方合作并沒有按計劃進行。

近日，南大光電在互動平臺透露，寧波南大光電目前已安裝完成第一條ArF（193nm）光刻膠生產(chǎn)線，該產(chǎn)線仍處于調試階段。目前，研發(fā)的產(chǎn)品正在測試、認證過程中，尚未形成量產(chǎn)和銷售。

2019年7月，南大光電在互動平臺透露，公司設立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”落地實施。

2019年10月，南大光電公告稱，公司與寧波經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)管理委員會簽署了《投資協(xié)議書》，擬在寧波經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)投資開發(fā)高端集成電路制造用各種先進光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規(guī)?；a(chǎn)能力，建立配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈。該項目計劃總投資6億元，預計總用地50畝。項目完全達產(chǎn)后，預計實現(xiàn)約10億元的年銷售額，年利稅預計約2億元。

資資料顯示，南大光電主要從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過承擔國家重大技術攻關項目并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。目前，公司形成MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料等業(yè)務板塊。值得注意的是，2017年，南大光電還承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”（以下簡稱193nm光刻膠項目）。

對于兩個光刻膠項目之間的聯(lián)系，南大光電此前在公告中強調，“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”與“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”系兩個獨立的項目。公司稱，投建新項目是為加大對先進光刻膠材料以及配套原材料的建設。

12月14日，江蘇南大光電材料股份有限公司（以下簡稱“南大光電”）發(fā)布公告稱，公司分別于2018年12月21日、2019年1月9日召開第七屆董事會第十二次會議、2019年第一次臨時股東大會，審議通過了《關于投資實施國家“02專項”ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目的議案》和《關于使用部分超募資金投資“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目的議案》。

據(jù)悉，“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”(“光刻膠項目”)投資總額約6.56億元人民幣，其中國撥資金約1.93億元，地方配套資金約1.97億元，使用公司上市時的超募資金1.5億元及其他自籌資金。項目實施主體為公司全資子公司寧波南大光電材料有限公司(以下簡稱“寧波南大光電”)。

截至公告日，南大光電已使用上述超募資金4,000萬元作為資本金投入寧波南大光電，用于實施光刻膠項目。

公告指出，為進一步推動光刻膠項目的順利實施，滿足項目資金需求，寧波南大光電擬以增資擴股的方式融資2.6億元（含上述已經(jīng)公司董事會、股東大會審議通過的超募資金使用計劃中剩余的1.1億元）。

公告披露，上述增資擴股方式分為三部分。

第一部分為南大光電擬以貨幣資金方式對寧波南大光電增資1.5億元,其中使用上述超募資金使用計劃中的剩余資金1.1億元，自有或自籌資金4000萬元。

第二部分為南大光電擬以自有的“光刻膠技術資產(chǎn)組”作為無形資產(chǎn)對寧波南大光電增資，增資金額為3000萬元。

第三部分為寧波南大光電引入新的投資方：寧波經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)金帆投資有限公司、天津南晟貳號企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）以及許從應個人。經(jīng)各方友好協(xié)商，寧波金帆以3000萬元的價格認購寧波南大光電新增注冊資本3000萬元；天津南晟以4000萬元的價格認購寧波南大光電新增注冊資本4000萬元；許從應先生以1000萬元的價格認購寧波南大光電新增注冊資本1000萬元。

本次增資擴股前，寧波南大光股權結構如下：

本次增資擴股后，寧波南大光股權結構如下：

南大光電稱，本次投資，寧波南大光電的注冊資本由人民幣4,000萬元增加到30,000萬元，其中新增注冊資本人民幣26,000萬元。寧波南大光電本次增資擴股并引入外部投資者，有利于增強寧波南大光的資金實力，有利于加快公司“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”的建設進度，推動公司在光刻膠板塊的戰(zhàn)略布局。

光刻膠概念股南大光電10月23日公告，擬投資新建光刻膠材料以及配套原材料項目。

光刻膠項目是南大光電最大的看點。在此前A股光刻膠概念炒作中，公司股票也受到了資金追捧。此番，南大光電宣布加碼光刻膠產(chǎn)業(yè)值得關注。

擬投建光刻膠材料配套項目

南大光電公告稱，公司與寧波經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)管理委員會簽署了《投資協(xié)議書》。按照協(xié)議，上市公司擬在寧波經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)投資開發(fā)高端集成電路制造用各種先進光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規(guī)?；a(chǎn)能力，建立配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈。

項目計劃總投資6億元，預計總用地50畝。項目完全達產(chǎn)后，預計實現(xiàn)約10億元的年銷售額，年利稅預計約2億元。

資料顯示，南大光電主要從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過承擔國家重大技術攻關項目并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。目前，公司形成MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料等業(yè)務板塊。

《每日經(jīng)濟新聞》記者注意到，2017年，南大光電承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”（以下簡稱193nm光刻膠項目）。

南大光電2019年半年報表示，公司組建了包括高級光刻膠專業(yè)人才的獨立研發(fā)團隊，建成1500平方米的研發(fā)中心和百升級光刻膠中試生產(chǎn)線。目前，南大光電“193nm光刻膠及配套材料關鍵技術研究項目”的研發(fā)工作已經(jīng)完成，正在等待驗收。同時，公司設立了光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司寧波南大光電材料，推進“193nm光刻膠項目”的落地實施。在2019年半年報中，南大光電預計其將在2019年底在寧波建成一條光刻膠生產(chǎn)線。

對于此番投建的項目，南大光電特別在公告中強調，項目與公司正在推進的“193nm光刻膠項目”系兩個獨立的項目。公司稱，投建新項目是為加大對先進光刻膠材料以及配套原材料的建設。

曾因光刻膠概念股身份受捧

光刻膠被認為是半導體光刻領域必不可少的關鍵材料。光刻膠的質量和性能直接決定集成電路的性能、良率。廣發(fā)證券曾表示，伴隨著先進節(jié)點所需光刻膠分辨率的提升以及多次圖形化技術的應用，光刻膠的成本占比以及市場規(guī)模呈現(xiàn)不斷提升趨勢，根據(jù)國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會的數(shù)據(jù)，2018年光刻膠占晶圓制造材料比例約為5.4%，對應全球半導體光刻膠市場總規(guī)模為17.3億美元，預計2019年市場規(guī)?？蛇_17.7億美元。?

由于半導體光刻膠技術壁壘很高，供應廠商目前主要集中在美國和日本。目前來看，國內僅有晶瑞股份、科華微電子、南大光電、容大感光、上海新陽等企業(yè)在進行半導體光刻膠生產(chǎn)與研發(fā)。

《每日經(jīng)濟新聞》記者注意到，今年下半年，日本與韓國發(fā)生貿易摩擦，日本對韓國進行出口限制，其中便包含光刻膠材料。在此情況下，A股相關光刻膠概念股也一度受到資金追捧，這便包括了南大光電。7月中旬，公司股價曾連續(xù)漲停，8月15日~9月5日，公司股價在16個交易日里累計上漲64.70%。

10月23日，電子材料供應商南大光電發(fā)布公告，其與寧波經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)管理委員會簽署了《投資協(xié)議書》，將加大對先進光刻膠材料以及配套原材料的建設。

根據(jù)公告，南大光電擬在寧波經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)投資開發(fā)高端集成電路制造用各種先進光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規(guī)?；a(chǎn)能力，建立配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈。該項目計劃總投資6億元人民幣，預計總用地50畝，項目完全達產(chǎn)后，預計實現(xiàn)約10億元人民幣的年銷售額，年利稅預計約2億元人民幣。

南大光電表示，本協(xié)議的實施符合公司發(fā)展戰(zhàn)略，有利于公司建立配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈，提升公司競爭力和盈利能力，對公司進一步樹立優(yōu)秀電子材料供應商的發(fā)展定位有極大的推動作用。

公告還指出，本次簽署的《投資協(xié)議書》所涉及的“先進光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料”項目，與公司正在推進的“193nm光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目系兩個獨立的項目，目前“193nm光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”順利推進。

9月2日，江蘇南大光電材料股份有限公司（以下簡稱“南大光電”）發(fā)布公告稱，為進一步推動電子特氣產(chǎn)業(yè)布局，搶占市場先機，快速切入氟系電子特氣市場，提高公司盈利能力，2019年8月30日，公司與山東省淄博市高青縣人民政府簽署了《高青縣人民政府與江蘇南大光電材料股份有限公司關于含氟電子特種氣體項目的投資合作協(xié)議》。

根據(jù)協(xié)議，南大光電擬在山東省淄博市高青縣投資擴建含氟電子特種氣體項目，并于項目建成后，從事三氟化氮及六氟化硫的相關生產(chǎn)經(jīng)營活動。

本次項目實施主體為山東飛源氣體有限公司（以下簡稱“飛源氣體”）。根據(jù)公告，南大光電本次擬投資項目的總投資額為3.8億元，其中2.1億元來源于公司向飛源氣體的增資款，剩余1.7億元來源于飛源氣體的未來自籌資金。將建設占地50畝的研發(fā)中心一處，建設年產(chǎn)電子級三氟化氮2300噸、六氟化硫1500噸。建設完成后，年產(chǎn)電子級三氟化氮3300噸、六氟化硫3000噸。

據(jù)披露，該項目建設周期為一年，運行達效周期為一年，2020年底前完成項目建設，2021年底前完成一期項目達效。項目投產(chǎn)達效后預計可實現(xiàn)年銷售收入4億元，實現(xiàn)年應納稅金1200萬元，年利潤6000萬元，歸屬于母公司凈利潤約3000萬元。

南大光電指出，本協(xié)議的實施符合公司發(fā)展戰(zhàn)略，有利于公司快速切入氟系電子特氣市場，提升公司競爭力和盈利能力，對公司進一步樹立優(yōu)秀電子材料供應商的發(fā)展定位有極大的推動作用。

日前，電子材料企業(yè)南大光電發(fā)布公告稱，為進一步優(yōu)化資源配置，提高公司盈利能力，擬采用現(xiàn)金收購及增資方式取得山東飛源氣體有限公司（以下簡稱“飛源氣體”）57.97%股權。

公告顯示，本次交易分為兩個部分，總金額約2.47億元人民幣。其中。第一部分為南大光電以3685萬元的價格受讓山東桓臺魯泰道路工程有限公司持有的飛源氣體本次交易前17.07%的股權（對應本次交易前飛源氣體的注冊資本數(shù)額為1100萬元）；第二部分為南大光電以2.1億元的價格認購飛源氣體新增注冊資本6268.66萬元。本次增資款中，6268.66萬元計入飛源氣體注冊資本，其余計入飛源氣體資本公積。?

本次交易完成后，飛源氣體注冊資本變更為1.27億元，南大光電將持有飛源氣體57.97%的股權（對應飛源氣體本次交易后注冊資本數(shù)額為7368.66萬元）， 飛源氣體成為南大光電的控股子公司。

資料顯示，飛源氣體成立于2019年7月，系由山東飛源科技有限公司（以下稱“飛源科技”）通過分立方式設立。分立前的飛源科技成立于2015年4月，主要產(chǎn)品包括三氟化氮、六氟化硫、六氟化鎢、四氟化碳、五氟化碘、六氟丁二烯、八氟環(huán)丁烷等，其中三氟化氮（NF₃）和六氟化硫（SF₆）為主要產(chǎn)品。

據(jù)介紹，NF₃具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性、對表面無污染，是電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，主要應用于集成電路行業(yè)與面板顯示行業(yè)；SF₆具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能，電子級高純SF₆是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用顯示面板、半導體加工過程中的干刻（Etch）。

公告指出，飛源科技總資產(chǎn)3億元、固定資產(chǎn)1.8億元，已建成年產(chǎn)1000噸三氟化氮項目及年產(chǎn)2000噸六氟化硫項目，分別于2016年3月、5月量產(chǎn)。該公司在電子行業(yè)已成為臺積電、京東方、華星光電、龍騰光電、重慶惠科等大型半導體、顯示面板廠商的核心NF₃供貨商。

2019年7月，飛源科技為明確主業(yè)方向，將包括NF₃、SF₆在內的含氟電子特種氣體板塊分立為飛源氣體（即本次收購的標的公司）。飛源氣體專注并以高純NF₃、SF₆等含氟特種電子氣體為主業(yè)，未來將致力于更多含氟電子特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務。

南大光電表示，飛源氣體作為國內NF₃重要供應商中唯一民企，在NF₃產(chǎn)品的制備、充裝、安全生產(chǎn)、質量控制、安全運輸?shù)确矫嬉讶〉昧巳嫱黄疲⑼ㄟ^為國內國際多家電子行業(yè)領軍企業(yè)批量供貨，積累了豐富的市場和客戶服務經(jīng)驗。

南大光電發(fā)布的可行性研究報告顯示，臺積電在2017年即完成認證，并開始批量采購飛源氣體的NF₃產(chǎn)品，中芯國際2018年已完成飛源氣體樣品測試工作，并開始供貨。

南大光電成立于2000年，是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的企業(yè)，主要有MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料和光刻膠四大業(yè)務板塊。

南大光電認為，其與飛源氣體雙方在客戶、技術、管理、資本等領域均存在較強的協(xié)同性。本次交易，一方面將大幅增強飛源氣體的核心競爭力， 同時也對南大光電電子特種氣體業(yè)務的布局與發(fā)展具有重要的戰(zhàn)略價值。

通過投資并購飛源氣體，南大光電將快速切入氟系電子特氣市場，為其完成電子特氣產(chǎn)業(yè)布局走出堅實的一步。

7月17日，南大光電在互動平臺透露，公司設立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”落地實施。目前該項目完成的研發(fā)技術正在等待驗收中，預計2019年底建成一條光刻膠生產(chǎn)線，項目產(chǎn)業(yè)化基地建設順利。

資料顯示，南大光電是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術企業(yè)，公司于2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。

憑借30多年來的技術積累優(yōu)勢，南大光電先后攻克了國家863計劃MO源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化、國家“02—專項”高純電子氣體（砷烷、磷烷）研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、ALD/CVD前驅體產(chǎn)業(yè)化等多個困擾我國數(shù)十年的項目，填補了多項國內空白。2017年，南大光電承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目。

通過承擔國家重大技術攻關項目并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，南大光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料和光刻膠四大業(yè)務板塊。