繼1月2日，中微中標長江存儲9臺刻蝕設(shè)備訂單后，武漢精測電子集團股份有限公司（以下簡稱“精測電子”）也迎中標訂單。

據(jù)中國國際招標網(wǎng)消息，1月17日，精測電子控股子公司上海精測半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（簡稱“上海精測”）中標長江存儲的3臺集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測儀。

資料顯示，上海精測成立于2018年7月，主要從事以半導(dǎo)體測試設(shè)備為主的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，同時也開發(fā)一部分顯示和新能源領(lǐng)域的檢測設(shè)備。公司以橢圓偏振技術(shù)為核心，在1年多時間內(nèi)開發(fā)了膜厚測量以及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)，包括集成式膜厚測量機EFILM 300IM、集成單/雙模塊膜厚測量機EFILM 300DS、高性能膜厚及OCD測量機EPROFILE 300FD等產(chǎn)品型號。

當(dāng)前，上海精測已獲國家大基金入股。天眼查公開信息顯示，2019年12月，上海精測已完成股權(quán)變更，新增了國家大基金、上海半導(dǎo)體等7個股東，注冊資本也有此前的1億元增加至6.5億元，其中國家大基金一期注資1億，對上海精測半導(dǎo)體持股4%，為并列第二大股東。

近日，上海精測實現(xiàn)3臺來自長江存儲的集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測儀訂單，表明上海精測已具備晶圓制造環(huán)節(jié)的膜厚量測設(shè)備重復(fù)、批量供應(yīng)能力。

事實上，近年來，國產(chǎn)量測設(shè)備廠商已經(jīng)陸續(xù)獲得長江存儲訂單，例如上海睿勵2017年底拿到長江存儲2臺膜厚設(shè)備訂單；中科飛測也拿到了長江存儲等大廠的訂單；上海精測中標3臺膜厚量測設(shè)備。

上海精測中標3臺長江存儲膜厚設(shè)備最先出現(xiàn)在北京中代科技有限公司。