作為產(chǎn)業(yè)基石，材料在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造中扮演著重要角色。前段時(shí)間，日本對韓國收緊半導(dǎo)體材料的出口限制讓半導(dǎo)體材料一時(shí)成為業(yè)界關(guān)注焦點(diǎn)，亦為中國半導(dǎo)體材料企業(yè)帶來商機(jī)。
據(jù)外媒報(bào)道，在日本政府限制向韓國出口氟化氫、光刻膠、含氟聚酰亞胺等半導(dǎo)體材料一個(gè)半月后，韓國三星電子、SK海力士等半導(dǎo)體大廠開始重新考慮供應(yīng)商體系搭建并尋求使用替代品，并有傳聞稱SK海力士設(shè)在中國無錫的半導(dǎo)體工廠已完全使用中國大陸生產(chǎn)的氟化氫。
據(jù)了解，氟化氫溶于水形成氫氟酸，電子級氫氟酸是由無水氫氟酸經(jīng)進(jìn)一步處理得到的高端氫氟酸產(chǎn)品，對金屬、玻璃、混凝土等具有強(qiáng)烈腐蝕性，主要運(yùn)用在集成電路、太陽能、液晶顯示等領(lǐng)域，在集成電路領(lǐng)域用于芯片的清洗和腐蝕，是微電子行業(yè)生產(chǎn)所需的關(guān)鍵基礎(chǔ)化工原材料之一。
縱觀全球市場，日本是最重要的電子級氫氟酸生產(chǎn)國，主要供應(yīng)商包括Stella Chemifa、昭和電工、關(guān)東電化、大陽日酸和中央硝子等，其中Stella Chemifa是全球最大的電子級氫氟酸供應(yīng)商；歐美企業(yè)有SOVAY、HONEYWEL；中國臺灣地區(qū)企業(yè)有臺塑大金、僑力化工等。
中國大陸電子氫氟酸產(chǎn)業(yè)發(fā)展起步較晚，此前幾乎全部依賴進(jìn)口。隨著近年本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展，電子級氫氟酸的年需求量不斷提升，近年來已有多氟多等不少本土企業(yè)加碼布局，并相繼有項(xiàng)目上馬在建或投產(chǎn)，逐漸打破電子級氫氟酸完全依賴進(jìn)口的局面。
不過，目前中國大陸電子級氫氟酸產(chǎn)業(yè)整體尚處于中低級階段，能達(dá)到半導(dǎo)體所用UP-SS級別（即G4級）的企業(yè)屈指可數(shù)，仍存在較大的進(jìn)口替代空間。這次日韓管制事件將為大陸電子級氫氟酸企業(yè)造就有利市場契機(jī)，助推產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
那么，中國大陸有哪些企業(yè)在布局電子級氫氟酸？下面來盤點(diǎn)一下主要幾家本土企業(yè)——
1.多氟多化工股份有限公司
多氟多化工股份有限公司成立于1999年12月，產(chǎn)品布局高性能無機(jī)氟化物、電子化學(xué)品、鋰離子電池及材料、新能源汽車生產(chǎn)研發(fā)四大板塊。2011年，多氟多投資建設(shè)年產(chǎn)1萬噸超凈高純電子級氫氟酸項(xiàng)目，2013年8月該項(xiàng)目試車成功。
目前，多氟多的電子級氫氟酸產(chǎn)品品質(zhì)已達(dá)到UP—SSS級。官方消息稱，2018年多氟多電子級氫氟酸與國內(nèi)多家8英寸寸和12英寸半導(dǎo)體客戶建立合作關(guān)系，包括長江存儲、中芯國際等，并成功進(jìn)入美國、韓國等半導(dǎo)體跨國公司供應(yīng)鏈，穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。
多氟多2019年半年報(bào)顯示，目前其電子級氫氟酸產(chǎn)能為5000噸，基本已實(shí)現(xiàn)滿產(chǎn)，預(yù)計(jì)2019年底將新建成5000噸產(chǎn)能，并計(jì)劃2020年投產(chǎn)，屆時(shí)達(dá)到萬噸生產(chǎn)規(guī)模。今年7月，多氟多旗下控股子公司盈氟金和位于石嘴山的年產(chǎn)20000噸電子級氫氟酸項(xiàng)目開工。
2.福建省邵武市永飛化工有限公司
福建省邵武市永飛化工有限公司于2001年由國有企業(yè)福建省邵武市氟化廠改制而成，現(xiàn)為福建永晶科技股份有限公司的全資子公司，是國內(nèi)建廠最早的氟化工企業(yè)之一，主要生產(chǎn)無水氟化氫、工業(yè)氫氟酸、試劑級氫氟酸、電子級氫氟酸。
在電子級氫氟酸方面，永飛化工是國內(nèi)少數(shù)的全部指標(biāo)達(dá)UP-SS級的廠家，正逐步替代進(jìn)口產(chǎn)品、填補(bǔ)國內(nèi)空白。2013年5月，永飛化工年產(chǎn)6000噸電子級氫氟酸（UP-SS級）生產(chǎn)線順利投產(chǎn)，電子級氫氟酸總產(chǎn)能達(dá)到12000噸。有消息稱，目前永飛化工的電子級氫氟酸生產(chǎn)能力約50000噸/年。
3.索爾維藍(lán)天（衢州）化學(xué)品有限公司
索爾維藍(lán)天（衢州）化學(xué)品有限公司（原浙江藍(lán)蘇氟化有限公司）成立于2006年，是由索爾維集團(tuán)與中化藍(lán)天集團(tuán)組建的中外合資企業(yè)，?專業(yè)從事氟化學(xué)品的生產(chǎn)和銷售，其電子級氫氟酸引進(jìn)德國索爾維氟有限公司技術(shù)，2011年1月索爾維藍(lán)天年產(chǎn)5000噸電子級氫氟酸新裝置成功投入生產(chǎn)。
2018年12月，政府環(huán)評報(bào)告顯示，索爾維藍(lán)天擬投資2515.97萬元，在位于衢州市綠色產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)高新片區(qū)華陽路39號廠區(qū)內(nèi)現(xiàn)有電子級氫氟酸車間，對已建年產(chǎn)5000噸電子級氫氟酸裝置進(jìn)行技改擴(kuò)建，對現(xiàn)有生產(chǎn)線技改更新冷凝器設(shè)備，使產(chǎn)能提升至15000噸/年，并新增一套年產(chǎn)15000噸/年電子級氫氟酸生產(chǎn)線，使現(xiàn)有電子級氫氟酸總產(chǎn)能達(dá)到30000噸/年。
4.濱化集團(tuán)股份有限公司
濱化集團(tuán)股份有限公司始建于1968年，是一家綜合型化工企業(yè)集團(tuán)，產(chǎn)品包括化工產(chǎn)品、環(huán)?；瘜W(xué)品、油田化學(xué)品級工業(yè)助劑系列產(chǎn)品等。濱化股份2019年半年報(bào)顯示，報(bào)告期內(nèi)公司電子級氫氟酸裝置順利開車，生產(chǎn)運(yùn)行保持總體穩(wěn)定。根據(jù)其官方消息，其電子級氫氟酸的設(shè)計(jì)產(chǎn)能是6000噸/年，開工負(fù)荷根據(jù)市場情況調(diào)整。
7月中旬，有消息稱，濱化股份的電子級氫氟酸已成功打入韓國市場。濱化股份在互動(dòng)平臺上表示，公司電子級氫氟酸已銷售給國內(nèi)客戶使用，正在辦理電子級氫氟酸向韓國發(fā)貨出口手續(xù)。不過目前其電子級氫氟酸產(chǎn)量較小， 預(yù)計(jì)不會對2019年業(yè)績造成重大影響。
5.浙江巨化股份有限公司
巨化股份是國內(nèi)一家氟化工企業(yè)，已形成包括基礎(chǔ)配套原料、新型氟 致冷劑、有機(jī)氟單體、含氟聚合物、精細(xì)化學(xué)品等在內(nèi)的完整的氟化工產(chǎn)業(yè)鏈，近年來其積極布局電子化學(xué)材料產(chǎn)業(yè)，其曾經(jīng)的全資子公司浙江凱圣氟化學(xué)有限公司是國內(nèi)主要電子級氫氟酸生產(chǎn)企業(yè)之一。
2018年3月，巨化股份宣布將旗下兩大子公司浙江博瑞電子科技有限公司100%股權(quán)和浙江凱圣氟化學(xué)有限公司100%股權(quán)轉(zhuǎn)讓中巨芯科技有限公司，后者為巨化股份與大基金等單位共同合資設(shè)立，其中巨化股份持股比例39%。
近期，巨化股份在互動(dòng)平臺上表示，中巨芯科技旗下的凱圣公司PPT級氫氟酸目前訂單飽滿，生產(chǎn)滿負(fù)荷。為了滿足市場需求，擴(kuò)建項(xiàng)目正抓緊收尾，預(yù)計(jì)第四季度投產(chǎn)，投產(chǎn)后產(chǎn)能將增加一倍，并表示三星為凱圣公司重要客戶。
6.廣州天賜高新材料股份有限公司
廣州天賜高新材料股份有限公司成立于2000年，致力于精細(xì)化工新材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前擁有鋰離子電池材料、日化材料和特種化學(xué)品兩大業(yè)務(wù)板塊。天賜材料旗下控股子公司安徽天孚氟材料有限公司主要生產(chǎn)和銷售氟化氫、氟化氫銨、氟化銨等氟化工產(chǎn)品，建有1萬噸/年無水氟化氫產(chǎn)線。
2018年1月，天賜材料董事會同意公司控股子公司安徽天孚使用自籌資金投資建設(shè)年產(chǎn)5萬噸氟化氫、年產(chǎn)2.5萬噸電子級氫氟酸改擴(kuò)建項(xiàng)目，項(xiàng)目總投資1.22億元，今年1月宣布將該項(xiàng)目總投資變更為1.5億元。
今年7月，天賜材料在互動(dòng)平臺上表示，安徽天孚現(xiàn)有的無水氟化氫主要為公司六氟磷酸鋰的主要原料，為工業(yè)級；而安徽天孚年產(chǎn)5萬噸氟化氫、年產(chǎn)2.5萬噸電子級氫氟酸改擴(kuò)建項(xiàng)目目前處于前期設(shè)計(jì)階段。
7.浙江三美化工股份有限公司
浙江三美化工股份有限公司成立于2001年，主要從事氟碳化學(xué)品和無機(jī)氟產(chǎn)品等氟化工產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，其中無機(jī)氟產(chǎn)品主要包括無水氟化氫、氫氟酸等，主要用于氟化工行業(yè)的基礎(chǔ)原材料或刻蝕玻璃、金屬清洗及表面處理等。
2018年10月，三美股份招股書顯示，擬募集資金投資新建江蘇三美1萬噸高純電子級氫氟酸項(xiàng)目等多個(gè)項(xiàng)目，正式進(jìn)入高純電子級氫氟酸領(lǐng)域。今年7月，三美股份在互動(dòng)平臺上透露，江蘇三美1萬噸高純電子級氫氟酸項(xiàng)目尚未開工建設(shè)。
三美股份2019年半年報(bào)顯示，公司與日本森田通過參股公司浙江森田新材料有限公司合作開展蝕刻級氫氟酸、氟化銨研發(fā)和產(chǎn)能建設(shè)，產(chǎn)品可用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，有望打破國際壟斷，森田新材料在建的2萬噸/年蝕刻級氫氟酸項(xiàng)目已進(jìn)入設(shè)備安裝階段，預(yù)計(jì)本年底完成項(xiàng)目建設(shè)，進(jìn)入試生產(chǎn)準(zhǔn)備階段。
8.湖北興力電子材料有限公司
湖北興力電子材料有限公司成立于2018年11月，是由是湖北興發(fā)化工集團(tuán)股份有限公司和Forerunner Vision Holding Limited出資設(shè)立的合資企業(yè)，主要從事電子級氫氟酸、氟化銨、無水氟化氫、緩沖氫氟酸蝕刻液的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售。
興發(fā)集團(tuán)是中國大陸主要電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)之一，其將通過與Forerunner合資成立興力電子，引進(jìn)Forerunner關(guān)聯(lián)企業(yè)——中國臺灣企業(yè)僑力化工股份有限公司的電子級氫氟酸等技術(shù)，建設(shè)3萬噸/年電子級氫氟酸項(xiàng)目。
該項(xiàng)目總投資3.65億元，建成后總生產(chǎn)規(guī)模將為電子級氫氟酸3萬噸/年、電子級氟化銨1.2萬噸/年、BHF1.2萬噸/年。項(xiàng)目分兩期建設(shè)，一期投資2億元，將具備年產(chǎn)1.5萬噸電子級氫氟酸、6千噸電子級氟化銨、6千噸BHF、6千噸工業(yè)級氫氟酸生產(chǎn)能力。2019年5月，該項(xiàng)目正式開工。
9.鷹鵬化工有限公司
鷹鵬化工有限公司是中國氟化工主要企業(yè)之一，是鷹鵬集團(tuán)的核心企業(yè)，主要產(chǎn)品有無水氟化氫、工業(yè)氫氟酸、二氟一氯甲烷、ODS替代品等。官網(wǎng)顯示，鷹鵬集團(tuán)以氟化工產(chǎn)業(yè)為基石，已形成了具有規(guī)模化、產(chǎn)品種類齊全的產(chǎn)業(yè)鏈，成功開發(fā)了電子級氫氟酸、電子級硫酸等產(chǎn)品。
2009年，鷹鵬化工與中國鷹鵬集團(tuán)控股有限公司共同出資組建宣城亨泰電子化學(xué)材料有限公司，該公司投資新建12000噸電子級氫氟酸項(xiàng)目。2013年項(xiàng)目一期建設(shè)完畢并于2014年驗(yàn)收，建設(shè)一條年產(chǎn)6000噸電子級氫氟酸生產(chǎn)線，并配套的公用和輔助工程可滿足12000噸電子級氫氟酸生產(chǎn)能力要求。
2018年，宣城亨泰電子擬啟動(dòng)年產(chǎn)12000噸電子級氫氟酸（二期6000噸）項(xiàng)目建設(shè)。環(huán)評公示顯示，宣城亨泰電子將在一期廠址預(yù)留區(qū)域建設(shè)二期年產(chǎn)6000噸電子級氫氟酸生產(chǎn)線，項(xiàng)目建設(shè)完成后，計(jì)劃年產(chǎn)6000噸ppb級氫氟酸，屆時(shí)全廠可達(dá)12000噸電子級氫氟酸生產(chǎn)規(guī)模。
10.蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司
蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司成立于2001年，是一家生產(chǎn)銷售微電子業(yè)用超純化學(xué)材料和其他精細(xì)化工產(chǎn)品的企業(yè)，主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料和鋰電池粘結(jié)劑四大類微電子化學(xué)品，超凈高純試劑主要包括超純氫氟酸、硝酸、雙氧水、鹽酸、硫酸等。
氫氟酸方面，晶瑞股份公告顯示其擁有自主開發(fā)的超大規(guī)模集成電路用超純氫氟酸技術(shù)，承擔(dān)了國家火炬計(jì)劃“微電子用超凈超純氫氟酸”。官方消息顯示，其超凈高純試劑中氟化銨、硝酸、鹽酸、氫氟酸達(dá)到G3、G4等級，可滿足光伏太陽能、LED和面板行業(yè)的客戶需求。
