5月,全世界著名光刻機生產(chǎn)研發(fā)公司荷蘭阿斯麥(ASML)公司與無錫高新區(qū)管委會簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,未來阿斯麥公司將在原有基礎(chǔ)上對資源進行整合提升,加速擴建光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)(無錫)基地。
光刻機,又名掩模對準(zhǔn)曝光機,是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備。作為“芯片之母”,其對某個國家或地區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)具備重要的發(fā)展支撐作用。阿斯麥公司與無錫“握手”,將為江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)帶來哪些新變化?
“這是阿斯麥與無錫第二次‘握手’?!卑⑺果溔蚋笨偛谩⒅袊鴧^(qū)總裁沈波說,2006年,阿斯麥公司在無錫布局建立光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)基地,經(jīng)過多年的“深耕細(xì)作”,如今,阿斯麥無錫基地是中國規(guī)模最大的光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)基地,成為華虹、SK海力士等一批重點集成電路企業(yè)光刻機的供應(yīng)商。
此次阿斯麥實施(無錫)基地升級擴建,將擁有近200人規(guī)模專業(yè)團隊的技術(shù)中心,從事光刻設(shè)備的維護、升級等技術(shù)服務(wù),為設(shè)備安裝,升級及生產(chǎn)運營等所需的物料提供更高水準(zhǔn)的物流支持。項目建成后,將更好地滿足無錫乃至江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求。
目前,我國集成電路產(chǎn)業(yè)正處于一個非常時期?!鞍⑺果湽饪淘O(shè)備技術(shù)服務(wù)的引入與此時擴建,有著非同一般的重要意義?!庇袑<冶硎荆瑹o錫是最早布局的集成電路產(chǎn)業(yè)基地之一,近年來,在國家和地方政策的重點支持下,無錫先后引入華虹基地、海力士二工廠等一批重大產(chǎn)業(yè)項目。去年,無錫集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值達(dá)到1178億元,增長8.3%,位居全省第一、全國第二。專家坦言,江蘇集成電路產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)起步早,并形成了一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模,但在集成電路產(chǎn)業(yè)的上游,無論是光刻設(shè)備,還是集成電路設(shè)計和高端電子化學(xué)品方面,仍是一條“短腿”,亟待補齊產(chǎn)業(yè)鏈,提升產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新力和國際競爭力。
“阿斯麥公司與無錫再度‘牽手’,標(biāo)志著我省集成電路產(chǎn)業(yè)有深厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)?!苯K省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會相關(guān)人士透露,目前,我省集成電路產(chǎn)業(yè)已邁入加速階段,正“奮勇向前”;去年8月,鎮(zhèn)江首臺光刻機開始服役制造芯片;今年5月20日,鹽城總投872.7億元項目簽約,涵蓋臺灣半導(dǎo)體光刻機、集成電路;6月1日,江陰集成電路設(shè)計創(chuàng)新中心揭幕。
據(jù)介紹,阿斯麥公司無錫技術(shù)服務(wù)基地還將服務(wù)江蘇乃至整個長三角地區(qū)。目前江蘇先進制程(28nm及以下)半導(dǎo)體工廠有南京臺積電工廠、無錫SK海力士DRAM工廠等。其中,華虹半導(dǎo)體無錫基地12英寸生產(chǎn)線實現(xiàn)了高性能90nm FSI工藝平臺產(chǎn)品投片。